horiba SF-1U, Инструкция по эксплуатации

Страница: 8 / 60

J-2
1. 概要
精密膜流量計(SF シリーズ)は、本体に体積管ユニット(VP シリーズ)を接続し、各種ガスの流量
を測定します。体積管ユニットは、精密体積管に石けん膜ディテクタ（実用新案登録 第 1384428
号）を組合せて、体積管を通過する石けん膜を検出することにより流量計測します。標準校正温度
の入力および高精度気圧計を内蔵(SF-2U)することにより、計測流量は自動的に補正され、出力さ
れます。
2. 動作原理
スタートキーを押すことによりパルスモータが回転し、膜リングが上下に動作します。膜リング
により体積管の入口に付けられた石けん膜は、ガスの流れにより体積管を上方に移動します。体積
管は高精度に値付けされており、石けん膜が一定区間（スタートディテクタ〜ストップディテクタ
間）を通過する時間を計測することでガスの流量が測定されます。更に温度、大気圧を演算部にて
読み取り、測定流量の水蒸気圧補正を行い、校正温度(0〜35℃)・1013.3hPa 換算の流量を表示し
ます。
図 1 動作原理説明図
3. パッケージの確認
開梱時、次の物がそろっているか確認してください。

本体 SF-1U または SF-2U 1 台
 成膜液 Snoop
®
59ml 1 本

取扱説明書（本書） I030248700 1 冊
※ 別途、専用 AC アダプタセットが必要です。
温度
センサ
体積値
パルス
モータ
膜リング
体積管
体積管
ユニット
成膜液
測定ガス
入口
測定ガス
出口
演算部
気圧センサ 水蒸気圧(近似式)
スタート
表示器
本体
ストップ
ディテクタ
スタート
ディテクタ