MKS MKSINST IE1000A, Инструкция по эксплуатации

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Sicherheitshinweise für das Massenflussgerät
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Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes zu
befolgen. Eine Missachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser
Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden Sicherheitsstandards,
und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen. MKS Instruments, Inc.
haftet nicht für Missachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden.
Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Gerät vornehmen!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine eigenmächtigen Änderungen am
Gerät vor. Schicken Sie das Gerät zwecks Wartung und Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein.
Nur so wird sichergestellt, dass alle Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur von qualifizierten
Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.
Vorsicht vor stromführenden Leitungen!
Ersetzen Sie keine Komponente von Geräten, die an Netzstrom angeschlossen sind. Unter Umständen kann gefährliche
Spannung auch dann bestehen, wenn das Netzanschlusskabel von der Strmversorgung entfernt wurde. Um Verletzungen
vorzubeugen sollten zuerst alle Geräte von der Stromversorgung getrennt und alle Stromkreusläufe entladen werden.
Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muss der Bediener die entsprechenden Sicherheitsvorschriften genauestens
einhalten, das Gerät, falls erforderlich, vollständig spülen, sowie sicherstellen, dass der Gefahrstoff die am Gerät
verwendeten Materialien, insbesondere Dichtungen, nicht angreift.
Spülen des Gerätes mit Gas!
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muss das Gerät unter Einsatz eines reinen Trockengases
vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu entfernen.
Anweisungen zum Spülen des Gerätes
Das Gerät darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen.
Gerät nicht zusammen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in der Nähe von)
explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für diesen Zweck zugelassen ist.
Anweisungen zum Installieren der Armaturen!
Alle Anschlussstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen, und mit dem geplanten
Einsatz des Gerätes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das Anziehen und Abdichten, muss gemäß den
Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
Verbindungen auf Undichtigkeiten prüfen!
Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen.
Gerät nur unter zulässigen Anschlussdrücken betreiben!
Betreiben Sie das Gerät niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe Produktspezifikationen)
übersteigen.
Geeignete Berstscheibe installieren!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete Berstscheibe in das
Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von steigendem Systemdruck zu vermeiden.
Verunreinigungen im Gerät vermeiden!
Stellen Sie sicher, dass Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des Betriebs in das
Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter oder Metallspäne können das Gerät
dauerhaft beschädigen oder Prozess- und Messwerte verfälschen.
Bei Geräten mit Temperaturkontrolle korrekte Anwärmzeit einhalten!
Temperaturkontrollierte Geräte arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn genügend Zeit zum Erreichen und
Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird. Kalibrierungen und Nulleinstellungen sollten daher nur nach
Abschluss des Anwärmvorgangs durchgeführt werden.