Process Parameters
Item
Min.
Max.
Temperature
Chamber and Door
42°C
50°C
Vacuum Stage
Time
0 minutes
20 minutes
Pressure
300 mTorr
300 mTorr
Injection Stage
Time
6:00 min:sec
6:02 min:sec
Pressure
first 10 seconds
300 mTorr
none
after 6 minutes
6.0 Torr
12.0 Torr
Diffusion Stage
Time
42:00 min:sec
42:02 min:sec
Pressure
6.0 Torr
14.0 Torr
Diffusion Pump Down Phase
Time
2:00 min:sec
2:01 min:sec
Pressure control point
475 mTorr
525 mTorr
Plasma Stage
Delivered power
365 Watt
450 Watt
Pressure
475 mTorr
525 mTorr
Theory of Operation-Overview
System Operation
ASP Service Guide rev. D
STERRAD® 100 Sterilizer
2-5
Содержание STERRAD 100
Страница 284: ......
Страница 285: ......
Страница 286: ......
Страница 287: ......
Страница 288: ......
Страница 289: ......
Страница 290: ......
Страница 291: ......
Страница 292: ......
Страница 293: ......
Страница 294: ......
Страница 295: ......
Страница 296: ......
Страница 297: ......
Страница 298: ......
Страница 299: ......
Страница 300: ......
Страница 301: ......
Страница 302: ......
Страница 303: ......
Страница 304: ......
Страница 305: ......
Страница 306: ......
Страница 307: ......
Страница 308: ......
Страница 309: ......