Pfeiffer Vacuum TPH 1600, Operating Instructions Manual

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1)
1 mbar l/s = 60 sccm.
2)
Mit empfohlener Vorvakuumpumpe und
TCP 600 gemessen. Beim Überschreiten
des angegebenen Gasdurchsatzes sinkt
die Pumpendrehzahl ab. Hierdurch wird
die Einstellzeit (Einpendeln Druck-Gas-
durchsatz) länger. Bei Gasdurchsatz
> 5 mbar l/s muß mit Stand-by Betrieb
gefahren werden.
3)
Der Wert, dem sich der Druck innerhalb
des Messdoms asymptotisch nähert. Er
ist der niedrigste Druck, der mit der
Pumpe erreicht werden kann
(lt. DIN 28 428).
4)
Erläuterungen siehe Abschnitt 2.3.
5)
bis 90 % der Nenndrehzahl mit
TCP 380/TCP 600.
6)
Bei maximaler Gaslast sind bis zu 80 l/h
Kühlwasser erforderlich.
7)
Bei stärkeren Magnetfeldern Abschir-
mung auf Anfrage.
8)
Gemessen mit einer Vorpumpe von
120 m
3
/h.
1)
1 mbar l/s = 60 sccm.
2)
Measured with the recommended
backing pump and TCP 600.
If the gas throughput stated is exceeded,
the pump rotation speed reduces. The set
time is hereby longer (levelling out pres-
sure-gas throughput). With > 5 mbar l/s
gas throughput stand-by mode must be
operated.
3)
Value to which the pressure in the test
dome converges asymptotically. It is the
lowest pressure which can be attained
with the pump (according to German
Industrial Standard 28 428).
4)
See Section 2.3 for explanation.
5)
Up to 90 % of the nominal rotation speed
with the TCP 380/600.
6)
With maximum gas load up to 80 l/h coo-
ling water is required.
7)
For more powerful magnetic fields, shiel-
ding is available on request.
8)
Measured with a backing pump of
120 m
3
/h.
1)
1 mbar l/s = 60 sccm.
2)
Mesuré avec pompe à vide primaire con-
seillée et TCP 600. En cas de dépasse-
ment du débit de gaz indiqué la vitesse
de rotation de la pompe diminue. Dans ce
cas le temps de réglage (pression débit
de gaz-oscillants) sera plus long. Pour un
débit de gaz > 5 mbar l/s il faut utiliser le
mode Stand-by.
3)
La valeur dont la pression s’approche de
manière asymptotique dans le dôme de
mesure. C’est la pression minimale qui
peut être atteinte avec la pompe (confor-
mément à DIN 28 428).
4)
Explications, voir chapitre 2.3.
5)
jusqu’à 90 % de la vitesse nominale avec
TCP 380/TCP 600.
6)
Pour une charge de gaz maximum,
jusqu’à 80 l/h d’eau de refroidissement
sont nécessaire.
7)
En cas de champs magnétiques plus puis-
sants, blindage sur demande.
8)
Mesuré avec une pompe primaire de
120 m
3
/h.
2 Technische Daten 2 Technical Data 2 Caractéristiques
2 techniques
Turbomolekularpumpe Turbomolecular pump Pompe turbomoléculaire TPH/TPU 1600 TPH/TPU 1600
Anschlußnennweite Nominal connection Diamètre nominal des
of diameter raccords
Eingang Inlet Entrée DN 200 ISO-K/ DN 250 ISO-K/
DN 200 CF-F DN 250 CF-F
Ausgang Outlet Sortie DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF
Saugvermögen für Volume flow rate for Capacité d’aspiration pour
Stickstoff N
2
Nitrogen N
2
Azote N
2
l/s 1100 1500
Helium He Helium He Helium He l/s 1370 1500
Wasserstoff H
2
Hydrogen H
2
Hydrogène H
2
l/s 1250 1400
Kompressionsver- Compression Taux de
hältnis für ratio for compression pour
N
2
N
2
N
2
10
8
10
8
He He He 3 · 10
4
3 · 10
4
H
2
H
2
H
2
2,2 · 10
3
2,2 · 10
3
Max. Gasdurchsatz bei Max. throughput with Max. débit de gaz avec
Nenndrehzahl
2)
rated rotation speed
2)
vitesse nominale
2)
mbar l/s
1)
5 5
Max. Gasdurchsatz bei Max. throughput with Max. débit de gaz avec
Stand-by Drehzahl
8)
stand-by rotation speed
8)
vitesse en mode Stand-by
8)
mbar l/s
1)
11 11
Theoretischer Enddruck
3)
Theoretical ultimate pressure
3)
Pression finale théorique
3)
mbar 10
-11
10
-11
Enddruck 1
4)
Ultimate pressure 1
4)
Pression finale 1
4)
mbar < 1 · 10
-10
< 1 · 10
-10
Enddruck 2
4)
Ultimate pressure 2
4)
Pression finale 2
4)
mbar < 1 · 10
-9
< 1 · 10
-9
Enddruck 3
4)
Ultimate pressure 3
4)
Pression finale 3
4)
mbar < 1 · 10
-8
< 1 · 10
-8
Nenndrehzahl Rated rotation speed Vitesse nominale 1/min 36000 36000
Stand-by Drehzahl Stand-by rotation speed Vitesse en mode Stand-by 1/min 24000 24000
Hochlaufzeit
5)
Run-up time
5)
Temps d’accéleration
5)
min 20/8 20/8
Betriebsmittel Pump fluid Agent lubrifiant F3 F3
Füllmenge Filling quantity Quantité de remplissage cm
3
65 65
Kühlart: Serienmäßig Type of cooling: Standard Mode de refroidissement: Standard Wasser / Water / Eau
Kühlwasserbedarf
6)
Cooling water requirement
6)
Consommation eau de l/h 20 20
refroidissement
6)
Zul. Kühlwassertemperatur Permissible cooling water Température d’eau de
temperature refroidissement admissible ˚C 5 - 20 5 - 20
Zulässige Permissible ambient Temperature ambiante ˚C 0 - 50 0 - 50
Umgebungstemperatur temperature admissible
Heizmanschette Heating jacket Chemise chauffante TPU
x
TPU
x
Leistungsaufnahme der Power input of heater Puissance absorbée par le W 400 400
Heizung chauffage
Sperrgasmenge Sealing gas volume Gaz de blocage mbar l/s
1)
,
max. 0,5 0,5
Zulässiges Magnetfeld, Permissible magnetic field, Champ magnétique admissible, mT 3 3
max.
7)
max.
7)
max.
7)
Gewicht Weight Poids kg 49/51 51/53
Empfohlene Vorpumpe, Recommended backing pump, Pompe primaire recommandée, m
3
/h 120 120
min. min. min.
Antriebselektronik Electronic drive unit Commande électronique TCP 380/600 TCP 380/600
d’entraînement