horiba SF-1U, Инструкция по эксплуатации

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J-8
6.1.5.
配管接続
① 測定ガス入口に配管(チューブ)を接続してください。
VP-1U〜3U：外形 6mm ホース継ぎ手(内径 5〜6mm 軟質チューブ用)
VP-4U：外形 10mm ホース継ぎ手(内径 9〜10mm 軟質チューブ用)
② 測定ガス出口に配管(チューブ)を接続してください。
外形 10mm ホース継ぎ手(内径 9〜10mm 軟質チューブ用)
警告
反応性ガスは流さない。
水分や酸素と反応するガスは流さないで下さい。本製品は完全な機密構造に
はなっておりません。また、成膜用に液体(石けん液)を使用しておりますの
で、反応性ガスを流されますと反応し、爆発・火災の原因となります。
排気をする。
安全な場所に排気を行なって下さい。排気を行なわないと、爆発・火災・中
毒等の原因となります。
重 要
 測定ガスは測定雰囲気温度に十分熱交換してください。測定ガスと周囲温度に差
があると正確な測定結果が得られません。
 測定流量が 3L/min 以上の場合、測定ガスを十分加湿してから体積管に導入して
ください。乾燥したガスを流すと体積管が乾燥するだけでなく、正確な測定結果
が得られません。

測定をしないときは体積管にガスを流さないようにしてください。体積管内面が
汚れる場合があります。
参 考
 チューブは出来るだけ短くしてください。温度変化等による体積変化の影響を低
減します。
 吸引排気をする場合は、測定ガスの圧力が下がり過ぎないように注意してくださ
い。
 微少流量を測定する場合は、変換継ぎ手等を使用し、なるべく細いチューブを使
ってください。(入口側のみ)
 流量にかかわらず測定ガスを十分加湿してから体積管に導入すると、より正確な
結果を得ることが出来ます。
③ 膜消去用の吸取り紙を挿入口から 2cm 差込み、キャップをします。(VP-1U,2U のみ)
※
吸取り紙は吸水性のある紙を直径 1〜2mm の紙縒り状にしたものをお客様にてご用意
ください。
重 要
 吸取り紙を差し込みすぎると、体積管内部に残留し故障の原因となったり、割れ
た膜の液が逆流し、測定に悪影響を与えます。
 吸取り紙はこまめに交換してください。吸取り紙が膨張すると流路をふさぎ、測
定誤差の原因となります。
 キャップはガス漏れがないようにしっかりと嵌めてください。