Ulvac UTM1600 Series, Instruction Manual

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Table of contents
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6.2 Startup Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6.2.1 Start-up Preparation Sequence in LOCAL Mode . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6.2.2 Start-up Preparation Sequence in REMOTE-control Connector. . . . . 44
6.2.3 Start-up Preparation Sequence in Other Communication Means. . . . 45
6.3 Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
6.3.1 Start-up Sequence in LOCAL Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
6.3.2 Start-up Sequence in REMOTE-control Connector . . . . . . . . . . . . . . 46
6.3.3 Start-up Sequence in Other Communication Means . . . . . . . . . . . . . 46
6.4 Shutting Down . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
6.4.1 Preparations Prior to Shutting Down Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
6.4.2 Shutting Down Sequence in LOCAL Mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.4.3 Shutting Down Sequence in REMOTE-control Connector . . . . . . . . . 48
6.4.4 Shutting Down Sequence in Other Communication Means . . . . . . . . 48
6.5 Variable Speed Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
6.5.1 Outline. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
6.5.2 Operation from Start-up to Low Speed Rotation. . . . . . . . . . . . . . . . . 51
6.5.2.1 REMOTE Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
6.5.2.2 Serial Interface Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
6.5.3 Operation from Rated Speed Rotation to Low Speed Rotation . . . . . 52
6.5.3.1 Remote Control Startup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
6.5.3.2 Serial Interface Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
6.5.4 Operation from Low Speed Rotation to Rated Speed Rotation . . . . . 53
6.5.4.1 REMOTE Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
6.5.4.2 Serial Interface Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
6.6 Software Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.7 Remote-control Connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
6.7.1 Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
6.7.2 Pin Assignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
6.7.3 Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
6.8 Communication Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
6.8.1 RS-232C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
6.8.1.1 Transfer Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
6.8.1.2 Connector Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
6.8.1.3 CABLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
6.8.2 RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
6.8.2.1 Transfer Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
6.8.2.2 Connector Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
6.8.2.3 CABLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
6.8.3 Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63