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2.3 Enddruck
Unter dem Enddruck von Turbopum-
pen wird nach DIN 28 428 der Druck
verstanden, der in einem Meßdom
48 Stunden nach dem Ausheizen
erreicht wird. Der Enddruck, der mit
dieser Turbopumpe erreicht wird, liegt
bei Verwendung der Vorpumpe
gemäß Abschnitt 3, bei folgenden
Werten:
Jede Turbopumpe unterschreitet
während der Endabnahme die End-
druckwerte (2) und (3), wobei der End-
druck (3) ohne Ausheizen der Turbo-
pumpen erreicht wird.
3 Vorvakuumpumpe
Fig. 5
Die Saugleistung der Vorvakuumpum-
pe ist prozessabhängig und muß bei
Gaslasten über 1 mbar l/s entspre-
chend festgelegt werden.
Als Standard-Vorvakuumpumpe em-
pfehlen wir unsere zweistufige Dreh-
schiebervakuumpumpe DUO 120 A
mit integriertem HV-Sicherheitsventil.
Fig. 5
Drehschieberpumpe DUO 120 A
Rotary Vane Pump DUO 120 A
Pompe à vide rotatives à palettes
DUO 120 A
2.3 Ultimate Pressure
According to German Industrial Stan-
dards DIN 28 428, the ultimate pressu-
re of turbomolecular pumps is the
pressure which is attained in a measu-
ring dome 48 hours after baking-out.
Ultimate pressure values attained by
this pump in conjunction with the
backing pump in accordance with Sec-
tion 3 are as follows:
During final acceptance tests, every
turbo pump falls below the ultimate
pressure values (2) and (3), with the
ultimate pressure (3) being attained
without baking-out of the pumps.
3 Backing Pump
Fig. 5
The throughput of the backing pump
is a function of the process and with
gas loads over 1 mbar l/s must be
determined accordingly.
We recommend our two-stage
DUO 120 A Rotary Vane Vacuum
Pump with integrated HV safety valve,
as the standard backing pump.
2.3 Pression finale
On entend par pression finale des
pompes turbomoléculaires, la pressi-
on suivant DIN 28 428 qui sera atteinte
dans un dôme de mesure, 48 heures
après l’étuvage. Les valeurs de pressi-
on atteintes avec la pompe turbo,
avec utilisation d’une pompe primaire
suivant chapitre 3, sont les suivantes:
Pendant la réception finale, chaque
pompe turbo descend en-dessous des
valeurs (2) et (3) de la pression finale,
la pression finale (3) étant atteinte
sans l’étuvage des pompes turbo.
3 Pompe à vide primaire
Fig. 5
La capacité d’aspiration de la pompe à
vide primaire dépend du processus et
doit être déterminée en fonction des
charges de gaz au-dessus de
1 mbar l/s.
Comme pompe à vide primaire stan-
dard, nous recommandons notre
pompe à vide rotative à palettes à
deux étages DUO 120 A avec soupape
de sécurité de vide élevée intégrée.
Enddruck
Vorpumpensystem
Backing pump combination
Combinaison des
Dichtung für
Ultimate pressure
pompes primaires
Ansaugflansch
Pression, finale
Seal for intake
flange
Joint pour
bride d’aspiration
(1)1·10
-10
mbar
Zweistufige Dreh-
Two-stage rotary vane
Pompe à vide rota-
Metall
schiebervakuum-
vacuum pump and turbo-
tive à palettes à
Metal
pumpe und Turbo-
pump
deux étages et pompe
Métal
pumpe
turbo
(2)1·10
-9
mbar
Zweistufige Dreh-
Two-stage rotary vane
Pompe à vide rota-
Metall
schiebervakuum-
vacuum pump
tive à palettes à
Metal
pumpe
deux étages
Métal
(3)1·10
-8
mbar
Zweistufige Dreh-
Two-stage rotary vane
Pompe à vide rota-
schiebervakuum-
vacuum pump
tive à palettes à
Viton
pumpe
deux étages
