MKS Mass-Flo 1179A, Инструкция по эксплуатации

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Mesures de sécurité et précautions Informations relatives à la sécurité pour le
contrôleur de débit de masse
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VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir
l'étanchéité de l'installation.
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux
spécifications de l'unité pour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté
dans le système à vide afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la
pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des
produits contaminants tels que des poussières et des fragments de tissu, de glace et de métal
peuvent endommager l'unité d'une manière permanente ou contaminer le processus.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT
Si l'unité est utilisée pour contrôler des gaz dangereux, ceux-ci ne doivent pas être appliqués
avant l'échauffement complet de l'unité. Utiliser une valve de fermeture positive afin de garantir
qu'aucun flux ne se produise par erreur pendant l'échauffement.