MKS P9B, Инструкция по эксплуатации, Страница: 26 / 112

질량 유량 장치 안전 정보
16
안전 절차 및 예방조치
본 기계의 모든 작동 시에 다음의 일반 안전 예방조치를 준수하십시오
.
아래 예방조치를
준수하지 않거나 본 매뉴얼의 다른 부분에 있는 특정 경고를 준수하지 않을 경우
,
기계
사용 목적의 안전 기준을 위반하는 것이 되며
,
장비가 제공하는 보호기능을 손상시킬 수
있습니다
. MKS Instruments, Inc.
는 고객이 본 요건을 준수하지 않는 경우에 대해서는
어떠한 책임도 지지 않습니다
.
부품을 교체하거나 기계를 개조하지 마십시오
교체 부품을 설치하거나 기계에 허가되지 않은 어떠한 수정도 가하지 마십시오
.
서비스와 수리가
필요한 경우에는 모든 안전 특성이 유지되도록 기계를
MKS
보정 서비스 센터
(MKS Calibration and
Service Center)
로 보내주십시오
.
자격이 있는 사람에게만 서비스를 받으십시오
작동하는 사람은 기계 겉면을 제거해서는 안됩니다
.
부품 교체 및 내부 조정은 자격이 있는 서비스
기사에게만 받으실 수 있습니다
.
전류가 통하는 회로에서 분리해 보관하십시오
전원 케이블을 연결한 채로 부품을 교체하지 마십시오
.
일부 환경에서는 전원 케이블을 제거한
상태라도 위험 전압이 존재할 수 있습니다
.
부상을 방지하려면
,
전원을 항상 분리하고 회로를
만지기 전에 회로를 방전시키십시오
.
위험한 물질과 함께 작동할 때는 주의를 기울이십시오
위험한 물질이 사용되는 경우
,
사용자는 필요시 기계를 완전히 청소하여
,
적절한 안전 예방조치를
준수할 책임을 지키고
,
사용된 물질이 봉인 물질과 함께 사용해도 무방하다고 보증할 수 있어야
합니다
.
기계를 청소하십시오
장치를 설치한 후나 시스템에서 장치를 제거하기 전에는 반드시 깨끗한 건조성 기체로 장치를
완전히 청소하여 이전에 사용된 유량 물질의 모든 흔적을 제거하십시오
.
청소 시에는 적절한 절차를 사용하십시오
본 기계는 환기 후드 아래에서 청소되어야 하며
,
인체 보호를 위해 장갑을 착용해야 합니다
.
폭발성 환경에서 작동하지 마십시오
폭발을 방지하려면
,
폭발성 환경에서 작동하도록 특별히 승인받지 않은 경우 본 제품을 폭발성
환경에서 작동하지 마십시오
.
적절한 조립부품과 조임 절차를 사용하십시오
모든 기계 조립부품은 제품 사양과 일치해야 하고
,
기계의 사용 목적에 부합해야 합니다
.
제조업체의 지시에 따라 조립부품을 조립하고 조이십시오
.
누출방지 조립부품을 점검하십시오