Ulvac UTM1600 Series, Instruction Manual

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Table of contents
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Section 3 CONSTRUCTION AND PRINCIPLE
3.1 Pump Construction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.2 Principle of Turbo Molecular Pumping . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.3 Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Section 4 SPECIFICATIONS
4.1 Standard Specifications for Pump Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.2 The Maximum Allowable Gas Throughput . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.3 Environmental Conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.4 Standards Fulfilled . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Section 5 INSTALLATION
5.1 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
5.1.1 Pump Mounting Direction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
5.1.2 Installation of the Pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
5.1.2.1 Instruction and Lifting Method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
5.1.2.2 Installation of UTM1600 Series. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
5.1.2.3 Installation of UTM1200 Series. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
5.1.3 Example of Piping Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
5.1.3.1 Connection of Exhaust Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
5.1.3.2 Connection of Cooling Water Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
5.2 Connection of Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.3 Preparation for Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
5.4 Interlock for Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
5.5 Notes on Transportation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Section 6 OPERATION
6.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
6.1.1 Introduction : Operation Modes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42