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Pro
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µLine F1 User Manual
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CONTENTS
5.3 Object of Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6 FEATURES OF THE SYSTEM BUILD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.1 Basics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2 Switching on the System Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.3 Running the Program. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.4 Aligning the Interferometer and Optics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.4.1 Basics in Conducting Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.4.2 Adjusting the Interferometer for Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4.3 Positioning the interferometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.4.4 Aligning the Interferometer/Positioning the Reflector RL1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.4.5 Aligning despite Obstacles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.4.6 Aligning the Interferometer Element IL1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.4.7 Adjusting RL1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.4.8 Fine Tuning the Software. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.5 Placing the temperature sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7 MEASURING ACCURACY IN POSITION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
7.1 Vibration (optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
7.2 Configuring Accuracy of Measurement in Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
7.2.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
7.2.2 Selecting the Method of Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
7.2.3 Automatic Point Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.2.4 Creating a Data File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
7.2.5 Creating a CNC Program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
8 PERFORMING MEASUREMENT OF ACCURACY IN POSITION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
8.1 Reading Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
8.2 Saving Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
8.3 Assessing Data and Creating a Report . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
8.4 Creating CNC Error Compensation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
8.5 Dynamic Measurement of Displacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
8.5.1 Setting up Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
8.5.2 Generating a CNC-program. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
8.5.3 Conducting Measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
8.5.4 Assessing Data and Creating a Report . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
8.5.5 Creating CNC Error Compensation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
