
질량
유량
장치
안전
정보
16
안전
절차
및
예방조치
본
기계의
모든
작동
시에
다음의
일반
안전
예방조치를
준수하십시오
.
아래
예방조치를
준수하지
않거나
본
매뉴얼의
다른
부분에
있는
특정
경고를
준수하지
않을
경우
,
기계
사용
목적의
안전
기준을
위반하는
것이
되며
,
장비가
제공하는
보호기능을
손상시킬
수
있습니다
. MKS Instruments, Inc.
는
고객이
본
요건을
준수하지
않는
경우에
대해서는
어떠한
책임도
지지
않습니다
.
부품을
교체하거나
기계를
개조하지
마십시오
교체
부품을
설치하거나
기계에
허가되지
않은
어떠한
수정도
가하지
마십시오
.
서비스와
수리가
필요한
경우에는
모든
안전
특성이
유지되도록
기계를
MKS
보정
서비스
센터
(MKS Calibration and
Service Center)
로
보내주십시오
.
자격이
있는
사람에게만
서비스를
받으십시오
작동하는
사람은
기계
겉면을
제거해서는
안됩니다
.
부품
교체
및
내부
조정은
자격이
있는
서비스
기사에게만
받으실
수
있습니다
.
전류가
통하는
회로에서
분리해
보관하십시오
전원
케이블을
연결한
채로
부품을
교체하지
마십시오
.
일부
환경에서는
전원
케이블을
제거한
상태라도
위험
전압이
존재할
수
있습니다
.
부상을
방지하려면
,
전원을
항상
분리하고
회로를
만지기
전에
회로를
방전시키십시오
.
위험한
물질과
함께
작동할
때는
주의를
기울이십시오
위험한
물질이
사용되는
경우
,
사용자는
필요시
기계를
완전히
청소하여
,
적절한
안전
예방조치를
준수할
책임을
지키고
,
사용된
물질이
봉인
물질과
함께
사용해도
무방하다고
보증할
수
있어야
합니다
.
기계를
청소하십시오
장치를
설치한
후나
시스템에서
장치를
제거하기
전에는
반드시
깨끗한
건조성
기체로
장치를
완전히
청소하여
이전에
사용된
유량
물질의
모든
흔적을
제거하십시오
.
청소
시에는
적절한
절차를
사용하십시오
본
기계는
환기
후드
아래에서
청소되어야
하며
,
인체
보호를
위해
장갑을
착용해야
합니다
.
폭발성
환경에서
작동하지
마십시오
폭발을
방지하려면
,
폭발성
환경에서
작동하도록
특별히
승인받지
않은
경우
본
제품을
폭발성
환경에서
작동하지
마십시오
.
적절한
조립부품과
조임
절차를
사용하십시오
모든
기계
조립부품은
제품
사양과
일치해야
하고
,
기계의
사용
목적에
부합해야
합니다
.
제조업체의
지시에
따라
조립부품을
조립하고
조이십시오
.
누출방지
조립부품을
점검하십시오
Содержание P9B
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Страница 28: ...18...
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Страница 56: ...Chapter Four Analog and Digital Interface Digital Interface Input and Output Options 46...
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Страница 68: ...Chapter Five Ethernet Interface Setup and Configuration Digital Interface Input and Output Options 58...
Страница 86: ...Chapter Six Embedded Web Based GUI and Diagnostics Tuning the MFC for Optional PC 76...
Страница 92: ...Chapter Seven Maintenance Pressure Zero Adjustment 82 This page intentionally left blank...
Страница 99: ...Troubleshooting Chart Chapter Eight Troubleshooting 89 This page intentionally left blank...
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Страница 105: ...Appendix A Product Specifications Electrical Specifications 95...
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Страница 112: ...Model Code Description Appendix C Health and Safety Form 102 Appendix C Health and Safety Form...