Figures and Tables
Fig.1 Dimensional drawing of MBS-053/MBS-053-01
mechanical booster vacuum pump
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Fig.2 Driver Box Interior
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Fig.3 Basic piping diagram to the vacuum chamber
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Fig.4 Compression ratio property
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Fig.5 Pumping speed curve
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Fig.6 Driver circuit box position
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Fig.7 Driver circuit box interior
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Fig.8 Circuit protector wiring diagram
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Fig.9
An
Inlet
(EN60320)
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Fig.10 Change region of the voltage and frequency
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Fig.11 Oil plug, oil level gauge position
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Fig.12 Oil level gauge
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Fig.13 Structure of pump
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Fig.14 External control connector pin assignment
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Fig.15 Alarm signal origination side circuitry
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Table.1
Specification
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Table.2 Power cable selection standards
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Table.3 Protection feature
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Table.4 External control connector
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Table.5 Daily inspections
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Table.6 Change parts long-term maintenance
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Table.7 Trouble check list
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