Ulvac CR16B, Инструкция по эксплуатации

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YK16-0010-DI-002-02
６． 取り外し
６．１ 電気結線
1)
一次側の
MCCB
（配線保護用遮断器）をマニュアルに従いロックアウト及びタグアウトして下さい。
2) 一次側の
2
次側通電表示ランプにて通電されていない事を確認するか、テスター等を用いて通電
されていない事を確認して下さい。
3) 電源コネクタを外して、ポンプを電源から切り離して下さい。
警 告
取り外し作業を行う前には、確実に電源から切り離してください。
６．２ 吸排気口配管
警 告
①装置の設置マニュアルに従って、取り外してください。
②運転停止後のしばらくは、吸排気口配管は非常に高温になりますので触れ
ないでください。ポンプの温度が下がってから取り外しを行って下さい。
③ポンプの吸排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください。
６．３ 窒素ガス配管（接続されている場合のみ）
警 告
①窒素ガス配管を取り外す前に、窒素ガスの供給バルブを閉めてください。
②装置側の配管には残圧が残ります。装置の窒素供給源（ポンプまでの配管
の途中）に圧力計を設置し、圧力が大気圧まで低下したことを確認してから
窒素ガス配管を取り外してください。作業を行う時、内圧が高い状態の場合、
配管が勢いよくはずれ、怪我をする可能性があります。
ガスバラストガス導入口より、窒素ガス配管を取り外して下さい。
警 告
ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令（例えば消防法、電気
配線規定など）に従って設置および運用をしてください。