Ulvac UTM1600 Series, Instruction Manual

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Table of contents
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Section 7 GAS PURGE
Section 8 TURBO MOLECULAR PUMP RECONDITION
8.1 Recommended Maintenance Intervals . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
8.2 Turbo Molecular Pump Decontamination . . . . . . . . . . . . . . . . 69
8.3 Touch-down Bearing Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
8.4 Check of the Rotor Blades . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
8.5 Power Supply Unit Parts Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
8.6 Turbo Molecular Pump Return Request . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Section 9 TROUBLESHOOTING
9.1 Vacuum Pressure Rise. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
9.2 Abnormal Noise and/or Vibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
9.3 Nothing Happens After an Operation is Made . . . . . . . . . . . . 77
9.4 Power Failures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
9.4.1 Power Failure Counter-operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
9.5 Alarm Detection Capabilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
9.5.1 Movement in Alarm Detection Capabilities (ALARM) . . . . . . . . . . . . . 80
9.5.2 Movement in Alarm Detection Capabilities (WARNING). . . . . . . . . . . 80
9.5.3 Reset Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
Section 10 WARRANTY CLAUSES
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Warranty Clauses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
○
Warranty Items . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
○
Duration of Guarantee . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
○
Warrantee Scope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
○
Response Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
○ Disclaimer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
○
Others. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89