Ulvac PMB100D, Instruction Manual

Page: 33 / 119

YK11-0016-DI-002-08
6
2.2 Performance Specifications
Table. 3 Specifications
PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D
m3/hour 95 280 500 1000 2500 / 2000
L/min 1580 4670 8330 16700 41667 / 33330
m3/hour 115 330 600 1200 3100 / 2400
L/min 1920 5500 10000 20000 51667 / 40000
Pa
9.3×10
3
1.2×10
3
2.0×10
3
/
8.0×10
2
Torr 69 9 15 / 6
Pa
6.2×10
3
9.3×10
2
1.5×10
3
/
6.7×10
2
Torr 46 7 11 / 5
Pa
8.0×10
3
4.0×10
3
3.5×10
3
/
5.6×10
3
Torr 60 30 26.3 / 42.1
Pa
5.6×10
3
3.3×10
3
3.0×10
3
/
4.7×10
3
Torr 42 25 22.6 / 35.3
Pa
Torr
Pa
Torr
0.4
（
2
）
0.75
（
2
）
2.2
（
2
）
3.7
（
2
）
7.5
（
2
）
0.54
（
2
）
1.0
（
2
）
2.95
（
2
）
4.96
（
2
）
10
（
2
）
50Hz 200
60Hz 200 / 220
50Hz
220~240 /
380~415
60Hz
208~240 /
380~460
L 0.35 0.7 1.5 1.9 4 (2.2
※
11)
Air cooled
MPa -
psi -
MPa -
psi -
Volume L/min -
℃
-
VG50 VG100 VG200
VF50 VF200
mm 267 x 576 x 180 321 x 685 x 260 362 x 784 x 320 417 x 970 x 340 520 x 1260 x 460
kg 26 51 82 115 260
VD40 VD60 *9 VD90 *9 VS2401
VS650/
PKS-070
－
0.05
CE / cTUVus
5 - 30
Inlet port VG80
Cooling
water
Cooling method *5 Air cooled / Water cooled
Primary side
pressure
0.3
43.5
Inlet/outlet
differential
pressure
7.25
2 3
Outlet port VF80
Dimension W x D x H
Weight Total *7
Standard roughing pump *8
Certification *12
Optional
Surface treatment, Explosion proof motor *13, 14
Atmospheric pressure start type (Inverter) *10, 14, Lubrication oil *4
Lubrication chamber evacuation,
Horizontal exhaust direction type (PMB2400D only)
Temperature*6
Ultimate Pressure
*2 4.0 x 10
-1
6.7 x 10
-1
3.0 x 10
-3
5.0 x 10
-3
Oil quantity
Allowable drive pressure
~ 1.0 x 10
5
(atmospheric pressure start type)
~ 760 (atmospheric pressure start type)
Motor
*3
kW (poles)
HP (poles)
200V class
V
Multiple
voltage
V
Oil *4 ULVOIL R-42
-
-
200~240 / 380~415
200~240 / 380~460
Maximum
allowable
differential
pressure
50Hz
7.3×10
3
54.7
60Hz
6.0×10
3
45
1.3×10
3
10
60Hz
1.1×10
3
8.2
Model *1
Maximum
pumping
speed
50Hz
60Hz
Maximum
suction
pressure
50Hz