Agilent Technologies 969-8888, Инструкция по эксплуатации

Страница: 43 / 116

BRUKSANVISNING
37/107 87-901-011-01
INSTALLATION

VARNING!
På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga
lyft- och flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna som är
fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset.
VIKTIGT!
Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till
systemet.
VIKTIGT!
Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har
satts fast på systemet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
-
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical
Information”)
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. Turbo-V 3K-G måste anslutas till en huvudpump
(se schemat i "Technical information").
Turbo-V 3K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 33000 Nm kring sin
axel.
Turbopumpen med inloppsfläns ISO F ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av bultar med låsklass 12.9 (
σ
r
=
1200 N/mm
2
). Den följande tabellen anger antalet nödvändiga
stålbultar och med vilket vridmoment som Varian
rekommenderar att de dras åt.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANT. ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 250 F M10 bult 12 30 Nm

VARNING!
Turbo-V 3K-G kan inte fästas med hjälp av sitt fundament.
Systemet kan endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F.

VARNING!
Om dessa installtionsinstruktioner inte iakttas, om det uppstår
skada på rotorn, kan det medföra att pumpen lossnar från
systemet med följande materialskador eller allvarliga eller
livshotande skador för personer.
VIKTIGT!
Turbo-V 3K-G tillhör den andra installationsklassen (eller
överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut
därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för
denna klass.
Använd medföljande kontakter som extra tillbehör för att
garantera IP-54 isoleringen.
Turbo-V 3K-G är utrustad med kontaktdon för
ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen
som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att
komma åt någon spänningsförande del.
Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo-V 3K-G
har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard
EN 61010-1.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80°C.
När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig
överstiga 120
°
C.
Användaren måste vara noga med att välja rätt funktionssätt
beroende på vilken gas som ska pumpas: 1 för kväve och
lättare gaser, 0 för argon (standard) i det seriella kommandot
157. För ytterligare information, se bilagan "Technical
Information".

VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
VIKTIGT!
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från
damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr
måsteunderstiga 1 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
För pumpning av gaser som innehåller partiklar eller
föroreningar som är aggressiva för lagren, är dessa pumpar
försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda
en ström av ädelgas (
Kväve eller Helium
) för att skydda lagren
(se bilagan “Technical information”).
VIKTIGT!
Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor
som kan skada pumpens invändiga material.

VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve,
argon och lättare gaser.
Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon,
kontakta Varians tekniska service för information.