14
2.1 Maße
2.2 Saugvermögen/Gasdurchsatz
Die Kurven für Saugvermögen und
Gasdurchsatz sind für Turbopumpen
mit HV-Anschlußnennweite DN 250
gültig.
2.1 Dimensions
2.2 Volume Flow Rate
The volume flow rate curve is valid for
turbo pumps with HV-nominal diame-
ter connection DN 250.
2.1 Encombrements
2.2 Capacité d’aspiration/Débit de
gaz
Les courbes pour la capacité d’aspira-
tion et le débit de gaz sont valables
pour les pompes turbo avec diamètre
nominal de raccord de vide élevé
DN 250.
Fig. 2
Hochvakuumanschluß
Vorvakuumanschluß
Flutanschluß
Kühlwasseranschluß
Anschluß Antriebselektronik
Sperrgasanschluß
High vacuum connection
Fore vacuum connection
Venting connection
Cooling water connection
Connection for electronic drive unit
Sealing gas connection
Raccordement vide élevé
Raccordement de vide primaire
Raccordement remise à l’air
Raccordement eau de refroidissement
Raccord commande électronique d’entraînement
Raccordement de gaz de blocage
Fig. 3
Saugvermögen für N
2
Volume flow rate for N
2
Capacité d’aspiration pour N
2
Fig. 4
Gasdurchsatz für N
2
Gas throughput for N
2
Débit de gaz pour N
2
10
2
10
-2
10
-1
10°
10
1
10
1
10°
10
-1
P
2
(mbar)
q (mbar l/s)
