Brooks On-Board 8, Инструкция по установке и обслуживанию

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Cryo-Torr 8600 Compressor Operation, Installation and Maintenance Guide
©2013 Brooks Automation Inc. Pub. No. 8040564, Rev. AA, 01/15/13 ECO No. 64541 v
Table of Contents
Safety Conventions
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . S-1
Signal Word Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . S-1
Safety Shape Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . S-2
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . S-2
Section 1 - On-Board GLE Cryopump Description
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Installation, Operation, and Maintenance Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Microprocessor-Based Control System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Power Conditioning Module Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
On-Board Vacuum Network Controller Module Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
Remote Operation Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Theory of Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
Cold Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
Vacuum Vessel and Arrays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
Compressor Gas and Oil Flows . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
Section 2 - Installation
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
On-Board GLE Cryopump Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Vent Pipe Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Roughing Pump Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Rough Valve Gas Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Purge Gas Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Auxiliary (AUX) TC Gauge Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Setpoint Relays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Remote Keypad/Display Installation (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
Section 3 - Troubleshooting
Technical Inquiries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
Section 4 - Maintenance
Helium Circuit Decontamination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Background . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Equipment/Tools Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Method 1 - Decontaminate all On-Board GLE Cryopumps . . . . . . . . . . . . . . . 4-6