Brooks On-Board 8, Инструкция по установке и обслуживанию

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Cryo-Torr 8600 Compressor Operation, Installation and Maintenance Guide
vi ©2013 Brooks Automation Inc. Pub. No. 8040564, Rev. AA, 01/15/13 ECO No. 64541
Decontamination Alternatives . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
Method #1 Decontaminate All Cryopumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
Method # 2 Decontamination of Only Cold Cryopumps . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
Method # 3 Grouped Decontamination using Manifold . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
On-Board GLE Cryopump Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
Appendix A - Customer Support Information
Customer Support Center Locations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1
Guaranteed Up-Time Support (GUTS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1
Product Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1
E-mail . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1
Index
List of Figures
List of Tables