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Ulvac CR16B, Инструкция по эксплуатации

Ulvac CR16B - профессиональный вакуумный насос с высокой производительностью. Получите подробное инструкцию по эксплуатации и обслуживанию в бесплатном руководстве по эксплуатации. Скачайте его с нашего сайта {веб-сайт} и овладейте всеми возможностями этого отличного устройства.

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YK16-0010-DI-002-02 

Gas ballast option code: 1 manual valve (Needle valve) and air filter 

 

Fig. 6 Explanatory diagram of gas ballast option : 1 manual valve 

   

Gas ballast option code: Solenoid valve + manual valve (Needle valve)   

and air filter 

 

Fig. 7 Explanatory diagram of gas ballast option: Solenoid valve + manual valve 

Содержание CR16B

Страница 1: ...YK16 0010 DI 002 02 取扱説明書 多段ルーツ式ドライ真空ポンプ 型 式 ＣＲ６０Ｂ 株式会社アルバック 規格品事業部 http www ulvac co jp この製品をご使用になる前に必ずお読み下さい また いつでもご使用できるように大切に保管して下さい ...

Страница 2: ......

Страница 3: ...準拠の宣言 ...

Страница 4: ...適合するように設計されています 将来的にわた って規則の基準が変更された場合 その適合性を保障するものではありません 本製品が組み込まれる装置が同じ規則に適合していない場合や この製品自体に変更が加えられた 場合には その性能と安全性を確保できない場合があります 弊社は そのような場合の性能 安全の保 証 責任 はできません お客様による製品の改造は 当社の保証範囲外ですので責任は負いません 本製品の設置および取り外し作業を行う前には すべてのエネルギー源 電気など から製品を分離して ください 本製品に使用されている一切の部品は 納入時の性能を維持しながら永久的に継続使用できるもので はありません 社会通念上想定される使用状況下に於いても 一定期間経過に伴い 必然的に性能に劣 化が生じ 製品のトラブルを発生させやすくなります お客様において お客様ご自身の使用状況を勘案の 上 トラブルを...

Страница 5: ...全シンボルマークの意味 危 険 取り扱いを誤った場合 使用者が死亡もしくは重傷になる差し迫った可能性を示 しています 警 告 取り扱いを誤った場合 使用者が死亡もしくは重傷になる可能性を示していま す 注 意 取り扱いを誤った場合 使用者が中程度の傷害を受けるか 機械の重大な損傷 につながる可能性を示しています 機械の損傷を起こしたり 正常な動作を損ね る可能性を示しています 重要 重要 項目は 本システムの操作および保守作業上 特に知っておかなければ ならない情報や内容がある場合に記述します 感電の危険があるため 電気安全に関してトレーニングが必要な作業 ポンプ停止直後は高温な箇所のため ポンプの温度が下がっていることを確 認してから行う作業 ...

Страница 6: ...ス を排気する ことは 非常に危険です これらの性質を持つガスは排気しないでください 危 険 燃焼ガス 支燃性ガス 爆発性ガスが 真空ポンプに吸引された場合 運転時だけ でなく 停止後も残留したガスや生成物が原因で発火 爆発することがあり 非常 に危険です これらの性質を持つガスは排気しないでください 警 告 ご使用の危険物質の詳細を開示いただけない場合や 無害化処理が困難な 物質を排気した場合には 弊社でのメンテナンスその他の取扱いをお断りする ことがあります 警 告 製品及び取扱説明書の記述内容は 改良の為 仕様や価格等を予告なしに変 更する場合がありますので 御了承願います 変更は 取扱説明書の表紙右 上にある文書番号を更新し 改訂版として発行します 警 告 本取扱説明書は製品をご使用になられる最終ユーザーに必ずお渡し下さい 警 告 本製品を国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きま...

Страница 7: ...作業および荷役機械の操縦は 技能資格を有した人以外は行わないで 下さい 無理な操作や機器の整備が十分でない場合に ポンプが落下したり 転倒し たりする可能性があります ポンプの下には絶対に入らないで下さい 搬入 警 告 本製品はキャスターを装備していますが キャスターを使っての長距離輸送 はしないで下さい 本製品の質量は以下のとおりです CR 60 48 kg 搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため 腰を痛める可能性が あります 搬送は 荷役機器 例えば 移動式クレーン で吊り下げて行うか パレットに載せ固定した後 パレットトラックで運んで下さい 地震対策 警 告 固定が不十分だと転倒したり 移動したりして 周辺機器を破損させる可能性 があります 真空配管 電線については 規定のゆれに対して 配管が破れた り 外れたりしない様 ゆれを吸収できる構造にしてください ...

Страница 8: ...専用の漏電遮断器を設置することを推奨いたします 故障や漏電のときに感 電する恐れがあります 運転 警 告 運転中にポンプカバーは外さないでください 真空ポンプ本体やモータ 配管 は非常に高温になりますので触れないでください 人体が接触すると火傷の 危険があります 排気口を塞ぐなど排気口側にガスの通過を妨害する機器をつけた状態で真 空ポンプを運転しないで下さい 真空ポンプ内圧が上昇して ケーシングやオ イルレベルゲージが破裂 油漏れ 電動機の過負荷が発生する恐れがありま す 注 意 危険場所 爆発性ガスによって 危険雰囲気を生成する恐れがある場所 で 使用しないで下さい けが 火災の原因になります 換気口の開口部に 指や物を入れないで下さい 感電 けが 火災等の恐れ があります 真空ポンプの四方 1ｍ以内には可燃物を絶対に置かないで下さい 火災の 恐れがあります 本機は空冷式です 換気口から...

Страница 9: ...れがあります 動かなくなったり異常がある場合は 事故防止のためすぐ 1 次側の MCCB 配線保護用遮断器 のスイッチを切り ご注文先あるいは最寄のサービスセ ンターに必ず点検 修理をご依頼下さい 電源用配線 取り外し 警 告 取り外し作業を行う前には 確実に電源から切り離してください 吸排気口 配管 取り外し 警 告 装置の設置マニュアルに従って 取り外してください 運転停止後のしばらくは 吸排気口配管は非常に高温になりますので触れ ないでください ポンプの温度が下がってから取り外しを行って下さい ポンプの吸排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください 搬出 警 告 本製品はキャスターを装備していますが キャスターを使っての長距離輸送 はしないで下さい 本製品の質量は以下のとおりです CR 60 48 kg 搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため 腰を痛める可能性が あります...

Страница 10: ...表示した警告ラベルの種類と説明および表示位置 本機には 警告箇所に警告ラベルを取り付けています ポンプを運転する前に必ず確認して下さい この警告ラベルが取り付けてある部分の周囲は 感電のおそれがあります 配線時 メンテナンス時には 1 次側の MCCB 配線保護用遮断器 のスイッチ を切ってから作業を行って下さい 運転中や運転停止後のしばらくは 真空ポンプモータや電動機 配管は非常に 高温になりますので触れないでください 人体に接触すると火傷の危険があり ます ...

Страница 11: ...品がお手元に届きましたら 注意して開梱して下さい まずご注文の内容と同一であることおよび 輸送等による破損がないことをご確認下さい 使用開始後にお知らせいただくと 有償となる場合があり ます 細心の注意を払って出荷しておりますが 念のため荷づくりをとかれましたら 次のことをお確かめ下 さい なお出荷時の梱包は 点検が終わるまでは捨てずにおき 異常があった際の返品の際にご利用下 さい 重要 ご請求の製品と一致しているか 付属品 取扱説明書 オプション部品 が付いているか 輸送中に破損した箇所がないか 輸送中にネジやナット等に緩みが出ていないか 外れている所はないか 万一 不具合がありましたら 当社営業部またはお取引の特約店までご連絡 下さい 表 1 標準付属品一覧 単相200V仕様 三相200V仕様 電源用コネクタ NETコネクタ 七星科学 1式 NET 243 PF NET 244 PF ...

Страница 12: ...り外し 直接地面に設置しない で下さい ポンプ下部にある換気口が塞がれ 異常過熱による火傷 火災の 恐れがあります 注 意 ポンプを衝撃を与えたり 傾けたり 横倒しにしたり 立てたり 逆さまにしない で下さい ポンプの運転に障害を与えます 吸気口を上にして ポンプを水平 に設置してください 注 意 運転可能周囲温度より低い温度で保管していた場合は ポンプ本体の温度 が運転可能周囲温度になってからポンプを運転して下さい 周囲温度と湿度 保管時 10 60 90 RH 以下 ただし凍結や結露がないこと 運転時 15 40 80 RH 以下 ただし結露がないこと 高度 保管時 運転時 標高 1 000m 以下 外部振動 保管時 運転時 振動加速度 0 5G 114dB 以下 その他 保管時 運転時 ａ 腐食性および爆発性ガスのないこと ｂ 凍結や結露のないこと ｃ 塵埃のないこと ｄ 換気されて...

Страница 13: ... 据付および運転時の周囲条件 ix １ 安全にお使い頂くために 1 １ １ 本製品固有の危険性と安全対策 1 １ １ １ 危険 危険ガス 危険物質の吸気と排気 1 １ １ ２ 警告 重量物の搬送 1 １ １ ３ 警告 感電 2 １ １ ４ 注意 高温 2 １ ２ 安全性データシート 3 ２ 概要 4 ２ １ 特 徴 4 ２ ２ 用 途 4 ２ ３ 排気の原理 4 ２ ４ 性能諸元 5 ２ ５ 外観寸法図 6 ２ ６ 各部の名称と説明 7 ３ 取付け 8 ３ １ 据付 8 ３ ２ 配管の接続 9 ３ ２ １ 吸気口側 9 ３ ２ ２ 排気口側 10 ３ ２ ３ ガスバラストガス 11 ３ ３ 電気配線 14 ３ ３ １ 電源用配線 14 ３ ３ ２ リモート用配線 16 ４ 運転 17 ４ １ 運転前の点検 17 ４ ２起動 18 ４ ２ １ ローカル運転 18 ４ ２ ２ リモート運転 1...

Страница 14: ...停止 19 ５ ポンプの性能 20 ６ 取り外し 21 ６ １ 電気結線 21 ６ ２ 吸排気口配管 21 ６ ３ 窒素ガス配管 接続されている場合のみ 21 ７ 保守 22 ７ １ 点検 22 ７ ２ 長期保管後の運転 22 ７ ３ オーバーホール 22 ７ ４ トラブルシューティング 23 ８ 廃棄 24 ９ 保証条項 24 ９ １ 保証対象 24 ９ ２ 保証期間 24 ９ ３ 保証範囲 24 ９ ４ 対応方法 25 ９ ５ その他 25 汚染証明書 営業 サービス部門とその連絡先 ...

Страница 15: ...図 6 ガスバラオプション 手動１個 ニードルバルブ 説明図 12 図 7 ガスバラオプション 電磁弁 手動 ニードルバルブ 説明図 12 図 8 電磁弁配線方法説明図 12 図 9 Ｎ2 パージガス配管 推奨システム 13 図 10 ガード取付け図 15 図 11 遠隔操作参考系統図 16 図 12 排気速度曲線図 20 図 13 電力値曲線図 20 表 1 標準付属品一覧 viii 表 2 型式一覧表 5 表 3 性能諸元 5 表 4 電源容量及び推奨ブレーカ定格一覧 14 表 5 コネクタ仕様一覧表 15 表 6 起動前チェックリスト 17 表 7 点検項目表 22 表 8 トラブルチェックリスト 23 ...

Страница 16: ...に触って負傷する 使用する有毒物質に適した保護具を着用して点検 などの作業を行ってください オーバーホール時 廃棄の時には廃棄物処理の専 門業者に依頼して無害化処理を行って下さい 廃棄は 行政の認可を受けた廃棄物処理業者に委 託して下さい 残留ガスや生成物が原因で 発火 爆発して負傷する 燃焼ガス 支燃性ガス 爆発性ガスが 真空ポンプに吸 引された場合 運転時だけでなく 停止後も残留したガ スや生成物が原因で発火 爆発することがあり 非常に 危険です これらの性質を持つガスは排気しないでくだ さい １ １ ２ 警告 重量物の搬送 要 因 回避方法 対策 ポンプ搬送時に負傷する ポンプ質量 CR 60 48kg 荷役作業及び荷役機械の操縦は 技能資格者を有 した方以外は行わないで下さい 無理な操作や機器の整備が十分でない場合に ポンプが落下したり 転倒したりする可能性があり ます ポンプの下...

Страница 17: ...れて感電する 電気結線は 必ず電源を切ってから行って下さい アースは 必ず取って下さい ポンプ運転中はパネルを開かないで下さい 点検 移設の際には 必ず電源を切って作業して下 さい 換気口の開口部から 手や細い棒などを入れない で下さい １ １ ４ 注意 高温 要 因 回避方法 対策 高温部で火傷する 運転中 真空ポンプ本体やモータ 配管は非常に 高温になりますので触れないでください 運転停止後のしばらくは 真空ポンプやモータ 配管 は非常に高温になりますので パネルを外したりして 触れないでください ...

Страница 18: ...略称 SDS は 本機を運転する上で 使用または触る可能性のある化学物質を紹介しています 有害特性を理解して 頂くために よく読んで下さい 安全性データシートにつきましては 弊社営業部 から最新版を入手して下さい 本書に記載されている化学物質 ポンプオイル 以外の化学物質は使用しない でください 注 意 SDS は 危険有害な化学物質について 安全な取扱いを確保するための参考 情報です ポンプオイルを取扱う方は 常に最新の SDS を入手し これを参考 にして 自らの責任において 個々の取扱い等の実態に応じた適切な処置を講 ずることが必要であることを理解した上で 活用されるようお願いします SDS そ のものは 安全を保証するものではありません ...

Страница 19: ...ーン真空 排気 摺動部品が無いドライポンプ ２ ２ 用 途 各種粗引き用 ＴＭＰのバック 蒸着装置 スパッタリング装置 理科学実験用 分析装置 プラズマクリーニング装置 その他クリーン真空装置 ２ ３ 排気の原理 CR60B はドライ真空ポンプのみで構成されています ドライ真空ポンプは ルーツ型ポンプを直列に配 置した多段真空ポンプです 各段のポンプ部を構成するルーツ型ポンプは ケーシング 作動室 内部で 回転する２つのロータがケーシング内壁及びロータ相互間に僅かな隙間を保ち回転することによりガス を吸込側から吐出側へ移送します 非接触で回転するため接ガス部にオイルを必要とせず また発塵に よる汚染の無いクリーンな真空を実現します 図 1 排気機構図 ...

Страница 20: ...達圧力 ｶﾞｽﾊﾞﾗｽﾄｶﾞｽ無 Ｐａ ３ 到達圧力 ｶﾞｽﾊﾞﾗｽﾄｶﾞｽ有 Ｐａ ６ 最大吸気圧力 大気圧 最大排気口圧力 大気圧 吸気口径 ＫＦ４０ 排気口径 ＫＦ４０ 最大水分吸引量 1 ｇ ｈ ５００ 騒音値 参考値 ｄＢ Ａ ６５ ａｔ １ｍ モータ ＰＭモータ ｋＷ １ ５ 電源仕様 2 三相 ２００ ２４０Ｖ ５０ ６０Ｈｚ 単相 ２００ ２４０Ｖ ５０ ６０Ｈｚ 消費電力 3 ｋＷ ０ ９ 外形寸法 Ｌ ｍｍ ５５０ 外形寸法 W ｍｍ ２１０ 外形寸法 Ｈ ｍｍ ４３０ 潤滑油 ＢＡＲＲＩＥＲＴＡ Ｊ１００Ｆ Ｅ ｃｃ １４０ 重 量 ｋｇ ４８ 1 吸気に水分を含む場合は ３ ２ ３ ガスバラストガス を参照して下さい 2 ご注文時に電源仕様をご指示下さい 3 到達圧力時の消費電力です ...

Страница 21: ...6 YK16 0010 DI 002 02 ２ ５ 外観寸法図 CR60B 図 2 CR60B 外観寸法図 ...

Страница 22: ... Ｎ２ガスを 導入するために使用します オプション品を準備しております ＣＤＡ Ｃｌｅａｎ Ｄｒｙ Ａｉｒ 乾燥空気 アジャスター ポンプの固定に使用します ジャッキアップは10mm以下 ON OFFスイッチ ポンプの運転 停止に使用します 運転ランプ ポンプ運転中に点灯します アラームランプ ポンプが異常時に点灯します 積算運転時間計 運転の積算時間を表示します 電源コネクタ 給電用のメタルコネクタです リモートコネクタ リモート信号用の１５ピンＤ ｓｕｂコネクタです 電源コネクタ用ガード 電源コネクタのガードに使用します この製品は 承認済みの常時接続 装置であるため 電気配線接続後はガードを取り付ける必要がありあます ...

Страница 23: ...粉塵がない かつ湿気の少ない屋内の換気されている部屋にポンプを水平に設置して下さい 周囲条件については ０ ５ ３ 保管 据付および運転時の周囲条件 を参照下さい 2 ポンプを設置する場所を決定します ２ ５ 外観寸法図 を参照下さい 電気配線をするために 周 囲には ある程度スペースを確保して下さい 3 オペレーターがポンプのON OFFスイッチの入切が簡単に出来るように据え付けて下さい 4 吸込側と排出側のポートは 保護蓋でシールされています ポンプを使用する準備が整うまで 蓋を取 り外さないでください 5 本機は空冷式です 機器の筐体内等で使用する場合は 充分な換気を行って下さい 警 告 本機は空冷式です 設置時にキャスターを取り外し 直接地面に設置しない で下さい ポンプ下部にある換気口が塞がれ 異常過熱による火傷 火災の 恐れがあります 注 意 ポンプを衝撃を与えたり 傾けたり ...

Страница 24: ... 振動を嫌う装置の場合には 吸気側配管に伸縮継手 を挿入して下さい F ポンプ停止により 大気が装置側へ逆流することを防止するために 装置とポンプの間に遮断弁 メインバルブ を設けて下さい 図 4参照 G ポンプ停止時に内部を乾燥 又はポンプ内部のガスを空気と置換する必要がある場合には 大 気開放弁を遮断弁 メインバルブ とポンプ間に設けて下さい 図 4参照 注 意 ポンプは 塵埃 細粉等の固体や水分を吸引しますと 到達圧力が悪くなる だけでなく故障の原因になることがあります 吸気口に付けてある金綱は ポンプユニット内にボルトなど大きな異物が入 るのを防ぐために取り付けてあります 点検等の必要がない限り外さないで 下さい 万が一 ポンプの吸気口内に異物 例えばボルト を脱落させた場合 や 異物 例えば金網より細かな粉体や固形物 が吸引された場合は ポン プを分解して取り除く必要がありますの...

Страница 25: ...排気口側に配管する際 配管の口径が小さかったり 配管の内部に異物の付 着等があったりするとポンプの内部圧力が上昇します その結果 ケーシング やオイルレベルゲージが破裂したり 油漏れを起きたり 電動機の過負荷が発 生する恐れがあります 注 意 ダクト配管を行う場合には 必ず導電性材料 電気を通すもの を用いてくだ さい 非導電性材料を用いた場合 排気ガス通過時に静電気が発生し 帯 電してスパーク 火花 が発生し 発火元になることがあります 可燃性ガス 支燃性ガスを流すプロセスの場合 希釈ガスを導入願います 排気するガスの濃度が 爆発限界よりも低くなるよう吸気側から希釈ガスを 流してください 排気配管が薄い金属配管 ジャバラ ベロー等の場合 排気脈動で配管が 共振し 騒音が作業環境基準値を超えることがあります 十分耐圧がある配 管を使用してください 図 4 基本的な配管接続図 ...

Страница 26: ...で 用途に合わせてご注文時にご指定下さい 表 2 型 式一覧表参照 標準 エアーフィルター付属 プラグを外し エアーフィルターを取り付けて下さい 図 5 エアーフィルター取付図 注 意 処理を行う際には 処理前の暖機運転 停止時の脱ガス運転 大気開放状 態での運転 を必ず行ってください 起動初期にポンプ本体の昇温が不十分 な状態での処理や 停止時に残留ガスがあると凝縮性ガスがポンプ内部で 凝縮し ポンプの寿命を縮める要因となります 排気側配管はＬ型配管等で横に曲げ 凝縮したガスがポンプに直接戻らな い構成として下さい また 消音器等を取り付ける場合 消音器等で凝縮し ポンプに戻り破損を招く可能性があります 溜まった液体を排出する機構を 設けることを推奨します 間欠運転等は行わずに ポンプを停止させない運用を推奨します 処理能力以上の水蒸気を排気した場合 ガスバラストガスを使用してもポン プ...

Страница 27: ... ガスバラオプション 手動１個 ニードルバルブ 付き 図 6 ガスバラオプション 手動１個 ニードルバルブ 説明図 ガスバラオプション 電磁弁 手動 ニードルバルブ 付き 図 7 ガスバラオプション 電磁弁 手動 ニードルバルブ 説明図 DC24V駆動のNC ノーマルクローズ の電磁弁が付属するオプションです 下記仕様を参照し配線す る事で 遠隔での開閉が可能となります 消費電力 5 2 3 8 W 50 60Hz 図 8 電磁弁配線方法説明図 ...

Страница 28: ...パージが必要な場合はガスバラストガス導入口のプラグを取り外し R1 4のチューブ継手を取付 けてください チューブ継手に1 4インチまたは6 以上のチューブ接続してください Ｎ２の供給圧力は 50 kPaG 以下 流量は 10 20 SLM としてください 図 9 Ｎ2 パージガス配管 推奨システム 注 意 窒素ガスの供給圧力を調整する減圧弁及び 供給を止める供給バルブを付 けて下さい 窒素ガス配管を取り外す前に 窒素ガスの供給バルブを閉めてください ...

Страница 29: ...過負荷保護装置が正常に作動せず 焼損 火災の原因となります ３ ３ １ 電源用配線 A 本機の電源仕様は単相200 240V 50 60Hz または三相200 240V 50 60Hz です 電源仕様は 電源コネクタ付近に表示されています B 電源容量は2 0kVA以上を準備して下さい 本機には動力を遮断する機構を装備しておりません 下表の通りの定格電流のMCCB 配線保護用遮断器 を必ず設置して下さい 表 4 電源容量及び推奨ブレーカ定格一覧 ポンプ型式 呼称 CR60B T CR60B S 電源電圧 三相 200 240V 単相 200 240V 電源容量 2kVA ブレーカ定格 10A 15A 警 告 ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令 例えば消防法 電気 配線規定など に従って設置および運用をしてください ...

Страница 30: ... アース 表 5 コネクタ仕様一覧表 ポンプ型式 呼称 ＣＲ６０Ｂ Ｔ ＣＲ６０Ｂ Ｓ コネクタメーカ 株式会社七星科学研究所 レセプタクル型式 ＮＥＴ２４４ ＲＭ ＮＥＴ２４３ ＲＭ 適合プラグ型式 ＮＥＴ２４４ ＰＦ ＮＥＴ２４３ ＰＦ 適合電線サイズ ＡＷＧ １４ ＡＷＧ １２ ２ ０ｍｍ２ ３ ５ｍｍ２ 定格電流 １５Ａ ２０Ａ 警 告 配線には必ず付属のコネクタを使用して下さい 他のコネクタを使用した場 合 接合時のファーストコンタクトが出来ない場合があり 感電する可能性が あります 電源コードは 上の定格電流値を許容できる適切な絶縁電線を使用してくだ さい メガテスト 絶縁試験 は行なわないで下さい D 電源コネクタ接続後にガードを取付けて下さい 図 10 ガード取付け図 ...

Страница 31: ...ます 無電圧接点を準備して下さい B ＯＵＴＰＵＴのポンプ側は無電圧接点です 信号電圧はＤＣ３０Ｖ １Ａをご使用下さい C 本機を遠方にて起動 停止する場合には リモートコネクタのプラグ部に信号線を配線してください 接点信号によりポンプの起動 停止を行うことができます D ポンプ出荷時には リモートコネクタのピン７ ８間が短絡されています 遠方にて起動 停止を行 う必要がない場合には そのままリモートコネクタのプラグを取付けた状態でご使用下さい E EMC規格への適合にはケーブルからの放射ノイズを抑える必要があります 配線にはフェライト コア シールドケーブルをご使用ください 放射ノイズは組込まれた他の電気品との関係 配線状 態 配置状態等により変化しますので お客様にて機械 装置全体としての適合性を確認して下さ い 図 11 遠隔操作参考系統図 コネクタメーカ 第一電子工業株式会社 コネ...

Страница 32: ...配管のバルブは全開か ４ 吸気側メインバルブは全閉か 警 告 配管及び配線接続が完了している事を確認してください 排気口を塞ぐなど排気口側にガスの通過を妨害する機器をつけた状態で真 空ポンプを運転しないで下さい 真空ポンプ内圧が上昇して ケーシングや オイルレベルゲージが破裂 油漏れ 電動機の過負荷が発生する恐れがあ ります 排気口より後段の配管にバルブが付いている場合は バルブが開いている ことを確認してください 危 険 不活性ガス以外の有毒および可燃性 支燃性ガスを 真空ポンプで排気する と ポンプ本体から漏れることがありますので 使用することは出来ません 危 険 不活性ガス以外の可燃性 支燃性ガス及び物質を 真空ポンプで排気すると 真空ポンプ内部で発火 爆発することがありますので 使用することはできませ ん 危 険 有毒ガスが 真空ポンプに吸引された場合 ポンプ本体はもちろんのことポ...

Страница 33: ...ンプが徐々に回転を上げ 約１５ 秒以内に定常回転となります ４ ２ ２ リモート運転 1 一次側のMCCB 配線保護用遮断器 を ON にして電源を投入してください 換気ファンが起動 します 2 ポンプのON OFFスイッチを ON の状態にして下さい 3 リモートコネクタに配線された遠方のスイッチを ON として下さい 運転ランプが点灯し ポンプが 徐々に回転を上げ 約１５秒以内に定常回転となります ４ ３ 起動後の確認と調整 ポンプ起動後 以下の内容を確認して下さい 1 異常振動 騒音がないか確認して下さい 2 凝縮性ガスの排気を行なう場合は 暖気運転を行なって下さい 3 N2パージする場合は N2ガスを供給して下さい 4 徐々にメインバルブを開いて下さい 起動手順 参照項目番 ４ １ 運転前の点検 1 ４ １ 運転前の点検 3 ４ ２起動 ４ ３ 起動後の確認と調整 排気側配管系にバ...

Страница 34: ...を押して下さい リモート運転の場合は遠方のスイッチを OFF にして下さい ポンプが停止し 運転ランプが消灯します 4 一次側のMCCB 配線保護用遮断器 を OFF にして下さい 換気ファンが停止します 停止手順 参照項目番号 ４ ４ 停止 1 ４ ４ 停止 2 ４ ４ 停止 2 ４ ４ 停止 3 ４ ４ 停止 4 ポンプが異常停止した場合は 安全の為に原因を取り除いてからポンプを再起動させて下さい 警 告 運転停止後のしばらくは 真空ポンプやモータ 配管は非常に高温になりま すのでパネルを外したりして触れないでください 人体に接触すると火傷の危 険があります ポンプを長時間停止する際は 必ずブレーカを切り 電源を断って下さい メインバルブ 閉 大気開放弁 開 ON OFF スイッチ OFF 遠方のスイッチ OFF 電源遮断 乾燥運転実施 ...

Страница 35: ...DI 002 02 ５ ポンプの性能 図 12 排気速度曲線図 図 13 電力値曲線図 0 10 20 30 40 50 60 1 10 100 1000 10000 100000 Pumping Speed m 3 hour Pressure Pa CR60 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1 10 100 1000 10000 100000 Power W Pressure Pa CR60 ...

Страница 36: ... 吸排気口配管 警 告 装置の設置マニュアルに従って 取り外してください 運転停止後のしばらくは 吸排気口配管は非常に高温になりますので触れ ないでください ポンプの温度が下がってから取り外しを行って下さい ポンプの吸排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください ６ ３ 窒素ガス配管 接続されている場合のみ 警 告 窒素ガス配管を取り外す前に 窒素ガスの供給バルブを閉めてください 装置側の配管には残圧が残ります 装置の窒素供給源 ポンプまでの配管 の途中 に圧力計を設置し 圧力が大気圧まで低下したことを確認してから 窒素ガス配管を取り外してください 作業を行う時 内圧が高い状態の場合 配管が勢いよくはずれ 怪我をする可能性があります ガスバラストガス導入口より 窒素ガス配管を取り外して下さい 警 告 ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令 例えば消防法 電気 配線規定など に...

Страница 37: ...置の長期停止 ６ヶ月以上 後 使用すると 運転時に内部部 品が破損する恐れがありますので 長期間使用しなかった場合は点検を最寄りのサービスセンターに ご依頼ください ７ ３ オーバーホール オーバーホールは２年に１度行なって下さい なお 使用条件によりポンプの汚染や性能悪化が著し い場合は ２年以内でもオーバーホールを行って下さい 到達圧力付近での連続運転 粉体 湿気 腐 食要素の吸引なし 条件に於いて 目安として２年に１回の推奨となります 但し交換対象部品は使用 環境により交換時期が異なります オーバーホールは性能 安全も含む を維持するために また 計画的な生産を継続するためにも必 要です オーバーホールは 最寄りのサービスセンターにお問い合わせ下さい なお オーバーホール依頼時 には 巻末にある汚染証明書を必ず記入してご提出下さい 警 告 ご使用の危険物質の詳細を開示いただけない場合...

Страница 38: ...の確認 ０ ５ ３ 保 管 据付および運転時の周囲条件参 照 通電状態にて ON OFF スイッチ ON 状態で 511 秒待機する その後 リモ ート I O のアラームリセット若しくは ON OFF スイッチを OFF し解除する 一次側供給電源の約 3 秒以上の遮 断 停電 電圧低下 アラーム検知状態でコンデンサ放電前に電源 が復帰するとアラームを保持します 一次側供給電源の状態確認 一次側供給電源の投入 遮断による 起動 停止は行なわない ４ ２起動 参照 ポンプ内への異物混入 付着による 回転不能 サービスセンターへ連絡 ULVAC 技術員修理 ポンプの機械的 電気的故障 圧力が低下しない 到達圧力が不足 真空室の容量に対し ポンプの排気 容量が小さい ポンプの再選定 ５ ポンプの性能参 照 圧力の測定方法が間違っている 正しく圧力を測定する 真空計が適切でない 測定する圧力領域...

Страница 39: ...ンプのみとします 空気または 窒素の排気において 弊社の設計 製作上の不 備により故障及び事故が発生した場合 納入後１年以内については 無償にて修理致します また以下による故障の場合は 保証範囲外となり保証期間内でも有償修理となります 空気または窒素以外のガスまたは物質を排気しての故障 不具合 消耗品に起因する故障 不具合 ご注文時のご指定の電源電圧 周波数と異なる電源で使用した場合 火災 風水害 地震 落雷等の天災 戦争等の不可抗力の災害によって発生した故障 不具合 取扱上の不注意 誤った使用方法によって発生した故障 不具合 弊社の承諾なく改造 分解 修理を加えた製品 異常環境下 強い電磁界 放射線環境 高温 高湿 引火性ガス雰囲気 腐食性ガス雰囲気 粉塵 など における故障 不具合 ノイズによる故障 不具合 製品不具合 もしくは 万一当社が第三者から特許を侵害しているとクレームされたこ...

Страница 40: ...場合 代替品の送付 もしくは 弊社又は最寄りの弊社サービスセンターへ返送頂き修理を実施します 返 送費用は お客様にてご負担願います ９ ５ その他 1 本書類とは別に個別契約書や仕様に関する覚書などが存在する場合は その記載内容に準じま す 2 本製品を日本国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きますと共に 外国為替及び外国貿易 法等輸出関連法規の規定に従って必要な手続きをお取り下さいますようお願い致します 3 本製品についての質問や相談に関しては 型式 製造番号をお確かめの上 最寄りの営業所また は代理店にご連絡ください http www ulvac co jp support_info 4 本書の内容は 予告なしに変更する場合があります ご了承下さい ...

Страница 41: ...当営業所までお問合せ願います 商品名 型式 S N 用途 依頼内容 返却理由 使 用状況 特記事 項など 汚染物質 部の該当箇所にチェックをお願いします 上記製品は 有害物質によって汚染されてないことを保証します 上記製品は 以下の有害物質によって汚染されています 汚染物質名 分子式 特性 １ ２ ３ ４ ５ 株式会社アルバック 行 貴社の窓口となった担当者名 年 月 日 御客様 会社名 所属部署 御担当者 印 TEL FAX E mail 弊社への輸送中に発生した汚染物質による事故につきましては 御客様の責となりますので梱包には充分注意し て下さい また 汚染物質 及び汚染状況によっては 作業をお断りさせて頂き 御客様に御返却させていただ きます 株式会社 アルバック処理欄 MSDS 請求 有 無 受 付 印 指図番号 ...

Страница 42: ......

Страница 43: ...inal instructions INSTRUCTION MANUAL DRY VACUUM PUMP Model CR60B Before using this product be sure to read this operation manual Keep this manual with care to use at any time ULVAC Inc Components Division http www ulvac co jp ...

Страница 44: ......

Страница 45: ...Declaration of Conformity ...

Страница 46: ...modified ULVAC shall be not liable to guarantee performance and safety in such cases above Any modification of the product by the user is out of the scope of guarantee by us and not be guaranteed in any manner Be sure to clear any energy sources e g electricity coolant and so on of the product before installing or removing the product Please note that any of the parts used in this product shall ke...

Страница 47: ...ser is subject to death or heavy injury WARNING If the user makes a mistake in handling it indicates a possibility that the user is subject to moderate injury or it leads to significant damage of the machine It indicates a possibility that damage of the machine is caused and the normal operation is impaired CAUTION IMPORTANT description shall be given where there is particular information to notic...

Страница 48: ...uch substance that the detoxification process is hardly conducted WARNING You are kindly requested to acknowledge that specifications and or price of the product and description of the Instruction Manual are subject to change without prior notice for improvement Any change shall update the version number at the top right of the Instruction Manual cover and issue the revised version WARNING Please ...

Страница 49: ...heck the eyebolt whether it has no error before use 3 Only the technically entitled person should be in charge of conducting the unloading operation and operating the unloading machinery 4 There is a risk that the Pump might drop or lay down when attempted unreasonable operation or machinery setup was not sufficient You are strictly restricted to enter beneath the Pump WARNING 1 Although this pump...

Страница 50: ...the motor vacuum pump or piping because their temperature get very high You have a risk of getting burned if a part of your body touched it 2 Do not run the Pump on blocking the exhaust outlet or putting any device that might hamper gas passage onto the outlet There is a risk that the pressure inside the vacuum pump rises up and it causes break or oil leak of the casing or oil level gauge resultin...

Страница 51: ...ore executing check and repair You have a risk of getting electrical shock or injury by accidental sudden move 2 Person other than Repair technician should not be in charge of dismantling repairing or remodeling the product 3 You have a risk of getting injured or electrical shock by a fire or erroneous move 4 Should you found any malfunction or error just turn OFF the MCCB Molded Case Circuit Brea...

Страница 52: ...em before starting operation of the Pump There is a risk of getting electrical shock around the section that this warning label is put Be sure to turn OFF the MCCB Molded Case Circuit Breaker primary side utility to execute the wiring and or maintenance work The whole part becomes hot during operation of the Pump Do not touch during or just after stopped operation while the Pump unit remains very ...

Страница 53: ...23150 02 D8A CG Plain paper 1 4 inch 1 Whether the delivered is exactly the one you have ordered 2 Whether accessories Pump oil for one lubrication optional parts are attached or not 3 Whether there is no break or damage through transport or not 4 Whether any bolt or nut got loose or taken off through transport or not Should you found any trouble please do not hesitate to contact our Sales divisio...

Страница 54: ...p to place of installation set it in a horizontal position i Ensuring the ventilation space of at least 0 3m from the opening the ventilation Do not give the Pump a shock or lay it down It might impair the Pump operation Set it in a horizontal position keeping inlet flange upward CAUTION This unit is air cooled Do not install directly on the ground by removing the casters Ventilation openings unde...

Страница 55: ... 1 1 1 Danger Leakage of dangerous gas and dangerous materials 1 1 1 2 Warning Transfer of heavy material 1 1 1 3 Warning Electric shock 2 1 1 4 Caution High temperature 2 1 2 Chemical Material Safety Data Sheet SDS 3 2 Pump Outline 4 2 1 Features 4 2 2 Application 4 2 3 Principle of pumping 4 2 4 Performance Specifications 5 2 5 Outline dimensional drawing 6 2 6 Name and description of each part ...

Страница 56: ...and outlet piping 21 6 3 Nitrogen gas piping if connected 21 7 Maintenance 22 7 1 Check 22 7 2 Checkup after storage for a long period 22 7 3 Overhaul 22 7 4 Trouble shooting 23 8 Disposal 24 9 Warranty Clauses 24 9 1 Warrantable Items 24 9 2 Warranty period 24 9 3 Warrantee scope 24 9 4 Response procedure 25 9 5 Others 25 Request Form for Repair Inspection of ULVAC Components Certificate of Conta...

Страница 57: ...Fig 8 Explanatory diagram of method for solenoid valve wiring 13 Fig 9 Recommended system of N2 purge gas piping 13 Fig 10 Mounting method for guard 15 Fig 11 Reference system diagram of remote control 16 Fig 12 Pumping speed curves 20 Fig 13 Power Pressure curves 20 Table 1 Standard accessories viii Table 2 Details model list 5 Table 3 Performance specifications 5 Table 4 List of rated power capa...

Страница 58: ... to do the detoxification process 3 Ask the disposal agency licensed by the administration for disposal Getting injured by explotion or fire due to residual gas or deposition It is very danger if introduce combustible gas burnability gas or explosiveness gas into pump It has the potential of explosion or fire due to residual gas or deposition when after stopping as well as during operation Do not ...

Страница 59: ...peration 3 Be sure to cut the electricity to do checking or installation 4 Never attempt to put in the hand or bar into the opening of the ventilation 1 1 4 Caution High temperature Factors Avoidance methods and measures Getting burnt on touching the high temperature part 1 Do not touch the Motor vacuum pump or piping because has their temperature get very high during operation 2 Do not touch open...

Страница 60: ...Note that the SDS itself shall be never a safety certificate in any manner CAUTION Chemical material used for this Pump Pump oil BARRIERTA J100 FLUIDE E NOK KLUBER The Safety Data Sheet introduces the chemical material potential to use or touch on operating this machine Please contact our Sales division if you are in need Read it with attention to acknowledge the toxic characteristics described on...

Страница 61: ...and sputtering equipment Physics and chemistry experiment and analytical equipment Plasma cleaning equipment Other clean vacuum equipment 2 3 Principle of pumping CR60B are composed of only dry vacuum pump Dry vacuum pump is the multiple vacuum pump which composed of roots rotors connected in series The roots type vacuum pump composed of each stage pump portion transfer gas from inlet side to exha...

Страница 62: ...ressure without gas ballast Pa 3 0 Ultimate pressure with gas ballast Pa 6 0 Maximum inlet pressure Atmospheric pressure Maximum outlet pressure Atmospheric pressure Inlet diameter KF40 Outlet diameter KF40 Maximum amount of moisture suction 1 g h 500 Noise level reference only dB A 65 at 1m Motor PM motor kW 1 5 Power 2 Three phase 200 240V 50 60Hz Single phase 200 240V 50 60Hz Power consumption ...

Страница 63: ...6 YK16 0010 DI 002 02 2 5 Outline dimensional drawing Fig 2 CR60B Outline dimensional drawing ...

Страница 64: ...DA Clean Dry Air Adjuster To fix pump package Jack up range is less than 10mm ON OFF switch To start stop the pump RUN lamp The lamp lights when the pump starts ALARM lamp The lamp lights when ALARM is given Running time counter To shows running hours Power connector Metal connector for power supply Remote control connector D sub connector 15 pin for remote signal Power connector guard Guard of th...

Страница 65: ...regulations relating to the safety e g Fire Defense Law Electric wiring regulation and so on in the country and region you use the product Consequently you shall be requested to attend general safety lectures officially effective in the area such as electrical safety Cargo handling safety and so on Note that any person not attended such lectures shall be restricted from handling the product Operat...

Страница 66: ... and this pump to prevent backflow of air to the equipment when pump stopped Refer to Fig 4 G Install a vent valve between isolation valve Main valve and pump if gas inside of pump needs to be replaced with outside air or dried up when pump stopped Refer to Fig 4 1 Should the Pump sucked the water or substance such as dust powder and so on it would impair the ultimate pressure and further cause a ...

Страница 67: ...level gauge resulting in overload of the motor CAUTION 1 Be sure to use electricity conducting material for the duct piping Should you used non electricity conducting material static electricity would be generated under passage of exhaust gas generate the charged spark and cause a fire 2 In the case of the process flowing combustible gas susceptibility of substances to burn gas you are requested t...

Страница 68: ...ration by inlet port at atmospheric pressure should be performed at the end before process stop An insufficient warm up at the initial start up and or insufficient degassing of condensable gas interior of the pump at the end of process may cause a pump life shortening 2 Make sure that condensed gas will not return directly to the pump by exhaust piping connection like in L shape at the bending sid...

Страница 69: ...al valve Needle valve and air filter Fig 6 Explanatory diagram of gas ballast option 1 manual valve Gas ballast option code Solenoid valve manual valve Needle valve and air filter Fig 7 Explanatory diagram of gas ballast option Solenoid valve manual valve ...

Страница 70: ... Install R1 4 tube fittings by removing plug of gas ballast gas port if N2 purge necessary Connect to tube fitting the 1 4 inch tube Set N2 supply pressure at less than 50 kPaG and flow rate at 10 20 SLM Fig 9 Recommended system of N2 purge gas piping 1 Add pressure reducing valve for adjusting the pressure of the nitrogen gas supply and supplying valve to stop N2 supply 2 Before removing nitrogen...

Страница 71: ...ended breaker Pump model Naming CR60B T CR60B S Power supply 3 phase 200 240V Single phase 200 240V Power supply capacity 2 0kVA Rated breaker 10A 15A Install and operate this pump in compliance with the laws and regulations relating to the safety e g Fire Defense Law Electric wiring regulation and so on In the country and region you use the product CAUTION 1 Turn OFF the Power Supply to do the el...

Страница 72: ...tacle part No NET244 RM NET243 RM Compatible plug NET244 PF NET243 PF AWG 14 AWG 12 2 0 mm 2 3 5 mm 2 Rated current 15A 20A Compatible wire size Nanaboshi Electric Mfg Co Ltd D Mount a guard to power connector after connection Fig 10 Mounting method for guard 1 Use supplied connectors only If other connectors are used first ground contact may fail and it causes possibility of electrical shocks 2 U...

Страница 73: ...p side of the output is a no voltage contact Use the signal voltage within DC30V 1A C When starting and stopping this Pump by remote wire signal wire to the plug of remote connector It is possible to start and stop this pump by a contact signal D Pins 7 8 of remote connectors are short circuited when delivery Use plug in a state of being short circuited if this pump is not run by remote operation ...

Страница 74: ...m the Pump unit if it was exhausted by the vacuum pump DANGER Use of the toxic combustible or combustion susceptible gas and substance other than inactive gas is not allowed as there is a risk of causing fire or explosion inside the Pump unit if it was exhausted by the vacuum pump DANGER The pump body and oil also become toxic if toxic gas has been sucked into the vacuum pump Note at the time of m...

Страница 75: ...e Circuit Breaker Then cooling fan starts 2 Keep pump ON OFF switch ON position 3 Turn on switch wired to the remote connector Operation lamp lights up Pump rotation becomes steady within about 15 seconds increasing its rotation gradually 4 3 Check points and adjustments after starting After the pump is stared up check the following points 1 Check there is no abnormal vibration and noise 2 In case...

Страница 76: ...uum pump stops and the operation lamp turns off 4 Turn off primary side MCCB Molded Case Circuit Breaker Then cooling fan stops Stopping Steps Reference item Number 4 4 1 4 4 2 4 4 2 4 4 3 4 4 4 If the pump is abnormally stopped please restart the pump after removing the cause for safety 1 Do not open pump cover during operation Do not touch the motor vacuum pump or piping because their temperatur...

Страница 77: ...ormance Fig 12 Pumping speed curves Fig 13 Power Pressure curves 0 10 20 30 40 50 60 1 10 100 1000 10000 100000 Pumping Speed m 3 hour Pressure Pa CR60 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1 10 100 1000 10000 100000 Power W Pressure Pa CR60 ...

Страница 78: ...the Install Manual of the Pump 2 Inlet piping remains very hot wile after having stopped the Pump Be sure to take it off after the Pump has sufficiently cooled down 3 Make the Pump exhaust outlet airtight completely with a blank flange WARNING 1 Before removing nitrogen gas piping close supply valve of the nitrogen gas 2 Your side piping leaves residual pressure Be sure to take nitrogen gas piping...

Страница 79: ...ut running ask your closest Service Center for check 7 3 Overhaul You are requested to conduct overhaul every two years If there is remarkable contamination or performance deterioration due to the operation condition you are recommended to conduct overhaul even less than two years Overhaul of once every two years will be recommended at operation conditions not include suction such as powder or moi...

Страница 80: ...te I O or turn OFF the ON OFF switch About 3 seconds or more of the primary power supply Cut off power failure voltage drop When the power supply restored before capacitor discharge in the alarm detection state hold Check of the state of the primary supply side power Do not perform run stop by on off of the primary power supply Refer to 4 2 Run Rotation disabled by foreign substance and or deposit...

Страница 81: ...after shipping date from ULVAC 2 Direct export transaction one year after date of B L 9 3 Warrantee scope 1 Scope and exclusion of warranty The scope of warranty is limited to the Pump only ULVAC will repair this pump free of charge for a period of twelve 12 months from the date of delivery in case it failed due to defects in design or manufacturing during pumping down of air or nitrogen gas Troub...

Страница 82: ... a replacement or Buyer returns the defective items to ULVAC Inc or to ULVAC TECHNO Ltd for repair If field service is required Buyer shall ask ULVAC Inc or the local ULVAC representatives 2 Direct export transaction ULVAC sends a replacement or Buyer return the defective items to the local ULVAC representatives for repair Return charge shall be paid by Buyer 9 5 Others 1 In case special agreement...

Страница 83: ...Application Remarks Contaminant Check an applicable box I guarantee that above returned item s is not contaminated with harmful substances Above returned item s is contaminated with the following harmful substances Name of contaminant molecular formula Characteristics 1 2 3 4 5 To ULVAC Inc Attn Date YYYY MM DD Your company Division Contact Phone Fax E mail Please pack returned item s carefully be...

Страница 84: ...le1 Making format for names and contents of hazardous substances or elements Name of parts Hazardous substances or elements Pb Hg Cd Cr6 PBB PBDE Body Panel Base Electrical Parts indicating that content of the hazardous substance or element in all homogeneous materials of the part does not exceed the requirements for concentration limits specified by SJ T11363 2006 indicating that content of the h...

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