horiba SF-1U, Инструкция по эксплуатации

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J-12
7. 保守
7.1. 日常保守
7.1.1. 成膜液の補充
液レベル窓より常に液量を確認してください。液レベルが下の青い線に近づきましたら、成膜液
を補充してください。⇒6.1.4
7.1.2.
成膜液の交換
液が汚れたり、膜ができにくくなった場合は速やかに成膜液を交換してください。
体積管ユニットを傾け、測定ガス入口より液を排出し、新しい成膜液を注入してください。⇒6.1.4
7.1.3.
体積管の洗浄
体積管が汚れた場合、次の手順で洗浄してください。
① 体積管ユニットを傾け、測定ガス入口より液を排出してください。
② 体積管ユニットより長めのビニールチューブ等を測定ガス入口に接続してください。
③ ビニールチューブの端を持ち上げた状態で、きれいな水（汚れがひどい場合は中性洗剤
等）を注入し、ストップディテクタの位置まで体積管内を満たしてください。
④ しばらく放置した後、ビニールチューブの端を下ろし、水（洗剤）を排出してください。
⑤ 洗剤を使用した場合はきれいな水で③④の操作を 2〜3 回行ってください。
⑥ 液を完全に排出できたら、成膜液を注入してください。⇒6.1.4
7.2.
定期点検
いつまでも精度よくお使いいただくために、定期点検・精度確認・再校正を有償にて行います。
詳しくは、お買い求めいただいた代理店、または弊社までお問い合わせください。SF-2U,VP につき
ましては 1 年毎の精度確認をお奨めします。
7.2.1.
定期交換部品
使用頻度、測定流体等により異なりますが、下記の期間を目安に部品交換（有償）をお奨めしま
す。定期交換部品の交換は、弊社にて実施いたします。お客様ご自身による交換はできません。

パルスモータアッセン 2 年毎
 成膜機構アッセン 2 年毎

シールキット 2 年毎 又は 分解時
 内部配管 3 年毎

その他部品 必要時
7.2.2.
保守部品
 成膜液 Snoop
®
236ml No.S000025（3024000025）

専用 AC アダプタセット PS-SF-100C(日本国内用) No.S242802（3200496396）
 専用 AC アダプタ (ヨーロッパ用) 御入用時、弊社までご相談ください。

専用 AC コードセット (ヨーロッパ用) 御入用時、弊社までご相談ください。