Ulvac GI-M2, Instruction Manual

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Fig. 9-2 Supplementary explanation of output voltage (GI-M2)
The measurement output voltage can be converted to a pressure value using the following
equation.
P:Pressure value
（
Torr
）
V:Measured output voltage
（
V
）
E:V from which decimal point is rounded down
（
V
）
GI-M2:
P=10(V-E)
×
10
-( ８ -E)
（
Torr
）
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
1.0E-08 1.0E-07 1.0E-06 1.0E-05 1.0E-04 1.0E-03 1.0E-02 1.0E-01 1.0E+00 1.0E+01
O
u
tp
u
t V
ol
tage
(V
)
Pressure (Pa)
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
1.0E-10 1.0E-09 1.0E-08 1.0E-07 1.0E-06 1.0E-05 1.0E-04 1.0E-03 1.0E-02 1.0E-01
O
u
tp
u
t V
ol
tage
(V
)
Pressure (Torr)