horiba SF-1U, Инструкция по эксплуатации

Страница: 6 / 60

目 次
ページ
はじめに ................................................................................ 1
1. 概要 .............................................................................. 2
2. 動作原理 .......................................................................... 2
3. パッケージの確認 .................................................................. 2
4. 製品仕様 .......................................................................... 3
5. 各部説明 .......................................................................... 4
6. 操作説明 .......................................................................... 6
6.1. 準備 ............................................................................ 6
6.1.1. 測定場所 .................................................................... 6
6.1.2. 電源接続 .................................................................... 6
6.1.3. 体積管ユニット装着 .......................................................... 7
6.1.4. 成膜液注入 .................................................................. 7
6.1.5. 配管接続 .................................................................... 8
6.1.6. 校正温度設定 ................................................................ 9
6.1.7. 電源投入 .................................................................... 9
6.2. 測定 ............................................................................ 9
6.2.1. 体積管湿らし ................................................................ 9
6.2.2. 大気圧入力 ................................................................. 10
6.2.3. 測定 ....................................................................... 10
6.3. 演算式 ......................................................................... 11
6.4. 警報時間設定 ................................................................... 11
7. 保守 ............................................................................. 12
7.1. 日常保守 ....................................................................... 12
7.1.1. 成膜液の補充 ............................................................... 12
7.1.2. 成膜液の交換 ............................................................... 12
7.1.3. 体積管の洗浄 ............................................................... 12
7.2. 定期点検 ....................................................................... 12
7.2.1. 定期交換部品 ............................................................... 12
7.2.2. 保守部品 ................................................................... 12
8. トラブルチャート ................................................................. 13
8.1. 電源が入らない ................................................................. 13
8.2. A1 アラーム発生 ................................................................ 14
8.3. A2 アラーム発生 ................................................................ 15
8.4. A3 アラーム発生 ................................................................ 16
8.5. A4 アラーム発生 ................................................................ 16
8.6. 膜が複数枚出来る ............................................................... 17
8.7. 時計をカウントしない ........................................................... 17
付録 A コンピュータ通信仕様 .............................................................. I
付録 B プリンタ通信仕様 ................................................................. VI