Medidas de seguridad del controlador de flujo de
masa
Procedimientos y precauciones de seguridad
15
Procedimientos y precauciones de seguridad
Las precauciones generales de seguridad descritas a continuación deben observarse durante
todas las etapas de funcionamiento del instrumento. La falta de cumplimiento de dichas
precauciones o de las advertencias específicas a las que se hace referencia en el manual,
constituye una violación de las normas de seguridad establecidas para el uso previsto del
instrumento y podría anular la protección proporcionada por el equipo. Si el cliente no cumple
dichas precauciones y advertencias, MKS Instruments, Inc. no asume responsabilidad legal
alguna.
NO UTILICE PIEZAS NO ORIGINALES O MODIFIQUE EL INSTRUMENTO
No instale piezas que no sean originales o modifique el instrumento sin autorización. Para
asegurar el correcto funcionamiento de todos los dispositivos de seguridad, envíe el instrumento
al Centro de servicio y calibración de MKS toda vez que sea necesario repararlo o efectuar tareas
de mantenimiento.
LAS REPARACIONES DEBEN SER EFECTUADAS ÚNICAMENTE POR TÉCNICOS
AUTORIZADOS
Los operarios no deben intentar reemplazar los componentes o realizar tareas de ajuste en el
interior del instrumento. Las tareas de mantenimiento o reparación deben ser realizadas
únicamente por personal autorizado.
TENGA CUIDADO CUANDO TRABAJE CON MATERIALES TÓXICOS
Cuando se utilicen materiales tóxicos, es responsabilidad de los operarios cumplir las medidas de
seguridad correspondientes, purgar totalmente el instrumento cuando sea necesario y comprobar
que el material utilizado sea compatible con los materiales humedecidos de este producto e
inclusive, con los materiales de sellado.
PURGUE EL INSTRUMENTO
Una vez instalada la unidad o antes de retirarla del sistema, purgue completamente la unidad con
gas limpio y seco para eliminar todo resto de la sustancia líquida empleada anteriormente.
USE PROCEDIMIENTOS ADECUADOS PARA REALIZAR LA PURGA
El instrumento debe purgarse debajo de una campana de ventilación y deben utilizarse guantes
protectores.
NO HAGA FUNCIONAR ESTE INSTRUMENTO EN UN AMBIENTE CON RIESGO
DE EXPLOSIONES
Para evitar que se produzcan explosiones, no haga funcionar este producto en un ambiente con
riesgo de explosiones, excepto cuando el mismo haya sido certificado específicamente para tal
uso.
Содержание Mass-Flo 1179A
Страница 3: ...116527 P1 Rev E 3 99 MKS Type 1179A and 2179A Mass Flo Controller and Type 179A Mass Flo Meter...
Страница 8: ...Table of Contents vi...
Страница 10: ...List of Figures and Tables viii...
Страница 54: ...How To Use the Optional Input MFC only Chapter Four Operation 44 This page intentionally left blank...
Страница 66: ...How To Adjust the Valve Preload MFC only Chapter Seven Troubleshooting 56 This page intentionally left blank...
Страница 70: ...Physical Specifications Appendix A Product Specifications 60 This page intentionally left blank...
Страница 74: ...Model Code Appendix B Model Code Explanation 64 This page intentionally left blank...
Страница 84: ...How To Determine the Valve Configuration Appendix D MFC Sizing Guidelines 74 This page intentionally left blank...