Informations relatives à la sécurité pour le
contrôleur de débit de masse
Mesures de sécurité et précautions
11
Mesures de sécurité et précautions
Prendre les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases d'exploitation
de cet appareil. Le non respect des ces précautions ou des avertissements contenus dans ce
manuel constitue une violation des normes de sécurité relatives à l'utilisation de l'appareil et
peut diminuer la protection fournie par l'appareil. MKS Instruments, Inc. n'assume aucune
responsabilité concernant le non respect des consignes par les clients.
PAS DE SUBSTITUTION DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL
Ne pas installer des pièces de substitution ou effectuer des modifications non autorisées sur
l'appareil. Renvoyer l'appareil à un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou
réparation afin de garantir l'intégrité des dispositifs de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de remplacer des composants ou de faire des
réglages internes. Tout dépannage doit être uniquement effectué par du personnel qualifié.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, prendre les mesures de précaution appropriées, purger
complètement l'appareil quand cela est nécessaire, et s'assurer que les produits utilisés sont
compatibles avec les composants liquides de l'appareil, y compris les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son enlèvement d'un système, purger l'unité complètement
avec un gaz propre et sec afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation, et il faut porter des gants de protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en
cas d'homologation spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS APPROPRIÉS ET PROCÉDURES DE SERRAGE
Tous les équipements de l'appareil doivent être cohérents avec ses spécifications, et compatibles
avec l'utilisation prévue de l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux
directives du fabricant.
Содержание Mass-Flo 1179A
Страница 3: ...116527 P1 Rev E 3 99 MKS Type 1179A and 2179A Mass Flo Controller and Type 179A Mass Flo Meter...
Страница 8: ...Table of Contents vi...
Страница 10: ...List of Figures and Tables viii...
Страница 54: ...How To Use the Optional Input MFC only Chapter Four Operation 44 This page intentionally left blank...
Страница 66: ...How To Adjust the Valve Preload MFC only Chapter Seven Troubleshooting 56 This page intentionally left blank...
Страница 70: ...Physical Specifications Appendix A Product Specifications 60 This page intentionally left blank...
Страница 74: ...Model Code Appendix B Model Code Explanation 64 This page intentionally left blank...
Страница 84: ...How To Determine the Valve Configuration Appendix D MFC Sizing Guidelines 74 This page intentionally left blank...