J-i
安全上の注意
ご使用になる前に、必ず「安全上の注意」をお読みのうえ正しくお使いください。
本書では、お客様や他の人々への危害や財産への損害を未然に防止するために、危険を伴う操作・
お取り扱いについて、次の記号で警告表示を行っています、内容をよくご理解の上で本文をお読み
ください。
警告
誤った取扱いをしたときに、死亡や重傷などの重
大な結果に結びつく可能性があるもの
注意
誤った取扱いをしたときに、傷害または家屋・家
財などの損害に結びつくもの
図記号の例
注意(警告を含む)を示します。
具体的な注意内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。
禁止(してはいけないこと)を示します。
具体的な禁止内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。
強制(必ずすること)を示します。
具体的な強制内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。
重 要
:故障や誤った測定の防止のため、特に守っていただきたい内容。
参 考
:測定精度をよくするため、参考にしていただきたい内容。
警告
反応性ガスは流さない。
水分や酸素と反応するガスは流さないで下さい。本製品は完全な機密構造に
はなっておりません。また、成膜用に液体(石けん液)を使用しておりますの
で、反応性ガスを流されますと反応し、爆発・火災の原因となります。
排気をする。
安全な場所に排気を行なって下さい。排気を行なわないと、爆発・火災・中
毒等の原因となります。
専用ACアダプタを使用する。
それ以外を使用すると、火災や感電の原因になります。
分解・改造をしない。
発熱、火災、感電、けがの原因となります。
水などをかけない。
感電・火災の原因となります。
Содержание SF-1U
Страница 1: ...FILM FLOW METER SF 1U 2U Instruction Manual CODE I030248700E...
Страница 2: ...May 2016 2004 2016 HORIBA STEC Co Ltd...
Страница 3: ...J i...
Страница 4: ...J ii...
Страница 5: ...J iii 1 2 3 4 5 6 7 8 1 40 2 3 4 5 40 6 7 8 9 10 11 12 13...
Страница 7: ...J 1 SF 1U SF 2U Snoop Swagelok Company...
Страница 8: ...J 2 1 SF VP 1384428 SF 2U 2 0 35 1013 3hPa 1 3 SF 1U SF 2U 1 Snoop 59ml 1 I030248700 1 AC...
Страница 10: ...J 4 5 2...
Страница 12: ...J 6 6 6 1 6 1 1 6 1 2 AC...
Страница 13: ...J 7 6 1 3 VP 1U 4U SF 3 4 6 1 4 2 3cm 4cm Snoop Snoop...
Страница 14: ...J 8 6 1 5 VP 1U 3U 6mm 5 6mm VP 4U 10mm 9 10mm 10mm 9 10mm 3L min 2cm VP 1U 2U 1 2mm...
Страница 15: ...J 9 6 1 6 25 5 0 35 25 3 6 1 7 3 10 6 2 6 2 1 N2 5 20 1 1...
Страница 16: ...J 10 6 2 2 SF 1U 730 1070hPa 1013 3hPa SF 2U 2 730 1070hPa 1013 3hPa 2 6 2 3 2...
Страница 19: ...J 13 8 8 1...
Страница 20: ...J 14 8 2 A1 A1 A1 120 VP 1U 180 120 180 6 4 120 120 6 4 A1 7 1 3...
Страница 21: ...J 15 8 3 A2 A2 A2 120 VP 1U 180 120 180 6 4 7 1 3...
Страница 22: ...J 16 8 4 A3 A3 A3 7 1 3 8 5 A4 A4 A4...
Страница 23: ...J 17 8 6 8 7 7 1 3...
Страница 29: ...J VI B SF 1U 2U 3 3 1 RS 232C 8 1 2 NON 3 2 9600 bps 5 9600 4800 2400 1200bps 3 3 BUSY 3 4 CBM 910II 24RxxxxA...
Страница 39: ...E 4 5 Description of each part Fig 2 Description of each part...