Agilent Technologies 969-8888, Инструкция по эксплуатации

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INSTRUÇÕES PARA O USO
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ATENÇÃO!
Retirar a protecção dos conectores somente depois que a
turbobomba estiver fixada ao sistema.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
-
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35º C (consultar a planilha no
apêndice “Technical Information”)
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
O Turbo-V 3K-G deve ser ligado a uma bomba primária
(consultar esquema em "Technical Information").
O Turbo-V 3K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar
o Turbo-V 3K-G em posição estável ligando o flange de
entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de
resistir a um torque de 33000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO F deve ser fixada na
câmara de vácuo por meio de parafusos com um tipo de
fixação de 12,9 (
σ
r
= 1200 N/mm
2
). A tabela seguinte descreve
o número de parafusos de aço necessários e o torque de
aperto a aplicar recomendado por Varian.
FLANGE TIPO DE BORNE N
TORQUE DE
APERTO
ISO 250 F Parafuso com rosca M10. 12 30 Nm

PERIGO!
A Turbo-V 3K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O
sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange
ISO 250F.

PERIGO!
O desrespeito a estas instruções de instalação, no caso em
que se verifique um defeito no rotor, pode implicar no
desengate da bomba do sistema com danos às coisas ou
sérios danos ou a morte das pessoas.
ATENÇÃO!
O Turbo-V 3K-G pertence à segunda categoria de instalação
(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto,
ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para
esta categoria.
Utilizar os contra-conectores fornecidos em dotação para
garantir o isolamento IP-54.
O Turbo-V 3K-G tem dois conectores para as entradas/saídas
e para a comunicação de série que devem ser ligados aos
circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes
sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo
ligado ao Turbo-V 3K-G esteja isolado correctamente mesmo
em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual
aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de
entrada não deve ser superior a 80 ºC.
Durante o funcionamento da bomba a temperatura do rotor
deve ser sempre inferior a 120°C.
O operador deve verificar se o aparelho funciona na
modalidade correcta, de acordo com o tipo de gás aspirado: 1
para Azoto e gases mais leves. 0 para Argon (modalidade pré-
definida) no comando serial 157. Para maiores detalhes,
consultar o apêndice “Technical Information”.

PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 1 bar (acima da pressão
atmosférica).
Para bombear gases que contenham partículas ou poluentes
daninhos para os rolamentos, estas bombas estão equipadas
com uma porta específica através da qual é necessário
fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Hélio) para
proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical
Information”).
ATENÇÃO!
Jamais usar a bomba na presença de gases ou vapores
corrosivos que possam danificar os materiais no interior da
bomba.

PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de
Azoto, Argon e gases mais leves.
Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que
o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência
Técnica da Varian para obter maiores informações.
Uso da Turbo-V 3K-G
Como activar o sistema
Antes do arranque do sistema, assegurar-se de que o conector
conjugado I/O não está montado. Se o sistema está ligado a
um dispositivo de Input/Output remoto, assegurar-se de que o
sinal de STOP está activo (consultar o parágrafo “J1 -
REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”).
Para activar o sistema, executar as seguintes operações:
1.
remover (se presente) o conector conjugado I/O
2. ligar o cabo à rede de alimentação eléctrica