Ulvac UTM3400 Series, Инструкция по эксплуатации

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Table of contents
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Section 4 SPECIFICATIONS
4.1 Standard Specifications for Pump Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.2 The Maximum Allowable Flow Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.3 Standards Fulfilled . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Section 5 INSTALLATION
5.1 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.1.1 Pump Mounting Direction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.1.2 Installation of the Pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.1.2.1 Instruction and Lifting Method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
5.1.2.2 Installation of Turbo Molecular Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
5.1.3 Example of Piping Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
5.1.3.1 Connection of Exhaust Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
5.1.3.2 Connection of Cooling Water Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
5.2 Connection of Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
5.3 Preparation for Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
5.4 Interlock for Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
5.5 Notes on Transportation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Section 6 OPERATION
6.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
6.1.1 Introduction : Operation Modes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
6.2 Startup Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
6.2.1 Start-up Preparation Sequence in LOCAL Mode . . . . . . . . . . . . . . . . 40
6.2.2 Start-up Preparation Sequence in REMOTE-control Connector. . . . . 40
6.2.3 Start-up Preparation Sequence in Other Communication Means . . . . 41
6.3 Start-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
6.3.1 Start-up Sequence in LOCAL Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
6.3.2 Start-up Sequence in REMOTE-control Connector . . . . . . . . . . . . . . 42
6.3.3 Start-up Sequence in Other Communication Means. . . . . . . . . . . . . . 42
6.4 Shutting Down . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
6.4.1 Preparations Prior to Shutting Down Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
6.4.2 Shutting Down Sequence in LOCAL Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6.4.3 Shutting Down Sequence in REMOTE-control Connector . . . . . . . . . 44
6.4.4 Shutting Down Sequence in Other Communication Means . . . . . . . . 44