Motion Control and Digital I/O Electronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Motion Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
Digital I/O. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
Terminal Blocks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-15
AC and DC Power Distribution. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
AC Circuit Breakers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
DC Circuit Breakers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
Circuit Breaker Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
Resetting Circuit Breakers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
Customer Interface Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-19
External Safety Interlocks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-20
Safety Interlock Connection Diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-21
8 Beam Delivery System
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-
BDS Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
BDS Optics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
Fluence and Optical Damage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
Pneumatic Beam Stop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
Turning Mirrors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-5
Adjusting a Mirror . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-5
Removing and Reinstalling a Mirror . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
Beam Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-7
Scan Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-8
Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-8
9 Part Handling System
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-
Part Handling Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
Vacuum Chuck. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
Chuck Leveling Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4
Vacuum Chuck Assembly Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
Motion Stages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
X-Y Motion Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
Z-Theta Motion Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
10 Ventilation and Debris Control
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-
Workstation Ventilation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
Roof Exhaust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
Air Intake—Side. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
Air Intake—Bottom . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Processing Area Ventilation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
Process-Site Suction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
Debris Collection Filter (optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
11 Video Components
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-
Digital Process-Viewing Camera . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
Camera Adjustments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
Camera Alignment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
Digital Part-Inspection Camera . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-4
Summary of Contents for IX-6168-PS
Page 1: ...IX 6168 PS Laser Micromachining System Hardware Reference Guide...
Page 26: ...Safety 1 20...
Page 32: ...System Overview 2 6...
Page 40: ...Starting and Shutting Down 3 8...
Page 66: ...Pneumatic Components 6 10...
Page 88: ...Electronic and Computer Components 7 22...
