Ulvac UTM1600 Series, Инструкция по эксплуатации

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Table of contents
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Table of contents
Introduction
Copyrights and Disclaimers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . i
Precautions for Safe Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ii
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Operating Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vi
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Explanation of Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
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Location of Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . viii
Table of contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ix
Section 1 OUTLINE AND DESCRIPTIONS
1.1 Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.2 Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1 Outside Drawing of Pump Main Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1.1 UTM1600 Series Outside Drawing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1.2 UTM1200 Series Outside Drawing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Standard Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.5 Document List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Section 2 IDENTIFICATION AND FUNCTION
2.1 Pump Main Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.2 AC INPUT Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.3 Local Control Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.4 External I/F Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11