Models 947, 948 and 960 Leak Detectors Operations and Service Manual
1-15
Einführung in die Lecksucher, Modell 947, 948
und 960
Die Modell 947, Modell 948 und Modell 960 von Varian Vacuum Technologies sind
Plattform Auto-Test
®
Helium-Spektrometer-Lecksucher. In diesem Handbuch werden die
Lecksucher als Modelle 947/948/960 bezeichnet.
Dieses Handbuch enthält Folgendes:
❑
Beschreibung der Maschinen
❑
Vollständige Betriebsanleitungen, einschließlich Beschreibungen der Steuereinheiten
und Anzeigen, Wartungs-, Kalibrierungs- und Anschlussverfahren
❑
Informationen zur Fehlersuche
Informationen bezüglich Konformität, Garantie und Sicherheit befinden sich im ersten Teil
dieses Handbuchs. Diese Informationen sind vor Inbetriebnahme der Maschine zu lesen.
Die 947/948/960 verfügen über stabile Metallgehäuse, die auf Rollen montiert sind, um
eine bessere Mobilität zu gewährleisten. Der Zugang zum verschließbaren Aufsatz, in dem
die Hängebedienungstafel untergebracht ist, erfolgt mittels eines Schlüssels.
Die 947/948/960 bestehen aus folgenden Grundkomponenten:
❑
Mechanische Vorvakuumpumpe
❑
Mechanische Grobvakuumpumpe
❑
Spektrometerrohr
❑
Contra-Flow
™
Vakuumsystem (960 benutzt konventionelles Strömungssystem)
❑
Plattformelektronik
❑
Fronttafel und Anzeigen
Die 947/948/960 können für Trocken- oder Nasspumpen konfiguriert werden. Die 948/960
verfügen über eine Stickstoff-Kühlfalle.
Plattformelektronik, Hängebedienungstafel und Anzeigen befinden sich im Aufsatz.
Informationen über die Leckrate und den Systemstatus werden auf der Fronttafel angezeigt
und sind außerdem über den E/A an der rückseitigen Schalttafel verfügbar.
