Ulvac UTM3400 Series, Instruction Manual

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Table of contents
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Table of contents
Introduction
Copyrights and Disclaimers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . i
Precautions for Safe Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ii
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Operating Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . v
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Explanation of Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
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Location of Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . viii
Table of contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ix
Section 1 OUTLINE AND DESCRIPTIONS
1.1 Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.2 Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1 Outside Drawing of Pump Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.2 Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.3 Standard Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.4 Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5 Document List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Section 2 IDENTIFICATION AND FUNCTION
2.1 Pump Main Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.2 Control Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.3 External I/F Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Section 3 CONSTRUCTION AND PRINCIPLE
3.1 Pump Construction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2 Principle of Turbo Molecular Pumping . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.3 Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15