
J-1
はじめに
このたびは精密膜流量計 SF-1U/SF-2U をお買い上げいただき誠にありがとうございます。
この取扱説明書は、製品を取り扱う人を対象に書かれています。
装置を正しく安全にお使いいただくために、ご使用になる前に本書をよくお読みのうえ、十分にご
理解いただいてからお使いください。
この取扱説明書は、お読みになった後も、お使いになる方がいつでもご覧になれるところに保管し
てください。
保証と責任の範囲
保証期間
ご購入後1年間とし、この期間内に発生し、幣社にご連絡いただいた故障については無償
で修理いたします。
保証期間内の故障につきましては、初期不良及び取扱説明書に記載された事項を遵守いた
だいたにもかかわらず、発生した故障及び不具合に対し無償にて修理又は交換をさせて頂き
ます。
無償保証期間終了後に発生した故障及びハード・ソフトウエアのバージョンアップにつき
ましては、有償とさせて頂きます。
製品の寿命に関しては、安全上の問題及び部品供給等の問題から製造後10年を目安とさ
せて頂きます。
保証範囲
保証の範囲は、この装置に限定させて頂きます。
例えば、この装置の故障によって生じる損害(利益損失、顧客の信用、設備、財産)の保
証等は、ご容赦願います。
なお、この装置及び周辺機器の、使用に伴う安全管理責任は、ご使用者側で追って頂きま
す。
免責事項
以下の場合は、保証期間内であっても有償対応となります事をご了承願います。
天災等、不可抗力によって生じた事故。
取り扱いを誤り、または取り扱い上必要な注意を怠ったために生じた故障。
不適切な環境で使用、または保管された場合。
定格仕様の範囲を越えて使用され、または装置に改造を加えられたり、所定の目的
以外の目的に使用された場合。
その他、幣社の責任外と判断される場合、または別に定めた場合。
無断転載・複写複製について
本書の内容の一部あるいは全部を、無断で転載したり複写することは、固くお断りします。
本書の内容については万全を期して作成いたしましたが、万一ご不審な点や誤り、記載もれ
など、お気づきの点がありましたら、弊社へご連絡ください。
その他
Snoop
®
は米国 Swagelok Company の登録商標です。
Содержание SF-1U
Страница 1: ...FILM FLOW METER SF 1U 2U Instruction Manual CODE I030248700E...
Страница 2: ...May 2016 2004 2016 HORIBA STEC Co Ltd...
Страница 3: ...J i...
Страница 4: ...J ii...
Страница 5: ...J iii 1 2 3 4 5 6 7 8 1 40 2 3 4 5 40 6 7 8 9 10 11 12 13...
Страница 7: ...J 1 SF 1U SF 2U Snoop Swagelok Company...
Страница 8: ...J 2 1 SF VP 1384428 SF 2U 2 0 35 1013 3hPa 1 3 SF 1U SF 2U 1 Snoop 59ml 1 I030248700 1 AC...
Страница 10: ...J 4 5 2...
Страница 12: ...J 6 6 6 1 6 1 1 6 1 2 AC...
Страница 13: ...J 7 6 1 3 VP 1U 4U SF 3 4 6 1 4 2 3cm 4cm Snoop Snoop...
Страница 14: ...J 8 6 1 5 VP 1U 3U 6mm 5 6mm VP 4U 10mm 9 10mm 10mm 9 10mm 3L min 2cm VP 1U 2U 1 2mm...
Страница 15: ...J 9 6 1 6 25 5 0 35 25 3 6 1 7 3 10 6 2 6 2 1 N2 5 20 1 1...
Страница 16: ...J 10 6 2 2 SF 1U 730 1070hPa 1013 3hPa SF 2U 2 730 1070hPa 1013 3hPa 2 6 2 3 2...
Страница 19: ...J 13 8 8 1...
Страница 20: ...J 14 8 2 A1 A1 A1 120 VP 1U 180 120 180 6 4 120 120 6 4 A1 7 1 3...
Страница 21: ...J 15 8 3 A2 A2 A2 120 VP 1U 180 120 180 6 4 7 1 3...
Страница 22: ...J 16 8 4 A3 A3 A3 7 1 3 8 5 A4 A4 A4...
Страница 23: ...J 17 8 6 8 7 7 1 3...
Страница 29: ...J VI B SF 1U 2U 3 3 1 RS 232C 8 1 2 NON 3 2 9600 bps 5 9600 4800 2400 1200bps 3 3 BUSY 3 4 CBM 910II 24RxxxxA...
Страница 39: ...E 4 5 Description of each part Fig 2 Description of each part...