horiba SF-1U, Инструкция по эксплуатации

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J-7
6.1.3.
体積管ユニット装着
① 測定流量にあった体積管ユニット(VP-1U〜4U)をコネクタ及び接続部の切り欠きが本体接続
部のピンに合うように装着します。
② 着脱レバーを図の矢印の方向に回し固定します。
※ 体積管ユニットを取り外すときは②のレバーを戻し、SF 本体を押さえてゆっくりと取り外し
てください。
注意
体積管ユニットを確実に固定する。
体積管ユニットを本体に装着するときは着脱レバーの操作を確実に行い、固
定してください。固定せずに使用や持ち運びをしますと、転倒や脱落を招き、
けがや故障の原因となります。
図 3 体積管ユニット装着 図 4 成膜液注入
6.1.4.
成膜液注入
測定ガス入口に成膜液ボトルのチューブを 2〜3cm 挿入し、泡が立たないようにゆっくりと注入し
ます。液レベル窓の二本の青い線の間に液面が来るように注入してください。
重 要

測定ガス入口に成膜液ボトルのチューブを 4cm 以上挿入しないでください。故障
の原因になります。

成膜液は必ず Snoop
®
を使用してください。この他の石けん液や漏れ検査液を使
用された場合、膜が出来なくなるだけではなく、体積管を汚れたり、内部のパッ
キンが劣化する場合があります。
 液面は必ず二本の青い線の間に来るようにしてください。液の過不足は測定精度
に悪影響を与えます。
①
② 切り欠き
ピン
成膜液
Snoop
®
コネクタ