Agilent Technologies 969-8888, Инструкция по эксплуатации

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GEBRAUCHSANLEITUNG
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ACHTUNG!
Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Tur-
bopumpe am System befestigt ist.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Turbo-V 3K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen
(siehe Schema in "Technical Information").
Modell Turbo-V 3K-G kann in jeder beliebigen Position instal-
liert werden.
Modell Turbo-V 3K-G ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-
flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von
33000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Die Turbopumpe mit Eingangsflansch ISO F muss mit der Va-
kuumkammer mithilfe von Bolzen Befestigungsklasse 12.9 (
σ
r
=
1200 N/mm
2
) befestigt werden. Die folgende Tabelle beschriebt
die Anzahl der notwendigen Stahlbolzen und den von Varian
empfohlenen Anzugsmoment.
FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 250 F Mutterschraube mit
Gewinde M10
12 30 Nm

GEFAHR!
Die Turbo-V 3K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt wer-
den. Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO
250F verwendet werden.

GEFAHR!
Die Nichtbeachtung dieser Anleitung, sollte sich ein Schaden
am Rotor ergeben, kann zur Loslösung der Pumpe vom System
führen mit Schäden an Dingen oder schweren Verletzungen
oder zum Tod von Personen führen.
ACHTUNG!
Der Turbo-V 3K-G gehört zur zweiten Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist.
Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung ange-
schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Die Gegenstecker der Ausstattung als Zubehörteil verwenden,
um die Isolierung IP-54 zu gewährleisten.
Der Turbo-V 3K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange-
schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung
zugänglich ist.
Sicherstellen, daß die Isolierung der an den Turbo-V 3K-G
angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung
ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vor-
gesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu-
matischen Anschlüsse auszuführen.
Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf
die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten.
Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers
niemals 120 °C überschreiten.
Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Be-
triebsart in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas einge-
stellt ist: 1 für Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (vor-
eingestellte Betriebsart) in der Seriensteuerung 157. Für aus-
führliche Informationen siehe im Anhang "Technical Informati-
on".

GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 1 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen.
Zum Pumpen von Gasen mit Partikeln oder aggressiven
Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen mit einer Öffnungs-
klappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical
Information").
ACHTUNG!
Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämp-
fen benutzen, weil sie das Material im Innern der Pumpe be-
schädigen könnten.

GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon
und leichteren Gasen konzipiert.
Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als
Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian
Rücksprache zu halten.