Agilent Technologies 969-8888, Инструкция по эксплуатации

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GEBRAUCHSANLEITUNG
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Benutzung der Turbo-V 3K-G
Ingangsetzung des Systems
Vor der Ingangsetzung des Systems ist zu kontrollieren, dass der
E/A-Gegenkonnektor entfernt ist. Wenn das System an eine Vor-
richtung für die Ferneingabe/-ausgabe angeschlossen ist, ist zu
überprüfen, dass das Signal STOP aktiv ist (siehe Abschnitt "J1 –
REMOTE I/O " im Anhang "Technical Information").
Zur Ingangsetzung des Systems sind die folgenden Schritte
auszuführen:
1.
E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden).
2. Gerät an das Netz anschließen.
3. Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen.
4. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 3K-G
gibt es die folgenden Möglichkeiten:
a. Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen.
b. Das Signal START von der Fernsteuerung über
den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 –
REMOTE I/O" im Anhang "Technical Informati-
on").
c. Das Signal START von der Fernsteuerung über
die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe
Abschnitt "RS 232/485 Communication Descripti-
on" im Anhang "Technical Information").
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GEFAHR!
Wenn die Spannung zugeschaltet und der Gegenkonnektor mit
15 PINs angeschlossen ist, startet die Turbo-V 3K-G automa-
tisch.
ACHTUNG!
Im Lieferumfang ist der mechanisch und elektrisch an die Pumpe
angeschlossene Controller enthalten. Die Trennung des Control-
lers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt wer-
den, die von Varian Vacuum Technologies autorisiert sind.
HINWEIS
Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 3K-G startet der Controller
das System mit einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor
etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START). Das System
wird innerhalb von 1 Stunde in aufeinander folgenden Schritten
bis zur Arbeitsgeschwindigkeit gestartet. Sobald das System
die Arbeitsgeschwindigkeit erreicht hat, wird die "soft start"-
Prozedur deaktiviert. Die darauf folgenden Anlaufvorgänge
werden normal ausgeführt.
HINWEIS
Zur Beibehaltung des Schutzniveaus IP-54 ausschließlich die
mit der Pumpe gelieferten Steckverbinder anwenden. Für das
Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957 oder 969-
9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller mit der
hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe nachstehen-
de Abbildung). Dieses Kabel und Stecker zusammen mit einer
korrekt an der Erde angeschlossenen Steckdose verwenden,
um Stromstöße zu vermeiden und den EG-Bestimmungen zu
entsprechen.
Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem
Statussignal angesteuert wird.
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 3K-
G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingun-
gen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stillsetzung der Turbo-V 3K-G
Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglich-
keiten:
1.
Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen.
2. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/A-
Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im
Anhang "Technical Information").
3. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle
Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS
232/485 Communication Description" im Anhang "Techni-
cal Information").
Not-Aus
Zur Stillsetzung in Notsituationen ist vom Controller das
Netzkabel abzuziehen.
Man muss jedoch in Betracht ziehen,
dass dieser Vorgang nicht nur die Speisung der Pumpe
vollständig abschaltet, sondern auch alle anderen Funktionen
des Controllers, wie zum Beispiel die Kontrolle des Purge und
des Vent sowie die Kommunikationsfähigkeit mit dem System
deaktiviert, in dem die Pumpe über I/O´s, serielle Anschlüsse
oder Profibus integriert ist.
Außerdem kann dieser Vorgang nicht den sofortigen Stopp des
Rotors garantieren, dessen Drehgeschwindigkeit aufgrund der
Vakuumgröße im System verringert wird.
WARTUNG
Modell Turbo-V 3K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingrif-
fe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
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GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.