Ulvac CR16B, Инструкция по эксплуатации

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YK16-0010-DI-002-02
２．６ 各部の名称と説明
図
3
各部名称
吸気口：真空排気する容器や配管に接続します。
排気口：排気されたガスの出口です。
ガスバラストガス ：水分を含むガスを吸引する際に大気またはCDA
*
・Ｎ
２
ガスを
導入するために使用します。
オプション品を準備しております。
＊ＣＤＡ：Ｃｌｅａｎ Ｄｒｙ Ａｉｒ（乾燥空気）
アジャスター：ポンプの固定に使用します。ジャッキアップは10mm以下。
ON/OFFスイッチ：ポンプの運転／停止に使用します。
運転ランプ：ポンプ運転中に点灯します。
アラームランプ：ポンプが異常時に点灯します。
積算運転時間計：運転の積算時間を表示します。
電源コネクタ：給電用のメタルコネクタです。
リモートコネクタ：リモート信号用の１５ピンＤ－ｓｕｂコネクタです。
電源コネクタ用ガード：電源コネクタのガードに使用します。この製品は、承認済みの常時接続
装置であるため、電気配線接続後はガードを取り付ける必要がありあます。