Agilent Technologies 969-8888, Инструкция по эксплуатации

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ISTRUZIONI PER L'USO
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ATTENZIONE!
Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbo-
pompa è stata fissata al sistema.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
−
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
−
temperatura dell'aria: da + 5 °C a +35 °C
−
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
La Turbo-V 3K-G deve essere collegata ad una pompa primaria
(vedere schema in "Technical Information").
La Turbo-V 3K-G può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la Turbo-V 3K-G in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 33000 Nm attorno al pro-
prio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO F deve essere fissa-
ta alla camera da vuoto per mezzo di bulloni con una classe di
fissaggio di 12.9 (
σ
r
= 1200 N/mm
2
). La seguente tabella de-
scrive il numero di bulloni d’acciaio necessari e con quale cop-
pia di serraggio consigliata da Varian stringerli.
FLANGIA TIPO DI FISSAGGIO N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 250 F Bullone con filettatura M10 12 30 Nm

PERICOLO!
La Turbo-V 3K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il
sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO
250F.

PERICOLO!
Il mancato rispetto di queste istruzioni d’installazione, nel caso
in cui si verifichi un guasto al rotore, può comportare il distacco
della pompa dal sistema con danni alle cose o seri danni o
morte delle persone.
ATTENZIONE!
La Turbo-V 3K-G appartiene alla seconda categoria di installa-
zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.
Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione
che soddisfi tale categoria.
Utilizzare i controconnettori in dotazione per garantire l'isola-
mento IP-54.
La Turbo-V 3K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per
la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti
esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibi-
le.
Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Tur-
bo-V 3K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione
di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-
rative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore
a 80 °C.
Durante il funzionamento della pompa la temperatura del rotore
non deve mai superare i 120 °C.
L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di
funzionamento in funzione del gas da pompare: 1 per Azoto e
gas più leggeri, 0 per Argon (modo di default) nel comando
seriale 157. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".

PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 1 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas contenenti particolato o inquinanti ag-
gressivi per i cuscinetti, queste pompe sono dotate di una ap-
posita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa
un flusso di gas inerte (Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti
(vedere l'appendice "Technical Information").
ATTENZIONE!
Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi
che possano danneggiare i materiali interni alla pompa.

PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto,
Argon e gas più leggeri.
Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti
dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecni-
ca della Varian per informazioni.
Uso della Turbo-V 3K-G
Come avviare il sistema
Prima dell'avvio del sistema, controllare che il controconnettore
I/O sia rimosso. Se il sistema è collegato ad un dispositivo di
Inpu/Output remoto, assicurarsi che il segnale di STOP sia
attivo (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice
"Technical Information").
Per avviare il sistema eseguire i seguenti passi:
1.
rimuovere (se presente) il controconnettore I/O
2. collegare l'alimentazione di rete