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YK16-0010-DI-002-02

2.6 Name and description of each part

Fig. 3 Name of each part

Inlet flange

: To be connected to vacuum chamber or pipe.

Outlet flange

: Outlet of exhaust gas.

Gas ballast gas port

: To be used to introduce air or CDA*, N2 gas if intake gas contains

moisture. Several optional parts are prepared.

*CDA

：

Clean Dry Air.

Adjuster

: To fix pump package. Jack up range is less than 10mm.

ON/OFF switch

: To start / stop the pump.

RUN lamp

: The lamp lights when the pump starts.

ALARM lamp

: The lamp lights when ALARM is given.

Running time counter

: To shows running hours.

Power connector

: Metal connector for power supply.

Remote control connector : D-sub connector (15-pin) for remote signal.

Power connector guard : Guard of the power supply connector. This product is approved

permanently connected equipment and must be used this guard.

Содержание CR16B

Страница 1: ...YK16 0010 DI 002 02 取扱説明書多段ルーツ式ドライ真空ポンプ型式ＣＲ６０Ｂ株式会社アルバック規格品事業部 http www ulvac co jp この製品をご使用になる前に必ずお読み下さいまたいつでもご使用できるように大切に保管して下さい ...

Страница 2: ......

Страница 3: ...準拠の宣言 ...

Страница 4: ...適合するように設計されています将来的にわたって規則の基準が変更された場合その適合性を保障するものではありません本製品が組み込まれる装置が同じ規則に適合していない場合やこの製品自体に変更が加えられた場合にはその性能と安全性を確保できない場合があります弊社はそのような場合の性能安全の保証責任はできませんお客様による製品の改造は当社の保証範囲外ですので責任は負いません本製品の設置および取り外し作業を行う前にはすべてのエネルギー源電気などから製品を分離してください本製品に使用されている一切の部品は納入時の性能を維持しながら永久的に継続使用できるものではありません社会通念上想定される使用状況下に於いても一定期間経過に伴い必然的に性能に劣化が生じ製品のトラブルを発生させやすくなりますお客様においてお客様ご自身の使用状況を勘案の上トラブルを...

Страница 5: ...全シンボルマークの意味危険取り扱いを誤った場合使用者が死亡もしくは重傷になる差し迫った可能性を示しています警告取り扱いを誤った場合使用者が死亡もしくは重傷になる可能性を示しています注意取り扱いを誤った場合使用者が中程度の傷害を受けるか機械の重大な損傷につながる可能性を示しています機械の損傷を起こしたり正常な動作を損ねる可能性を示しています重要重要項目は本システムの操作および保守作業上特に知っておかなければならない情報や内容がある場合に記述します感電の危険があるため電気安全に関してトレーニングが必要な作業ポンプ停止直後は高温な箇所のためポンプの温度が下がっていることを確認してから行う作業 ...

Страница 6: ...スを排気することは非常に危険ですこれらの性質を持つガスは排気しないでください危険燃焼ガス支燃性ガス爆発性ガスが真空ポンプに吸引された場合運転時だけでなく停止後も残留したガスや生成物が原因で発火爆発することがあり非常に危険ですこれらの性質を持つガスは排気しないでください警告ご使用の危険物質の詳細を開示いただけない場合や無害化処理が困難な物質を排気した場合には弊社でのメンテナンスその他の取扱いをお断りすることがあります警告製品及び取扱説明書の記述内容は改良の為仕様や価格等を予告なしに変更する場合がありますので御了承願います変更は取扱説明書の表紙右上にある文書番号を更新し改訂版として発行します警告本取扱説明書は製品をご使用になられる最終ユーザーに必ずお渡し下さい警告本製品を国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きま...

Страница 7: ...作業および荷役機械の操縦は技能資格を有した人以外は行わないで下さい無理な操作や機器の整備が十分でない場合にポンプが落下したり転倒したりする可能性がありますポンプの下には絶対に入らないで下さい搬入警告本製品はキャスターを装備していますがキャスターを使っての長距離輸送はしないで下さい本製品の質量は以下のとおりです CR 60 48 kg 搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため腰を痛める可能性があります搬送は荷役機器例えば移動式クレーンで吊り下げて行うかパレットに載せ固定した後パレットトラックで運んで下さい地震対策警告固定が不十分だと転倒したり移動したりして周辺機器を破損させる可能性があります真空配管電線については規定のゆれに対して配管が破れたり外れたりしない様ゆれを吸収できる構造にしてください ...

Страница 8: ...専用の漏電遮断器を設置することを推奨いたします故障や漏電のときに感電する恐れがあります運転警告運転中にポンプカバーは外さないでください真空ポンプ本体やモータ配管は非常に高温になりますので触れないでください人体が接触すると火傷の危険があります排気口を塞ぐなど排気口側にガスの通過を妨害する機器をつけた状態で真空ポンプを運転しないで下さい真空ポンプ内圧が上昇してケーシングやオイルレベルゲージが破裂油漏れ電動機の過負荷が発生する恐れがあります注意危険場所爆発性ガスによって危険雰囲気を生成する恐れがある場所で使用しないで下さいけが火災の原因になります換気口の開口部に指や物を入れないで下さい感電けが火災等の恐れがあります真空ポンプの四方 1ｍ以内には可燃物を絶対に置かないで下さい火災の恐れがあります本機は空冷式です換気口から...

Страница 9: ...れがあります動かなくなったり異常がある場合は事故防止のためすぐ 1 次側の MCCB 配線保護用遮断器のスイッチを切りご注文先あるいは最寄のサービスセンターに必ず点検修理をご依頼下さい電源用配線取り外し警告取り外し作業を行う前には確実に電源から切り離してください吸排気口配管取り外し警告装置の設置マニュアルに従って取り外してください運転停止後のしばらくは吸排気口配管は非常に高温になりますので触れないでくださいポンプの温度が下がってから取り外しを行って下さいポンプの吸排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください搬出警告本製品はキャスターを装備していますがキャスターを使っての長距離輸送はしないで下さい本製品の質量は以下のとおりです CR 60 48 kg 搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため腰を痛める可能性があります...

Страница 10: ...表示した警告ラベルの種類と説明および表示位置本機には警告箇所に警告ラベルを取り付けていますポンプを運転する前に必ず確認して下さいこの警告ラベルが取り付けてある部分の周囲は感電のおそれがあります配線時メンテナンス時には 1 次側の MCCB 配線保護用遮断器のスイッチを切ってから作業を行って下さい運転中や運転停止後のしばらくは真空ポンプモータや電動機配管は非常に高温になりますので触れないでください人体に接触すると火傷の危険があります ...

Страница 11: ...品がお手元に届きましたら注意して開梱して下さいまずご注文の内容と同一であることおよび輸送等による破損がないことをご確認下さい使用開始後にお知らせいただくと有償となる場合があります細心の注意を払って出荷しておりますが念のため荷づくりをとかれましたら次のことをお確かめ下さいなお出荷時の梱包は点検が終わるまでは捨てずにおき異常があった際の返品の際にご利用下さい重要ご請求の製品と一致しているか付属品取扱説明書オプション部品が付いているか輸送中に破損した箇所がないか輸送中にネジやナット等に緩みが出ていないか外れている所はないか万一不具合がありましたら当社営業部またはお取引の特約店までご連絡下さい表 1 標準付属品一覧単相200V仕様三相200V仕様電源用コネクタ NETコネクタ七星科学 1式 NET 243 PF NET 244 PF ...

Страница 12: ...り外し直接地面に設置しないで下さいポンプ下部にある換気口が塞がれ異常過熱による火傷火災の恐れがあります注意ポンプを衝撃を与えたり傾けたり横倒しにしたり立てたり逆さまにしないで下さいポンプの運転に障害を与えます吸気口を上にしてポンプを水平に設置してください注意運転可能周囲温度より低い温度で保管していた場合はポンプ本体の温度が運転可能周囲温度になってからポンプを運転して下さい周囲温度と湿度保管時 10 60 90 RH 以下ただし凍結や結露がないこと運転時 15 40 80 RH 以下ただし結露がないこと高度保管時運転時標高 1 000m 以下外部振動保管時運転時振動加速度 0 5G 114dB 以下その他保管時運転時ａ腐食性および爆発性ガスのないことｂ凍結や結露のないことｃ塵埃のないことｄ換気されて...

Страница 13: ... 据付および運転時の周囲条件 ix １安全にお使い頂くために 1 １１本製品固有の危険性と安全対策 1 １１１危険危険ガス危険物質の吸気と排気 1 １１２警告重量物の搬送 1 １１３警告感電 2 １１４注意高温 2 １２安全性データシート 3 ２概要 4 ２１特徴 4 ２２用途 4 ２３排気の原理 4 ２４性能諸元 5 ２５外観寸法図 6 ２６各部の名称と説明 7 ３取付け 8 ３１据付 8 ３２配管の接続 9 ３２１吸気口側 9 ３２２排気口側 10 ３２３ガスバラストガス 11 ３３電気配線 14 ３３１電源用配線 14 ３３２リモート用配線 16 ４運転 17 ４１運転前の点検 17 ４２起動 18 ４２１ローカル運転 18 ４２２リモート運転 1...

Страница 14: ...停止 19 ５ポンプの性能 20 ６取り外し 21 ６１電気結線 21 ６２吸排気口配管 21 ６３窒素ガス配管接続されている場合のみ 21 ７保守 22 ７１点検 22 ７２長期保管後の運転 22 ７３オーバーホール 22 ７４トラブルシューティング 23 ８廃棄 24 ９保証条項 24 ９１保証対象 24 ９２保証期間 24 ９３保証範囲 24 ９４対応方法 25 ９５その他 25 汚染証明書営業サービス部門とその連絡先 ...

Страница 15: ...図 6 ガスバラオプション手動１個ニードルバルブ説明図 12 図 7 ガスバラオプション電磁弁手動ニードルバルブ説明図 12 図 8 電磁弁配線方法説明図 12 図 9 Ｎ2 パージガス配管推奨システム 13 図 10 ガード取付け図 15 図 11 遠隔操作参考系統図 16 図 12 排気速度曲線図 20 図 13 電力値曲線図 20 表 1 標準付属品一覧 viii 表 2 型式一覧表 5 表 3 性能諸元 5 表 4 電源容量及び推奨ブレーカ定格一覧 14 表 5 コネクタ仕様一覧表 15 表 6 起動前チェックリスト 17 表 7 点検項目表 22 表 8 トラブルチェックリスト 23 ...

Страница 16: ...に触って負傷する使用する有毒物質に適した保護具を着用して点検などの作業を行ってくださいオーバーホール時廃棄の時には廃棄物処理の専門業者に依頼して無害化処理を行って下さい廃棄は行政の認可を受けた廃棄物処理業者に委託して下さい残留ガスや生成物が原因で発火爆発して負傷する燃焼ガス支燃性ガス爆発性ガスが真空ポンプに吸引された場合運転時だけでなく停止後も残留したガスや生成物が原因で発火爆発することがあり非常に危険ですこれらの性質を持つガスは排気しないでください１１２警告重量物の搬送要因回避方法対策ポンプ搬送時に負傷するポンプ質量 CR 60 48kg 荷役作業及び荷役機械の操縦は技能資格者を有した方以外は行わないで下さい無理な操作や機器の整備が十分でない場合にポンプが落下したり転倒したりする可能性がありますポンプの下...

Страница 17: ...れて感電する電気結線は必ず電源を切ってから行って下さいアースは必ず取って下さいポンプ運転中はパネルを開かないで下さい点検移設の際には必ず電源を切って作業して下さい換気口の開口部から手や細い棒などを入れないで下さい１１４注意高温要因回避方法対策高温部で火傷する運転中真空ポンプ本体やモータ配管は非常に高温になりますので触れないでください運転停止後のしばらくは真空ポンプやモータ配管は非常に高温になりますのでパネルを外したりして触れないでください ...

Страница 18: ...略称 SDS は本機を運転する上で使用または触る可能性のある化学物質を紹介しています有害特性を理解して頂くためによく読んで下さい安全性データシートにつきましては弊社営業部から最新版を入手して下さい本書に記載されている化学物質ポンプオイル以外の化学物質は使用しないでください注意 SDS は危険有害な化学物質について安全な取扱いを確保するための参考情報ですポンプオイルを取扱う方は常に最新の SDS を入手しこれを参考にして自らの責任において個々の取扱い等の実態に応じた適切な処置を講ずることが必要であることを理解した上で活用されるようお願いします SDS そのものは安全を保証するものではありません ...

Страница 19: ...ーン真空排気摺動部品が無いドライポンプ２２用途各種粗引き用ＴＭＰのバック蒸着装置スパッタリング装置理科学実験用分析装置プラズマクリーニング装置その他クリーン真空装置２３排気の原理 CR60B はドライ真空ポンプのみで構成されていますドライ真空ポンプはルーツ型ポンプを直列に配置した多段真空ポンプです各段のポンプ部を構成するルーツ型ポンプはケーシング作動室内部で回転する２つのロータがケーシング内壁及びロータ相互間に僅かな隙間を保ち回転することによりガスを吸込側から吐出側へ移送します非接触で回転するため接ガス部にオイルを必要とせずまた発塵による汚染の無いクリーンな真空を実現します図 1 排気機構図 ...

Страница 20: ...達圧力ｶﾞｽﾊﾞﾗｽﾄｶﾞｽ無Ｐａ３到達圧力ｶﾞｽﾊﾞﾗｽﾄｶﾞｽ有Ｐａ６最大吸気圧力大気圧最大排気口圧力大気圧吸気口径ＫＦ４０排気口径ＫＦ４０最大水分吸引量 1 ｇｈ５００騒音値参考値ｄＢＡ６５ａｔ１ｍモータＰＭモータｋＷ１５電源仕様 2 三相２００２４０Ｖ５０６０Ｈｚ単相２００２４０Ｖ５０６０Ｈｚ消費電力 3 ｋＷ０９外形寸法Ｌｍｍ５５０外形寸法 W ｍｍ２１０外形寸法Ｈｍｍ４３０潤滑油ＢＡＲＲＩＥＲＴＡＪ１００ＦＥｃｃ１４０重量ｋｇ４８ 1 吸気に水分を含む場合は３２３ガスバラストガスを参照して下さい 2 ご注文時に電源仕様をご指示下さい 3 到達圧力時の消費電力です ...

Страница 21: ...6 YK16 0010 DI 002 02 ２５外観寸法図 CR60B 図 2 CR60B 外観寸法図 ...

Страница 22: ... Ｎ２ガスを導入するために使用しますオプション品を準備しておりますＣＤＡＣｌｅａｎＤｒｙＡｉｒ乾燥空気アジャスターポンプの固定に使用しますジャッキアップは10mm以下 ON OFFスイッチポンプの運転停止に使用します運転ランプポンプ運転中に点灯しますアラームランプポンプが異常時に点灯します積算運転時間計運転の積算時間を表示します電源コネクタ給電用のメタルコネクタですリモートコネクタリモート信号用の１５ピンＤｓｕｂコネクタです電源コネクタ用ガード電源コネクタのガードに使用しますこの製品は承認済みの常時接続装置であるため電気配線接続後はガードを取り付ける必要がありあます ...

Страница 23: ...粉塵がないかつ湿気の少ない屋内の換気されている部屋にポンプを水平に設置して下さい周囲条件については０５３保管据付および運転時の周囲条件を参照下さい 2 ポンプを設置する場所を決定します２５外観寸法図を参照下さい電気配線をするために周囲にはある程度スペースを確保して下さい 3 オペレーターがポンプのON OFFスイッチの入切が簡単に出来るように据え付けて下さい 4 吸込側と排出側のポートは保護蓋でシールされていますポンプを使用する準備が整うまで蓋を取り外さないでください 5 本機は空冷式です機器の筐体内等で使用する場合は充分な換気を行って下さい警告本機は空冷式です設置時にキャスターを取り外し直接地面に設置しないで下さいポンプ下部にある換気口が塞がれ異常過熱による火傷火災の恐れがあります注意ポンプを衝撃を与えたり傾けたり ...

Страница 24: ... 振動を嫌う装置の場合には吸気側配管に伸縮継手を挿入して下さい F ポンプ停止により大気が装置側へ逆流することを防止するために装置とポンプの間に遮断弁メインバルブを設けて下さい図 4参照 G ポンプ停止時に内部を乾燥又はポンプ内部のガスを空気と置換する必要がある場合には大気開放弁を遮断弁メインバルブとポンプ間に設けて下さい図 4参照注意ポンプは塵埃細粉等の固体や水分を吸引しますと到達圧力が悪くなるだけでなく故障の原因になることがあります吸気口に付けてある金綱はポンプユニット内にボルトなど大きな異物が入るのを防ぐために取り付けてあります点検等の必要がない限り外さないで下さい万が一ポンプの吸気口内に異物例えばボルトを脱落させた場合や異物例えば金網より細かな粉体や固形物が吸引された場合はポンプを分解して取り除く必要がありますの...

Страница 25: ...排気口側に配管する際配管の口径が小さかったり配管の内部に異物の付着等があったりするとポンプの内部圧力が上昇しますその結果ケーシングやオイルレベルゲージが破裂したり油漏れを起きたり電動機の過負荷が発生する恐れがあります注意ダクト配管を行う場合には必ず導電性材料電気を通すものを用いてください非導電性材料を用いた場合排気ガス通過時に静電気が発生し帯電してスパーク火花が発生し発火元になることがあります可燃性ガス支燃性ガスを流すプロセスの場合希釈ガスを導入願います排気するガスの濃度が爆発限界よりも低くなるよう吸気側から希釈ガスを流してください排気配管が薄い金属配管ジャバラベロー等の場合排気脈動で配管が共振し騒音が作業環境基準値を超えることがあります十分耐圧がある配管を使用してください図 4 基本的な配管接続図 ...

Страница 26: ...で用途に合わせてご注文時にご指定下さい表 2 型式一覧表参照標準エアーフィルター付属プラグを外しエアーフィルターを取り付けて下さい図 5 エアーフィルター取付図注意処理を行う際には処理前の暖機運転停止時の脱ガス運転大気開放状態での運転を必ず行ってください起動初期にポンプ本体の昇温が不十分な状態での処理や停止時に残留ガスがあると凝縮性ガスがポンプ内部で凝縮しポンプの寿命を縮める要因となります排気側配管はＬ型配管等で横に曲げ凝縮したガスがポンプに直接戻らない構成として下さいまた消音器等を取り付ける場合消音器等で凝縮しポンプに戻り破損を招く可能性があります溜まった液体を排出する機構を設けることを推奨します間欠運転等は行わずにポンプを停止させない運用を推奨します処理能力以上の水蒸気を排気した場合ガスバラストガスを使用してもポンプ...

Страница 27: ... ガスバラオプション手動１個ニードルバルブ付き図 6 ガスバラオプション手動１個ニードルバルブ説明図ガスバラオプション電磁弁手動ニードルバルブ付き図 7 ガスバラオプション電磁弁手動ニードルバルブ説明図 DC24V駆動のNC ノーマルクローズの電磁弁が付属するオプションです下記仕様を参照し配線する事で遠隔での開閉が可能となります消費電力 5 2 3 8 W 50 60Hz 図 8 電磁弁配線方法説明図 ...

Страница 28: ...パージが必要な場合はガスバラストガス導入口のプラグを取り外し R1 4のチューブ継手を取付けてくださいチューブ継手に1 4インチまたは6 以上のチューブ接続してくださいＮ２の供給圧力は 50 kPaG 以下流量は 10 20 SLM としてください図 9 Ｎ2 パージガス配管推奨システム注意窒素ガスの供給圧力を調整する減圧弁及び供給を止める供給バルブを付けて下さい窒素ガス配管を取り外す前に窒素ガスの供給バルブを閉めてください ...

Страница 29: ...過負荷保護装置が正常に作動せず焼損火災の原因となります３３１電源用配線 A 本機の電源仕様は単相200 240V 50 60Hz または三相200 240V 50 60Hz です電源仕様は電源コネクタ付近に表示されています B 電源容量は2 0kVA以上を準備して下さい本機には動力を遮断する機構を装備しておりません下表の通りの定格電流のMCCB 配線保護用遮断器を必ず設置して下さい表 4 電源容量及び推奨ブレーカ定格一覧ポンプ型式呼称 CR60B T CR60B S 電源電圧三相 200 240V 単相 200 240V 電源容量 2kVA ブレーカ定格 10A 15A 警告ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令例えば消防法電気配線規定などに従って設置および運用をしてください ...

Страница 30: ... アース表 5 コネクタ仕様一覧表ポンプ型式呼称ＣＲ６０ＢＴＣＲ６０ＢＳコネクタメーカ株式会社七星科学研究所レセプタクル型式ＮＥＴ２４４ＲＭＮＥＴ２４３ＲＭ適合プラグ型式ＮＥＴ２４４ＰＦＮＥＴ２４３ＰＦ適合電線サイズＡＷＧ１４ＡＷＧ１２２０ｍｍ２３５ｍｍ２定格電流１５Ａ２０Ａ警告配線には必ず付属のコネクタを使用して下さい他のコネクタを使用した場合接合時のファーストコンタクトが出来ない場合があり感電する可能性があります電源コードは上の定格電流値を許容できる適切な絶縁電線を使用してくださいメガテスト絶縁試験は行なわないで下さい D 電源コネクタ接続後にガードを取付けて下さい図 10 ガード取付け図 ...

Страница 31: ...ます無電圧接点を準備して下さい B ＯＵＴＰＵＴのポンプ側は無電圧接点です信号電圧はＤＣ３０Ｖ１Ａをご使用下さい C 本機を遠方にて起動停止する場合にはリモートコネクタのプラグ部に信号線を配線してください接点信号によりポンプの起動停止を行うことができます D ポンプ出荷時にはリモートコネクタのピン７８間が短絡されています遠方にて起動停止を行う必要がない場合にはそのままリモートコネクタのプラグを取付けた状態でご使用下さい E EMC規格への適合にはケーブルからの放射ノイズを抑える必要があります配線にはフェライトコアシールドケーブルをご使用ください放射ノイズは組込まれた他の電気品との関係配線状態配置状態等により変化しますのでお客様にて機械装置全体としての適合性を確認して下さい図 11 遠隔操作参考系統図コネクタメーカ第一電子工業株式会社コネ...

Страница 32: ...配管のバルブは全開か４吸気側メインバルブは全閉か警告配管及び配線接続が完了している事を確認してください排気口を塞ぐなど排気口側にガスの通過を妨害する機器をつけた状態で真空ポンプを運転しないで下さい真空ポンプ内圧が上昇してケーシングやオイルレベルゲージが破裂油漏れ電動機の過負荷が発生する恐れがあります排気口より後段の配管にバルブが付いている場合はバルブが開いていることを確認してください危険不活性ガス以外の有毒および可燃性支燃性ガスを真空ポンプで排気するとポンプ本体から漏れることがありますので使用することは出来ません危険不活性ガス以外の可燃性支燃性ガス及び物質を真空ポンプで排気すると真空ポンプ内部で発火爆発することがありますので使用することはできません危険有毒ガスが真空ポンプに吸引された場合ポンプ本体はもちろんのことポ...

Страница 33: ...ンプが徐々に回転を上げ約１５秒以内に定常回転となります４２２リモート運転 1 一次側のMCCB 配線保護用遮断器を ON にして電源を投入してください換気ファンが起動します 2 ポンプのON OFFスイッチを ON の状態にして下さい 3 リモートコネクタに配線された遠方のスイッチを ON として下さい運転ランプが点灯しポンプが徐々に回転を上げ約１５秒以内に定常回転となります４３起動後の確認と調整ポンプ起動後以下の内容を確認して下さい 1 異常振動騒音がないか確認して下さい 2 凝縮性ガスの排気を行なう場合は暖気運転を行なって下さい 3 N2パージする場合は N2ガスを供給して下さい 4 徐々にメインバルブを開いて下さい起動手順参照項目番４１運転前の点検 1 ４１運転前の点検 3 ４２起動４３起動後の確認と調整排気側配管系にバ...

Страница 34: ...を押して下さいリモート運転の場合は遠方のスイッチを OFF にして下さいポンプが停止し運転ランプが消灯します 4 一次側のMCCB 配線保護用遮断器を OFF にして下さい換気ファンが停止します停止手順参照項目番号４４停止 1 ４４停止 2 ４４停止 2 ４４停止 3 ４４停止 4 ポンプが異常停止した場合は安全の為に原因を取り除いてからポンプを再起動させて下さい警告運転停止後のしばらくは真空ポンプやモータ配管は非常に高温になりますのでパネルを外したりして触れないでください人体に接触すると火傷の危険がありますポンプを長時間停止する際は必ずブレーカを切り電源を断って下さいメインバルブ閉大気開放弁開 ON OFF スイッチ OFF 遠方のスイッチ OFF 電源遮断乾燥運転実施 ...

Страница 35: ...DI 002 02 ５ポンプの性能図 12 排気速度曲線図図 13 電力値曲線図 0 10 20 30 40 50 60 1 10 100 1000 10000 100000 Pumping Speed m 3 hour Pressure Pa CR60 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1 10 100 1000 10000 100000 Power W Pressure Pa CR60 ...

Страница 36: ... 吸排気口配管警告装置の設置マニュアルに従って取り外してください運転停止後のしばらくは吸排気口配管は非常に高温になりますので触れないでくださいポンプの温度が下がってから取り外しを行って下さいポンプの吸排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください６３窒素ガス配管接続されている場合のみ警告窒素ガス配管を取り外す前に窒素ガスの供給バルブを閉めてください装置側の配管には残圧が残ります装置の窒素供給源ポンプまでの配管の途中に圧力計を設置し圧力が大気圧まで低下したことを確認してから窒素ガス配管を取り外してください作業を行う時内圧が高い状態の場合配管が勢いよくはずれ怪我をする可能性がありますガスバラストガス導入口より窒素ガス配管を取り外して下さい警告ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令例えば消防法電気配線規定などに...

Страница 37: ...置の長期停止６ヶ月以上後使用すると運転時に内部部品が破損する恐れがありますので長期間使用しなかった場合は点検を最寄りのサービスセンターにご依頼ください７３オーバーホールオーバーホールは２年に１度行なって下さいなお使用条件によりポンプの汚染や性能悪化が著しい場合は２年以内でもオーバーホールを行って下さい到達圧力付近での連続運転粉体湿気腐食要素の吸引なし条件に於いて目安として２年に１回の推奨となります但し交換対象部品は使用環境により交換時期が異なりますオーバーホールは性能安全も含むを維持するためにまた計画的な生産を継続するためにも必要ですオーバーホールは最寄りのサービスセンターにお問い合わせ下さいなおオーバーホール依頼時には巻末にある汚染証明書を必ず記入してご提出下さい警告ご使用の危険物質の詳細を開示いただけない場合...

Страница 38: ...の確認０５３保管据付および運転時の周囲条件参照通電状態にて ON OFF スイッチ ON 状態で 511 秒待機するその後リモート I O のアラームリセット若しくは ON OFF スイッチを OFF し解除する一次側供給電源の約 3 秒以上の遮断停電電圧低下アラーム検知状態でコンデンサ放電前に電源が復帰するとアラームを保持します一次側供給電源の状態確認一次側供給電源の投入遮断による起動停止は行なわない４２起動参照ポンプ内への異物混入付着による回転不能サービスセンターへ連絡 ULVAC 技術員修理ポンプの機械的電気的故障圧力が低下しない到達圧力が不足真空室の容量に対しポンプの排気容量が小さいポンプの再選定５ポンプの性能参照圧力の測定方法が間違っている正しく圧力を測定する真空計が適切でない測定する圧力領域...

Страница 39: ...ンプのみとします空気または窒素の排気において弊社の設計製作上の不備により故障及び事故が発生した場合納入後１年以内については無償にて修理致しますまた以下による故障の場合は保証範囲外となり保証期間内でも有償修理となります空気または窒素以外のガスまたは物質を排気しての故障不具合消耗品に起因する故障不具合ご注文時のご指定の電源電圧周波数と異なる電源で使用した場合火災風水害地震落雷等の天災戦争等の不可抗力の災害によって発生した故障不具合取扱上の不注意誤った使用方法によって発生した故障不具合弊社の承諾なく改造分解修理を加えた製品異常環境下強い電磁界放射線環境高温高湿引火性ガス雰囲気腐食性ガス雰囲気粉塵などにおける故障不具合ノイズによる故障不具合製品不具合もしくは万一当社が第三者から特許を侵害しているとクレームされたこ...

Страница 40: ...場合代替品の送付もしくは弊社又は最寄りの弊社サービスセンターへ返送頂き修理を実施します返送費用はお客様にてご負担願います９５その他 1 本書類とは別に個別契約書や仕様に関する覚書などが存在する場合はその記載内容に準じます 2 本製品を日本国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きますと共に外国為替及び外国貿易法等輸出関連法規の規定に従って必要な手続きをお取り下さいますようお願い致します 3 本製品についての質問や相談に関しては型式製造番号をお確かめの上最寄りの営業所または代理店にご連絡ください http www ulvac co jp support_info 4 本書の内容は予告なしに変更する場合がありますご了承下さい ...

Страница 41: ...当営業所までお問合せ願います商品名型式 S N 用途依頼内容返却理由使用状況特記事項など汚染物質部の該当箇所にチェックをお願いします上記製品は有害物質によって汚染されてないことを保証します上記製品は以下の有害物質によって汚染されています汚染物質名分子式特性１２３４５株式会社アルバック行貴社の窓口となった担当者名年月日御客様会社名所属部署御担当者印 TEL FAX E mail 弊社への輸送中に発生した汚染物質による事故につきましては御客様の責となりますので梱包には充分注意して下さいまた汚染物質及び汚染状況によっては作業をお断りさせて頂き御客様に御返却させていただきます株式会社アルバック処理欄 MSDS 請求有無受付印指図番号 ...

Страница 42: ......

Страница 43: ...inal instructions INSTRUCTION MANUAL DRY VACUUM PUMP Model CR60B Before using this product be sure to read this operation manual Keep this manual with care to use at any time ULVAC Inc Components Division http www ulvac co jp ...

Страница 44: ......

Страница 45: ...Declaration of Conformity ...

Страница 46: ...modified ULVAC shall be not liable to guarantee performance and safety in such cases above Any modification of the product by the user is out of the scope of guarantee by us and not be guaranteed in any manner Be sure to clear any energy sources e g electricity coolant and so on of the product before installing or removing the product Please note that any of the parts used in this product shall ke...

Страница 47: ...ser is subject to death or heavy injury WARNING If the user makes a mistake in handling it indicates a possibility that the user is subject to moderate injury or it leads to significant damage of the machine It indicates a possibility that damage of the machine is caused and the normal operation is impaired CAUTION IMPORTANT description shall be given where there is particular information to notic...

Страница 48: ...uch substance that the detoxification process is hardly conducted WARNING You are kindly requested to acknowledge that specifications and or price of the product and description of the Instruction Manual are subject to change without prior notice for improvement Any change shall update the version number at the top right of the Instruction Manual cover and issue the revised version WARNING Please ...

Страница 49: ...heck the eyebolt whether it has no error before use 3 Only the technically entitled person should be in charge of conducting the unloading operation and operating the unloading machinery 4 There is a risk that the Pump might drop or lay down when attempted unreasonable operation or machinery setup was not sufficient You are strictly restricted to enter beneath the Pump WARNING 1 Although this pump...

Страница 50: ...the motor vacuum pump or piping because their temperature get very high You have a risk of getting burned if a part of your body touched it 2 Do not run the Pump on blocking the exhaust outlet or putting any device that might hamper gas passage onto the outlet There is a risk that the pressure inside the vacuum pump rises up and it causes break or oil leak of the casing or oil level gauge resultin...

Страница 51: ...ore executing check and repair You have a risk of getting electrical shock or injury by accidental sudden move 2 Person other than Repair technician should not be in charge of dismantling repairing or remodeling the product 3 You have a risk of getting injured or electrical shock by a fire or erroneous move 4 Should you found any malfunction or error just turn OFF the MCCB Molded Case Circuit Brea...

Страница 52: ...em before starting operation of the Pump There is a risk of getting electrical shock around the section that this warning label is put Be sure to turn OFF the MCCB Molded Case Circuit Breaker primary side utility to execute the wiring and or maintenance work The whole part becomes hot during operation of the Pump Do not touch during or just after stopped operation while the Pump unit remains very ...

Страница 53: ...23150 02 D8A CG Plain paper 1 4 inch 1 Whether the delivered is exactly the one you have ordered 2 Whether accessories Pump oil for one lubrication optional parts are attached or not 3 Whether there is no break or damage through transport or not 4 Whether any bolt or nut got loose or taken off through transport or not Should you found any trouble please do not hesitate to contact our Sales divisio...

Страница 54: ...p to place of installation set it in a horizontal position i Ensuring the ventilation space of at least 0 3m from the opening the ventilation Do not give the Pump a shock or lay it down It might impair the Pump operation Set it in a horizontal position keeping inlet flange upward CAUTION This unit is air cooled Do not install directly on the ground by removing the casters Ventilation openings unde...

Страница 55: ... 1 1 1 Danger Leakage of dangerous gas and dangerous materials 1 1 1 2 Warning Transfer of heavy material 1 1 1 3 Warning Electric shock 2 1 1 4 Caution High temperature 2 1 2 Chemical Material Safety Data Sheet SDS 3 2 Pump Outline 4 2 1 Features 4 2 2 Application 4 2 3 Principle of pumping 4 2 4 Performance Specifications 5 2 5 Outline dimensional drawing 6 2 6 Name and description of each part ...

Страница 56: ...and outlet piping 21 6 3 Nitrogen gas piping if connected 21 7 Maintenance 22 7 1 Check 22 7 2 Checkup after storage for a long period 22 7 3 Overhaul 22 7 4 Trouble shooting 23 8 Disposal 24 9 Warranty Clauses 24 9 1 Warrantable Items 24 9 2 Warranty period 24 9 3 Warrantee scope 24 9 4 Response procedure 25 9 5 Others 25 Request Form for Repair Inspection of ULVAC Components Certificate of Conta...

Страница 57: ...Fig 8 Explanatory diagram of method for solenoid valve wiring 13 Fig 9 Recommended system of N2 purge gas piping 13 Fig 10 Mounting method for guard 15 Fig 11 Reference system diagram of remote control 16 Fig 12 Pumping speed curves 20 Fig 13 Power Pressure curves 20 Table 1 Standard accessories viii Table 2 Details model list 5 Table 3 Performance specifications 5 Table 4 List of rated power capa...

Страница 58: ... to do the detoxification process 3 Ask the disposal agency licensed by the administration for disposal Getting injured by explotion or fire due to residual gas or deposition It is very danger if introduce combustible gas burnability gas or explosiveness gas into pump It has the potential of explosion or fire due to residual gas or deposition when after stopping as well as during operation Do not ...

Страница 59: ...peration 3 Be sure to cut the electricity to do checking or installation 4 Never attempt to put in the hand or bar into the opening of the ventilation 1 1 4 Caution High temperature Factors Avoidance methods and measures Getting burnt on touching the high temperature part 1 Do not touch the Motor vacuum pump or piping because has their temperature get very high during operation 2 Do not touch open...

Страница 60: ...Note that the SDS itself shall be never a safety certificate in any manner CAUTION Chemical material used for this Pump Pump oil BARRIERTA J100 FLUIDE E NOK KLUBER The Safety Data Sheet introduces the chemical material potential to use or touch on operating this machine Please contact our Sales division if you are in need Read it with attention to acknowledge the toxic characteristics described on...

Страница 61: ...and sputtering equipment Physics and chemistry experiment and analytical equipment Plasma cleaning equipment Other clean vacuum equipment 2 3 Principle of pumping CR60B are composed of only dry vacuum pump Dry vacuum pump is the multiple vacuum pump which composed of roots rotors connected in series The roots type vacuum pump composed of each stage pump portion transfer gas from inlet side to exha...

Страница 62: ...ressure without gas ballast Pa 3 0 Ultimate pressure with gas ballast Pa 6 0 Maximum inlet pressure Atmospheric pressure Maximum outlet pressure Atmospheric pressure Inlet diameter KF40 Outlet diameter KF40 Maximum amount of moisture suction 1 g h 500 Noise level reference only dB A 65 at 1m Motor PM motor kW 1 5 Power 2 Three phase 200 240V 50 60Hz Single phase 200 240V 50 60Hz Power consumption ...

Страница 63: ...6 YK16 0010 DI 002 02 2 5 Outline dimensional drawing Fig 2 CR60B Outline dimensional drawing ...

Страница 64: ...DA Clean Dry Air Adjuster To fix pump package Jack up range is less than 10mm ON OFF switch To start stop the pump RUN lamp The lamp lights when the pump starts ALARM lamp The lamp lights when ALARM is given Running time counter To shows running hours Power connector Metal connector for power supply Remote control connector D sub connector 15 pin for remote signal Power connector guard Guard of th...

Страница 65: ...regulations relating to the safety e g Fire Defense Law Electric wiring regulation and so on in the country and region you use the product Consequently you shall be requested to attend general safety lectures officially effective in the area such as electrical safety Cargo handling safety and so on Note that any person not attended such lectures shall be restricted from handling the product Operat...

Страница 66: ... and this pump to prevent backflow of air to the equipment when pump stopped Refer to Fig 4 G Install a vent valve between isolation valve Main valve and pump if gas inside of pump needs to be replaced with outside air or dried up when pump stopped Refer to Fig 4 1 Should the Pump sucked the water or substance such as dust powder and so on it would impair the ultimate pressure and further cause a ...

Страница 67: ...level gauge resulting in overload of the motor CAUTION 1 Be sure to use electricity conducting material for the duct piping Should you used non electricity conducting material static electricity would be generated under passage of exhaust gas generate the charged spark and cause a fire 2 In the case of the process flowing combustible gas susceptibility of substances to burn gas you are requested t...

Страница 68: ...ration by inlet port at atmospheric pressure should be performed at the end before process stop An insufficient warm up at the initial start up and or insufficient degassing of condensable gas interior of the pump at the end of process may cause a pump life shortening 2 Make sure that condensed gas will not return directly to the pump by exhaust piping connection like in L shape at the bending sid...

Страница 69: ...al valve Needle valve and air filter Fig 6 Explanatory diagram of gas ballast option 1 manual valve Gas ballast option code Solenoid valve manual valve Needle valve and air filter Fig 7 Explanatory diagram of gas ballast option Solenoid valve manual valve ...

Страница 70: ... Install R1 4 tube fittings by removing plug of gas ballast gas port if N2 purge necessary Connect to tube fitting the 1 4 inch tube Set N2 supply pressure at less than 50 kPaG and flow rate at 10 20 SLM Fig 9 Recommended system of N2 purge gas piping 1 Add pressure reducing valve for adjusting the pressure of the nitrogen gas supply and supplying valve to stop N2 supply 2 Before removing nitrogen...

Страница 71: ...ended breaker Pump model Naming CR60B T CR60B S Power supply 3 phase 200 240V Single phase 200 240V Power supply capacity 2 0kVA Rated breaker 10A 15A Install and operate this pump in compliance with the laws and regulations relating to the safety e g Fire Defense Law Electric wiring regulation and so on In the country and region you use the product CAUTION 1 Turn OFF the Power Supply to do the el...

Страница 72: ...tacle part No NET244 RM NET243 RM Compatible plug NET244 PF NET243 PF AWG 14 AWG 12 2 0 mm 2 3 5 mm 2 Rated current 15A 20A Compatible wire size Nanaboshi Electric Mfg Co Ltd D Mount a guard to power connector after connection Fig 10 Mounting method for guard 1 Use supplied connectors only If other connectors are used first ground contact may fail and it causes possibility of electrical shocks 2 U...

Страница 73: ...p side of the output is a no voltage contact Use the signal voltage within DC30V 1A C When starting and stopping this Pump by remote wire signal wire to the plug of remote connector It is possible to start and stop this pump by a contact signal D Pins 7 8 of remote connectors are short circuited when delivery Use plug in a state of being short circuited if this pump is not run by remote operation ...

Страница 74: ...m the Pump unit if it was exhausted by the vacuum pump DANGER Use of the toxic combustible or combustion susceptible gas and substance other than inactive gas is not allowed as there is a risk of causing fire or explosion inside the Pump unit if it was exhausted by the vacuum pump DANGER The pump body and oil also become toxic if toxic gas has been sucked into the vacuum pump Note at the time of m...

Страница 75: ...e Circuit Breaker Then cooling fan starts 2 Keep pump ON OFF switch ON position 3 Turn on switch wired to the remote connector Operation lamp lights up Pump rotation becomes steady within about 15 seconds increasing its rotation gradually 4 3 Check points and adjustments after starting After the pump is stared up check the following points 1 Check there is no abnormal vibration and noise 2 In case...

Страница 76: ...uum pump stops and the operation lamp turns off 4 Turn off primary side MCCB Molded Case Circuit Breaker Then cooling fan stops Stopping Steps Reference item Number 4 4 1 4 4 2 4 4 2 4 4 3 4 4 4 If the pump is abnormally stopped please restart the pump after removing the cause for safety 1 Do not open pump cover during operation Do not touch the motor vacuum pump or piping because their temperatur...

Страница 77: ...ormance Fig 12 Pumping speed curves Fig 13 Power Pressure curves 0 10 20 30 40 50 60 1 10 100 1000 10000 100000 Pumping Speed m 3 hour Pressure Pa CR60 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1 10 100 1000 10000 100000 Power W Pressure Pa CR60 ...

Страница 78: ...the Install Manual of the Pump 2 Inlet piping remains very hot wile after having stopped the Pump Be sure to take it off after the Pump has sufficiently cooled down 3 Make the Pump exhaust outlet airtight completely with a blank flange WARNING 1 Before removing nitrogen gas piping close supply valve of the nitrogen gas 2 Your side piping leaves residual pressure Be sure to take nitrogen gas piping...

Страница 79: ...ut running ask your closest Service Center for check 7 3 Overhaul You are requested to conduct overhaul every two years If there is remarkable contamination or performance deterioration due to the operation condition you are recommended to conduct overhaul even less than two years Overhaul of once every two years will be recommended at operation conditions not include suction such as powder or moi...

Страница 80: ...te I O or turn OFF the ON OFF switch About 3 seconds or more of the primary power supply Cut off power failure voltage drop When the power supply restored before capacitor discharge in the alarm detection state hold Check of the state of the primary supply side power Do not perform run stop by on off of the primary power supply Refer to 4 2 Run Rotation disabled by foreign substance and or deposit...

Страница 81: ...after shipping date from ULVAC 2 Direct export transaction one year after date of B L 9 3 Warrantee scope 1 Scope and exclusion of warranty The scope of warranty is limited to the Pump only ULVAC will repair this pump free of charge for a period of twelve 12 months from the date of delivery in case it failed due to defects in design or manufacturing during pumping down of air or nitrogen gas Troub...

Страница 82: ... a replacement or Buyer returns the defective items to ULVAC Inc or to ULVAC TECHNO Ltd for repair If field service is required Buyer shall ask ULVAC Inc or the local ULVAC representatives 2 Direct export transaction ULVAC sends a replacement or Buyer return the defective items to the local ULVAC representatives for repair Return charge shall be paid by Buyer 9 5 Others 1 In case special agreement...

Страница 83: ...Application Remarks Contaminant Check an applicable box I guarantee that above returned item s is not contaminated with harmful substances Above returned item s is contaminated with the following harmful substances Name of contaminant molecular formula Characteristics 1 2 3 4 5 To ULVAC Inc Attn Date YYYY MM DD Your company Division Contact Phone Fax E mail Please pack returned item s carefully be...

Страница 84: ...le1 Making format for names and contents of hazardous substances or elements Name of parts Hazardous substances or elements Pb Hg Cd Cr6 PBB PBDE Body Panel Base Electrical Parts indicating that content of the hazardous substance or element in all homogeneous materials of the part does not exceed the requirements for concentration limits specified by SJ T11363 2006 indicating that content of the h...

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