Agilent Technologies 969-8888, Инструкция по эксплуатации

Страница: 61 / 116

HASZNÁLATI UTASÍTÁS
55/107 87-901-011-01
FIGYELEM
Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a
rendszerhez való csatlakoztatása el
ő tt.
FIGYELEM
Csak azután vegye le a csatlakozók véd ő burkolatát, ha a
turbószivattyú már rögzítve van a rendszerhez.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (es
ő , hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy t ű zveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következ ő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
-
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
-
leveg ő h ő mérséklete: +5°C-tól +35°C-ig
-
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mez ő k jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Technical Information”.
A Turbo-V 3K-G-t els
ő dleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni
(lásd „Technical Information”).
A Turbo-V 3K-G-t bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse
a Turbo-V 3K-G-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 33000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO F bemenetes peremes turbószivattyút a
vákuumkamrához csavarokkal kell rögzíteni 12.9 (
σ
r
= 1200
N/mm
2
) rögzítési osztállyal. Az alábbi táblázat megmutatja a
szükséges acélcsavar számokat és a Varian által ajánlott
rögzítési nyomatékot, amellyel meg kell húzni azokat.
KARIMA RÖGZÍT Ő
ESZKÖZ
N. RÖGZÍT Ő
NYOMATÉK
ISO 250 F M10 csavarok 12 30 Nm

VIGYÁZAT!
A Turbo-V 3K-G nem rögzítehet ő az alapjával. A rendszer csak
ISO 250F karimával rögzíthet ő .

VIGYÁZAT!
Ezen installációs utasítások figyelmen kívül hagyása, a rotor
meghibásodása esetén, a rendszerb
ő l a szivattyú leválását
eredményezheti, ami dologi kárt vagy komoly személyi sérülést
vagy halált okozhat.
FIGYELEM
A Turbo-V 3K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség)
kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.
Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelel
ő
hálózathoz.
Használja a berendezéshez adott aljazatokat, hogy az IP-54
szerinti szigetelést biztosítsa.
A Turbo-V 3K-G-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros
kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell küls
ő
áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne
legyenek hozzáférhet
ő k.
Gy ő z ő djön meg róla, hogy a Turbo-V 3K-G-hez csatlakoztatott
eszköz megfelel ő egyes hiba esetén is az RN 61010-1 direktíva
szerint.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical
Informationt”.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvet ő üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata el
ő tt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
h
ő mérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot.
A szivattyú m ű ködtetésekor a rotor h ő mérséklete soha nem
haladhatja meg a 120 °C-t.
A felhasználónak ügyelnie kell, hogy a szivattyúzott gáz szerint
beállítsa a helyes gázmódot. 1 a nitrogénhez és könnyebb
gázokhoz, 0 az argonhoz (alapértelmezés) a 157-es sorszámú
vezérlésben. Részletekért lásd „Technical Information”.

VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas h
ő mérséklet égést okozhat.
FIGYELEM
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részekt
ő l mentes leveg ő t vagy
közömbös gázt a szivattyú szell ő ztetéséhez. A szell ő z ő porton
lév ő nyomásnak 1 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
A csapágyakra szennyez
ő vagy részecskéket tartalmazó gázok
szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy
olyan különleges porttal, amelyen keresztül a csapágyak
védelme érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén
vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information”
függelék).
FIGYELEM
A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy g ő z
jelenlétében használni, amely károsíthatja a szivattyú
belsejében lév
ő anyagokat.

VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgez ő , gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A
szivattyút N
2
, Ar és könnyebb gázok nagyteljesítmény ű
szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat
kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Varian
m
ű szaki támogatáshoz.
A Turbo-V 3K-G használata
A rendszer elindítása
A rendszer elindítása el ő tt ellen ő rizze, hogy a B/K csatlakozó ki
van-e húzva. Ha a rendszer távoli B/K-hoz van csatlakoztatva,
ellen
ő rizze, hogy stop jel (lásd „Technical Information” függelék
"J1-REMOTE I/O" bekezdése) adva van-e.
A rendszer indításához kérem, kövesse a következ
ő lépéseket:
1. húzza ki (ha jelen van) a rendszer B/K csatlakozóját
2. dugja be a tápkábelt
3. szivattyúzza le a vákuumkamrát 0.1 mbarra