horiba SF-1U, Инструкция по эксплуатации

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J-14
8.2.
A1 アラーム発生
（スタートディテクタ検出異常）
A1 アラーム発生
成膜状態確認 異常
正常 成膜動作確認 異常
異常
測定流量確認
正常
ＶＰ交換 正常 ※修理
異常 成膜液量
警報時間確認 確認 異常
時間設定 正常 正常 液量調節
成膜液 異常
の汚れ
正常
交換
異常 体積管内
の汚れ
洗浄 正常
※ディテクタ
点検、修理、オーバーホール
※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。
 A1 アラーム （表示 Ａ１：−−−−）
成膜〜スタートディテクタ検出時間が、膜割れ／測定範囲外流量等により 120 秒(VP-1U
は 180 秒)経過した場合発生します。体積管の湿らし操作・測定流量確認等を行って下さ
い。尚、警報時間(120/180 秒)は変更可能です。⇒6.4
 自動湿らしアラーム発生 （表示 Ａ１：−−−Ａ）
自動湿らし動作を 120 秒間実行しても、体積管内壁が湿らない場合に発生します。測定
流量、成膜液量等を確認して下さい。尚、警報時間 120 秒は変更可能です。⇒6.4（A1 ア
ラーム時間と共通）
体積管の洗浄方法⇒7.1.3
アラーム解除は、スタートキーを押して下さい。