
J-16
8.4.
A3 アラーム発生
(ディテクタ光量低下)
A3 アラーム発生
体積管内の汚れ
異常
正常
洗浄
※ディテクタ
点検、修理、オーバーホール
※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。
A3 アラーム (表示 A3:−−−−)
ディテクタ光量低下です。体積管内壁の汚れ等により発生します。体積管の洗浄を行っ
て下さい。⇒7.1.3
アラーム解除は、スタートを押して下さい。
8.5.
A4 アラーム発生
(電源電圧低下)
A4 アラーム発生
電源、アダプタ接続確認
異常
正常
接続修正
※電圧測定、修理、
オーバーホール
※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。
A4 アラーム (表示 A4:−−−−)
電源電圧低下です。
Содержание SF-1U
Страница 1: ...FILM FLOW METER SF 1U 2U Instruction Manual CODE I030248700E...
Страница 2: ...May 2016 2004 2016 HORIBA STEC Co Ltd...
Страница 3: ...J i...
Страница 4: ...J ii...
Страница 5: ...J iii 1 2 3 4 5 6 7 8 1 40 2 3 4 5 40 6 7 8 9 10 11 12 13...
Страница 7: ...J 1 SF 1U SF 2U Snoop Swagelok Company...
Страница 8: ...J 2 1 SF VP 1384428 SF 2U 2 0 35 1013 3hPa 1 3 SF 1U SF 2U 1 Snoop 59ml 1 I030248700 1 AC...
Страница 10: ...J 4 5 2...
Страница 12: ...J 6 6 6 1 6 1 1 6 1 2 AC...
Страница 13: ...J 7 6 1 3 VP 1U 4U SF 3 4 6 1 4 2 3cm 4cm Snoop Snoop...
Страница 14: ...J 8 6 1 5 VP 1U 3U 6mm 5 6mm VP 4U 10mm 9 10mm 10mm 9 10mm 3L min 2cm VP 1U 2U 1 2mm...
Страница 15: ...J 9 6 1 6 25 5 0 35 25 3 6 1 7 3 10 6 2 6 2 1 N2 5 20 1 1...
Страница 16: ...J 10 6 2 2 SF 1U 730 1070hPa 1013 3hPa SF 2U 2 730 1070hPa 1013 3hPa 2 6 2 3 2...
Страница 19: ...J 13 8 8 1...
Страница 20: ...J 14 8 2 A1 A1 A1 120 VP 1U 180 120 180 6 4 120 120 6 4 A1 7 1 3...
Страница 21: ...J 15 8 3 A2 A2 A2 120 VP 1U 180 120 180 6 4 7 1 3...
Страница 22: ...J 16 8 4 A3 A3 A3 7 1 3 8 5 A4 A4 A4...
Страница 23: ...J 17 8 6 8 7 7 1 3...
Страница 29: ...J VI B SF 1U 2U 3 3 1 RS 232C 8 1 2 NON 3 2 9600 bps 5 9600 4800 2400 1200bps 3 3 BUSY 3 4 CBM 910II 24RxxxxA...
Страница 39: ...E 4 5 Description of each part Fig 2 Description of each part...