J-3
4.
製品仕様
名称
自動式精密膜流量計
本体型式
SF-1U/2U
体積管ユニット型式
VP-1U
VP-2U
VP-3U
VP-4U
公称体積
0.4 ml
2 ml
20 ml
200 ml
流量測定範囲
0.2〜10 ml/min
2〜100 ml/min
20〜1000 ml/min
0.2〜10 L/min
測定時間
120〜2.4 sec
60〜1.2 sec
60〜1.2 sec
60〜1.2 sec
精度
±0.5%
0.2〜2 ml/min
2〜20 ml/min
20〜200 ml/min
0.2〜1 L/min
±1.0%
2〜10 ml/min
20〜100 ml/min
200〜1000 ml/min
1〜10 L/min
再現性
±0.2%
0.2〜2 ml/min
2〜20 ml/min
20〜200 ml/min
0.2〜1 L/min
±0.5%
2〜10 ml/min
20〜100 ml/min
200〜1000 ml/min
1〜10 L/min
対象ガス
N
2
,Air,O
2
,H
2
,He,Ar,CO,CH
4
,C
3
H
8
など
注) 水溶性ガス、腐食性ガスは測定不可
気圧設定範囲
730〜1070hPa (SF-2U は大気圧入力モードの場合)
気圧測定範囲
(SF-2U)
930〜1040hPa 測定精度 ±2.7hPa
(測定データは補正に使用可能。
使用の場合、総合精度は±0.5%→±0.7%,±1.0→±1.2%となります。)
表示
LCD6 桁デジタル表示
(測定流量,測定時間,温度,気圧等を切換表示)
自動計測機能
AUTO モ−ドにより 2〜10 回の自動計測及び平均値計算を実行
(前回記憶デ−タの呼出し可能 電源 OFF にてデータ消去)
電源
DC 7V 0.5A 専用 AC アダプタ駆動
使用周囲温度
5〜40 ℃ 精度保証範囲(15〜35℃)
使用周囲湿度
80%以下(ただし結露しないこと)
使用場所
屋内
補正機能
温度,気圧,水蒸気圧による補正を行い、標準校正温度および標準大気圧
(1013.3hPa)における流量値に換算。標準校正温度 0〜35℃の範囲で設定可能
外部入出力
RS-232C 準拠
重量
本体セット 約 2.1kg
約 2.7kg
外形寸法
W140mm x H287.6mm x D200mm
W140mm x H457.6mm
x D200mm
適合規格
EMC DIRECTIVE
EN61326-1
class B
Содержание SF-1U
Страница 1: ...FILM FLOW METER SF 1U 2U Instruction Manual CODE I030248700E...
Страница 2: ...May 2016 2004 2016 HORIBA STEC Co Ltd...
Страница 3: ...J i...
Страница 4: ...J ii...
Страница 5: ...J iii 1 2 3 4 5 6 7 8 1 40 2 3 4 5 40 6 7 8 9 10 11 12 13...
Страница 7: ...J 1 SF 1U SF 2U Snoop Swagelok Company...
Страница 8: ...J 2 1 SF VP 1384428 SF 2U 2 0 35 1013 3hPa 1 3 SF 1U SF 2U 1 Snoop 59ml 1 I030248700 1 AC...
Страница 10: ...J 4 5 2...
Страница 12: ...J 6 6 6 1 6 1 1 6 1 2 AC...
Страница 13: ...J 7 6 1 3 VP 1U 4U SF 3 4 6 1 4 2 3cm 4cm Snoop Snoop...
Страница 14: ...J 8 6 1 5 VP 1U 3U 6mm 5 6mm VP 4U 10mm 9 10mm 10mm 9 10mm 3L min 2cm VP 1U 2U 1 2mm...
Страница 15: ...J 9 6 1 6 25 5 0 35 25 3 6 1 7 3 10 6 2 6 2 1 N2 5 20 1 1...
Страница 16: ...J 10 6 2 2 SF 1U 730 1070hPa 1013 3hPa SF 2U 2 730 1070hPa 1013 3hPa 2 6 2 3 2...
Страница 19: ...J 13 8 8 1...
Страница 20: ...J 14 8 2 A1 A1 A1 120 VP 1U 180 120 180 6 4 120 120 6 4 A1 7 1 3...
Страница 21: ...J 15 8 3 A2 A2 A2 120 VP 1U 180 120 180 6 4 7 1 3...
Страница 22: ...J 16 8 4 A3 A3 A3 7 1 3 8 5 A4 A4 A4...
Страница 23: ...J 17 8 6 8 7 7 1 3...
Страница 29: ...J VI B SF 1U 2U 3 3 1 RS 232C 8 1 2 NON 3 2 9600 bps 5 9600 4800 2400 1200bps 3 3 BUSY 3 4 CBM 910II 24RxxxxA...
Страница 39: ...E 4 5 Description of each part Fig 2 Description of each part...