Ulvac CR16B, Инструкция по эксплуатации

Страница: 33 / 84

18
YK16-0010-DI-002-02
４．２起動
警 告
部品寿命が短くなる可能性がありますので、一次側供給電源の投入/遮断で
の起動/停止は行わないでください。
運転前の点検が完了したら、以下の手順に従ってポンプを起動します。
４．２．１ ローカル運転
ローカル運転時には、付属のリモートコネクタのプラグを取付けた状態で御使用下さい。
1)
一次側の
MCCB
（配線保護用遮断器）を「
ON
」にして電源を投入してください。換気ファンが起動
します。
2)
ON/OFF
スイッチを「
ON
」にして下さい。運転ランプが点灯し、ポンプが徐々に回転を上げ、約１５
秒以内に定常回転となります。
４．２．２ リモート運転
1)
一次側の
MCCB
（配線保護用遮断器）を「
ON
」にして電源を投入してください。換気ファンが起動
します。
2)
ポンプの
ON/OFF
スイッチを「
ON
」の状態にして下さい。
3)
リモートコネクタに配線された遠方のスイッチを「
ON
」として下さい。運転ランプが点灯し、ポンプが
徐々に回転を上げ、約１５秒以内に定常回転となります。
４．３ 起動後の確認と調整
ポンプ起動後、以下の内容を確認して下さい。
1)
異常振動・騒音がないか確認して下さい。
2)
凝縮性ガスの排気を行なう場合は、暖気運転を行なって下さい。
3)
N2
パージする場合は、
N2
ガスを供給して下さい。
4)
徐々にメインバルブを開いて下さい。
起動手順
参照項目番
４．１ 運転前の点検
1)
４．１ 運転前の点検
3)
４．２起動
４．３ 起動後の確認と調整
排気側配管系にバルブがある
場合には必ずバルブを全開とする
起動前確認リストで確認
起動後の確認
メインバルブ開
電源投入
ポンプ起動