J-5
① 測定ガス入口
測定ガス配管を接続します。また、成膜液の注入、抜取りにも使用します。
⇒6.1.4,6.1.5
② 測定ガス出口
測定ガス排気用配管を接続します。⇒6.1.5
③ 液レベル窓
成膜液の量を確認する窓です。二本の青い線は液面の上下限を表します。
⇒6.1.4
④ スタートディテクタ
膜の検出器です。膜の通過を検出すると、計時を開始します。
⑤ ストップディテクタ
膜の検出器です。膜の通過を検出すると、計時を終了します。
⑥ 体積管窓
体積管内部を確認する窓です。膜の状況や、体積管の汚れを確認します。
⑦ 膜消去用紙入口
測定後の余分な膜や液を吸取るために吸取り紙を挿入します。⇒6.1.5
⑧ 信号コネクタ
(SERIAL)
PC やプリンタとの接続に使用します。接続にはそれぞれ専用ケーブルが
必要です。
⑨ 電源ジャック(DC 7V IN)
専用 AC アダプタ用のジャックです。⇒6.1.2
⑩ 電源スイッチ(POWER)
電源を入/切するときに使用します。⇒6.1.7
⑪ 着脱レバー
体積管ユニットの固定/解除するときに使用します。⇒6.1.3
⑫ 表示部
流量、温度、測定時間、大気圧、及びアラームの表示を行います。
流量表示
有効数字
4 桁
単位切換
999.9ml/min 以下 ml/min 表示
1000ml/min 以上 L/min 表示
項目表示
通常計測時
d−:
自動計測時
d※:
(※は自動計測カウント回数 2〜A。A は 10 回目)
温度表示
有効数字
小数点以下 1 桁
動作
リアルタイム表示(計測終了時のホールドなし)
表示範囲
5.0〜40.0℃(温度精度保証範囲 15.0〜35.0℃)
項目表示
「1: ※※.※℃(※は測定温度を示す)
計時表示
有効数字
4 桁
大気圧表示
有効数字
小数点以下 1 桁
動作
リアルタイム表示(計測終了時のホールドなし)
表示範囲
730〜1070hPa(気圧測定範囲 930〜1040hPa,SF-2U)
項目表示
マニュアル入力時 H.※※※※.※hPa
大気圧計測時
A.※※※※.※hPa
(SF-1U はマニュアルのみ。※は大気圧を示す)
各種警報表示
A1:−−−−
スタートディテクタ 検出異常⇒8.2
A2:−−−−
ストップディテクタ検出異常⇒8.3
A3:−−−−
ディテクタ光量低下異常⇒8.4
A4:−−−−
電圧低下異常⇒8.5
A1:−−−A
自動湿らし異常⇒8.2
校正温度表示
「0: ※※.※
(※は校正温度を示す)⇒6.1.6
有効数字
小数点以下 1 桁
設定範囲
0〜35.0℃
その他
自動計測回数表示
AU:___※※ (※は回数を示す。 02〜10)
自動計測回数設定時のみ表示 ⇒6.2.3
自動湿らし動作表示
dP:−−−− ⇒6.2.1
警報時間設定表示
A1: ※※※sec A1警報設定時間
A2: ※※※sec A2警報設定時間
(※は設定時間を示す)⇒6.4, 8.2, 8.3
⑬ 単位表示灯
⑫の表示の単位を LED が示します。
⑭ セットキー(SET)
各種数値の設定、及び自動計測データの呼び出しを行うキーです。
⑮ セレクトキー(SELECT) 表示の選択、及び設定項目を選択するキーです。
⑯ オートキー(AUTO)
自動計測モードの選択をするキーです。LED 点灯中が自動測定モードで
す。⇒6.2.3
⑰ スタートキー(START)
計測を開始するキーです。その他、アラームのリセット、計測の中止、自
動湿らし開始にも使用します。
Содержание SF-1U
Страница 1: ...FILM FLOW METER SF 1U 2U Instruction Manual CODE I030248700E...
Страница 2: ...May 2016 2004 2016 HORIBA STEC Co Ltd...
Страница 3: ...J i...
Страница 4: ...J ii...
Страница 5: ...J iii 1 2 3 4 5 6 7 8 1 40 2 3 4 5 40 6 7 8 9 10 11 12 13...
Страница 7: ...J 1 SF 1U SF 2U Snoop Swagelok Company...
Страница 8: ...J 2 1 SF VP 1384428 SF 2U 2 0 35 1013 3hPa 1 3 SF 1U SF 2U 1 Snoop 59ml 1 I030248700 1 AC...
Страница 10: ...J 4 5 2...
Страница 12: ...J 6 6 6 1 6 1 1 6 1 2 AC...
Страница 13: ...J 7 6 1 3 VP 1U 4U SF 3 4 6 1 4 2 3cm 4cm Snoop Snoop...
Страница 14: ...J 8 6 1 5 VP 1U 3U 6mm 5 6mm VP 4U 10mm 9 10mm 10mm 9 10mm 3L min 2cm VP 1U 2U 1 2mm...
Страница 15: ...J 9 6 1 6 25 5 0 35 25 3 6 1 7 3 10 6 2 6 2 1 N2 5 20 1 1...
Страница 16: ...J 10 6 2 2 SF 1U 730 1070hPa 1013 3hPa SF 2U 2 730 1070hPa 1013 3hPa 2 6 2 3 2...
Страница 19: ...J 13 8 8 1...
Страница 20: ...J 14 8 2 A1 A1 A1 120 VP 1U 180 120 180 6 4 120 120 6 4 A1 7 1 3...
Страница 21: ...J 15 8 3 A2 A2 A2 120 VP 1U 180 120 180 6 4 7 1 3...
Страница 22: ...J 16 8 4 A3 A3 A3 7 1 3 8 5 A4 A4 A4...
Страница 23: ...J 17 8 6 8 7 7 1 3...
Страница 29: ...J VI B SF 1U 2U 3 3 1 RS 232C 8 1 2 NON 3 2 9600 bps 5 9600 4800 2400 1200bps 3 3 BUSY 3 4 CBM 910II 24RxxxxA...
Страница 39: ...E 4 5 Description of each part Fig 2 Description of each part...