Ulvac CR16B, Инструкция по эксплуатации

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YK16-0010-DI-002-02
４．４ 停止
ポンプを停止するには以下の手順に従って下さい。
1) 取扱いガスの逆流を防ぐ為に、メインバルブを閉として下さい。
2)
ポンプ内部を乾燥、又はポンプ内部のガスを空気と置換する必要が在る場合には、大気開放弁
を開放し、約３～５分間運転を行なって下さい。
3)
ローカル運転時には、
ON/OFF
スイッチを押して下さい。リモート運転の場合は遠方のスイッチを
「
OFF
」にして下さい。ポンプが停止し、運転ランプが消灯します。
4)
一次側の
MCCB
（配線保護用遮断器）を「
OFF
」にして下さい。換気ファンが停止します。
停止手順
参照項目番号
４．４ 停止
1)
４．４ 停止
2)
４．４ 停止
2)
４．４ 停止
3)
４．４ 停止
4)
ポンプが異常停止した場合は、安全の為に原因を取り除いてからポンプを再起動させて下さい。
警 告
①運転停止後のしばらくは、真空ポンプやモータ、配管は非常に高温になりま
すのでパネルを外したりして触れないでください。人体に接触すると火傷の危
険があります。
②ポンプを長時間停止する際は、必ずブレーカを切り、電源を断って下さい。
メインバルブ：閉
大気開放弁：開
ON/OFF
スイッチ：
OFF
（遠方のスイッチ：
OFF
）
電源遮断
乾燥運転実施