IPG IX-6168-PS, Справочник по аппаратуре

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Contents
Contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-
1 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-
UV Laser Light Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Airborne Contaminant Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
Laser Gas Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
High-Voltage Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
Laser Safety Publications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
Protecting Yourself During Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
Laser Safety During Operation and Maintenance . . . . . . . . . . . . . 1-6
Laser Safety During Servicing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Beam Delivery System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Normal and Service Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Ventilation and Debris Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
IX-6168-PS Workstation Safety Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
System Enclosures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Safety Interlocks and Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
System Signalling Light Tower with Alarm . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
Lock-Out/Tag-Out Areas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
Compressed Air in the Filter-Regulator Assembly. . . . . . . . . . . . 1-11
Air Bearing Ballast Bottle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
Integrated Automated Platform (IAP) Wafer Handler (if equipped) . 1-
14
Main System Power. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
2 System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-
About This Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Use of Hyperlinks in Adobe® Acrobat® . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
System Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Serial Data Tag . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Documentation and Software. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
IPG Photonics Documents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Third-Party Documents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Software CDs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Tools and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
System Tools and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Optics Cleaning and Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Power Meter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4