Ulvac UTM3400 Series, Instruction Manual

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Table of contents
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6.5 Variable Speed Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
6.5.1 Outline. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
6.5.2 Operation from Start-up to Low Speed Rotation. . . . . . . . . . . . . . . . . 46
6.5.2.1 REMOTE Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
6.5.2.2 Serial Interface Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
6.5.3 Operation from Rated Speed Rotation to Low Speed Rotation . . . . . 47
6.5.3.1 Remote Control Startup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
6.5.3.2 Serial Interface Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
6.5.4 Operation from Low Speed Rotation to Rated Speed Rotation . . . . . 48
6.5.4.1 REMOTE Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.5.4.2 Serial Interface Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.6 Software Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
6.7 Remote-control Connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
6.7.1 Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
6.7.2 Pin Assignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
6.7.3 Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
6.8 Communication Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.8.1 RS-232C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.8.1.1 Transfer Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.8.1.2 Connector Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.8.1.3 CABLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
6.8.2 RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
6.8.2.1 Transfer Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
6.8.2.2 Connector Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
6.8.2.3 CABLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
6.8.3 Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
Section 7 GAS PURGE
Section 8 TURBO MOLECULAR PUMP RECONDITION
8.1 Recommended Maintenance Intervals . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
8.2 Turbo Molecular Pump Decontamination. . . . . . . . . . . . . . . . 63
8.3 Touch-down Bearing Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
8.4 Check of the Rotor Blades . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
8.5 Power Supply Unit Parts Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
8.6 Turbo Molecular Pump Return Request . . . . . . . . . . . . . . . . 65