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KURZANWEISUNG
für
Turbomolekularpumpen
TPH/TPU 1600
für Korrosiv-Gas-Technik
– Blatt heraustrennen und bei der Turbopumpe auf-
bewahren.
– Diese Kurzanweisung vermittelt Ihnen die
wesentlichen Informationen zum Betreiben dieser
Turbopumpe.
– Lesen Sie vor der Inbetriebnahme unbedingt die
vollständige Betriebsanweisung
PM 800 302 BD,E,F!
– Befolgen Sie die Anweisungen!
INSTALLATION
(siehe 4.1 - 4.7*)
– Auf größtmögliche Sauberkeit achten!
– Vor Inbetriebnahme ca. 65 ml Betriebsmittel “F3”
mit Injektionsspritze einfüllen - siehe Pos. 38 (Tur-
bopumpe wird ohne Betriebsmittelfüllung gelie-
fert).
– Blindflansche erst unmittelbar vor der Montage
entfernen.
– HV Flansch 1 - Belastbarkeit: max. 200 kg.
– Einbaulage: vertikal bis horizontal.
– Je nach Einsatz, Turbopumpe verankern und
ggfs. Splitterschutz verwenden.
– Vibrationsübertragung von der Vorpumpe ver-
meiden.
– Kühlart: Wasserkühlung; keine Luftkühlung zuläs-
sig!
– Flutanschluß 14: G 1/8”. Bei Flutventil mit
Anschluß DN 10 ISO-KF, Adapterflansch
PM 033 737 -T verwenden.
– Sperrgasanschluß 20: DN 10 ISO-KF am Sperr-
gasventil. Druck vor Sperrgasventil: 1000 -
1400 mbar. Bei höheren Drücken, Einstellung
Sperrgasventil korrigieren.
– Elektrischer Anschluß: Gemäß den örtlich gelten-
den Bestimmungen.
X8: Anschluß Turbopumpe - Antriebselektronik.
Anschluß der Komponenten: siehe 4.3 -4.6*.
* In der Betriebsanleitung PM 800 302 BD,E,F
ABBREVIATED INSTRUCTIONS
for
Turbomolecular Pumps
for Corrosive Gas Processes
TPH/TPU 1600
– Take out this page and place near the turbo
pump.
– These abbreviated operating instructions provide
you with the most important information requi-
red to operate the TPH/TPU 1600.
– Please do not fail to read the Operating Instruc-
tions
PM 800 302 BD,E,F before putting the turbo pump
into service.
– Please follow the instructions.
INSTALLATION
(see 4.1 - 4.7*)
– Maintain utmost cleanliness.
– Before putting into service, fill in approx. 65 ml
pump fluid “F3” using the syringe provided - see
position 38. The turbo pump is supplied unfilled
with pump fluid.
– Remove blank flanges only immediately before
assembly.
– HV flange 1 - loading capacity: max. 200 kg.
– Installation attitude: from vertical to horizontal.
– Depending on the application, the turbo pump
must be anchored and a splinter shield fitted if
necessary.
– Prevent vibrations from being transmitted from
the backing pump.
– Type of cooling: water cooling. Air cooling imper-
missible.
– Venting connection 14: 1/8” G. For a venting
valve with DN 10 ISO-KF connection, Adapter
Flange PM 033 737 -T.
– Sealing gas connection 20: DN 10 ISO-KF on the
sealing gas valve. Pressure at sealing gas valve:
1000 - 1400 mbar.
The setting of the sealing gas valve must be
adjusted for higher pressures.
– Electrical connection: in compliance with local
regulations.
X8: connection turbo pump - electronic drive unit.
Connection of the components see 4.3 - 4.6*.
* In operating instructions PM 800 302 BD,E,F
INSTRUCTIONS ABREGEES
pour
les pompes turbomoléculaires
TPH/TPU 1600 pour la techni-
que de gaz corrosif
– Détacher la feuille et la conserver à proximité de
la pompe turbo.
– Cette instruction abrégée vous donnera les infor-
mations essentielles
pour l’utilisation de cette pompe turbo.
– Avant la mise en service, nous vous prions de
prendre connaissance des instructions de service
PM 800 302 BD,E,F!
– Nous vous prions de les respecter!
INSTALLATION
(voir 4.1 - 4.7*)
– Faire attention à la propreté !
– Avant la mise en marche remplir avec env. 65 ml
fluide moteur “F3” avec une seringue à injection -
voir pos. 38 (La pompe turbo sera livrée sans
remplissage avec du fluide moteur).
– Ne démonter la bride d’obturation que juste
avant le montage.
– Bride de vide élevé 1 - Charge: max. 200 kg.
– Position d’installation: de la verticale à l’horizon-
tale.
– Suivant l’utilisation, ancrer la pompe turbo et
éventuellement utiliser un pare-éclats.
– Eviter la transmission de vibrations de la pompe
primaire.
– Mode de refroidissement: Refroidissement par
eau; pas de refroidissement par air autorisé!
– Raccord de remise à l’air 14: G 1/8”. Pour soupa-
pe de remise à l’air avec raccord DN 10 ISO-KF,
utiliser la bride d’adaptation PM 033 737 -T.
– Raccord de gaz de blocage 20: DN 10 ISO-KF à la
valve de gaz de blocage. Pression en amont de la
valve de gaz de blocage: 1000 - 1400 mbar. Pour
des pressions plus élevées, corriger le réglage de
la valve de gaz de blocage.
– Branchement électrique: Conformément aux dis-
positions locales en vigueur.
X8 : Raccord de la pompe turbo - Electronique
d’entraînement.
Raccordement des composants: voir 4.3 -4.6*.
* Dans les instructions de service
*
PM 800 302 BD,E,F
1 Hochvakuumflansch
2 Vorvakuumflansch
8 Kühlwasseranschluß
14 Flutanschluß
20 Sperrgasventil
30 Betriebsmittelpumpe
38 Betriebsmittel-Einfüllschraube
39 Betriebsmittel-Ablaßschraube
X8 Elektrischer Anschluß
1 High vacuum flange
2 Fore vacuum flange
8 Cooling water connection
14 Venting connection
20 Sealing gas valve
30 Operating medium pump
38 Operating medium filler screw
39 Operating medium drain screw
X8 Electrical connection
1 Bride de vide élevé
2 Bride de vide primaire
8 Raccord de l’eau de refroidissement
14 Raccord de remise à l’air
20 Valve de gaz de blocage
30 Pompe fluide moteur
38 Vis de remplissage de fluide moteur
39 Vis de vidange de fluide moteur
X8 Branchement électrique
14
20
38
30
39
3
8
X8
3
2
3
1
