Agilent Technologies 969-8888, Instruction Manual

Page: 70 / 116

P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ
64/107 87-901-011-01
VAROVÁNÍ
P ř ed p ř ipojením turbomolekulární výv ě vy do systému
nesundávejte šroubovací víko.
VAROVÁNÍ
Odejm ě te zakrytí konektor ů až poté, co bude turbovýv ě va
p ř ipevn ě ná k systému.
Výv
ě vu neinstalujte v prost ř edí, které je vystaveno
atmosférickým vliv ů m (déš ť , sníh, led), prachu, agresivním
plyn ů m, ve výbušném prost ř edí nebo v prost ř edí s vysokým
nebezpe č ím požáru. Za provozu je t ř eba dodržovat následující
podmínky dané prost ř edím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota vzduchu: od +5°C do +35°C
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V p ř ítomnosti magnetických polí se výv ě va musí chránit
feromagnetickým stín ě ním. Viz podrobné informace v p ř íloze
"Technical Information".
Výv
ě va Turbo-V 3K-G se musí p ř ipojit k primárnímu č erpadlu
(viz "Technical Information").
Výv
ě vu Turbo-V 3K-G lze instalovat v libovolné poloze. Výv ě vu
Turbo-V 3K-G upevn ě te v n ě jaké stabilní poloze a p ř ívodní
p ř írubu turbovýv ě vy p ř ipojte k pevné protip ř írub ě , která snese
torzní moment 33000 Nm kolem své osy.
Turbo
č erpadlo se vstupní p ř írubou ISO F musí být p ř ipevn ě no k
vakuové komo ř e prost ř ednictvím šroub ů s t ř ídou upevn ě ní
12.9 (
σ
r
= 1200 N/mm
2
). Následující tabulka popisuje po č et
pot ř ebných ocelových šroub ů a hodnotu utahovacího momentu,
kterou doporu č uje Varian pro jejich dotažení.
P Ř ÍRUBA
P Ř ÍCHYTNÉ
ZA Ř ÍZENÍ
PO Č ET
UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 250 F šrouby M10 12 30 Nm

VÝSTRAHA!
Výv ě vu Turbo-V 3K-G nelze p ř ipevnit pomocí její podstavy.
Toto za ř ízení lze p ř ipevnit pouze pomocí jeho p ř íruby ISO
250F.

VÝSTRAHA!
Nedodržení t ě chto pokyn ů pro instalaci m ů že v p ř ípad ě
poškození rotoru zp ů sobit odpojení č erpadla od systému
s následnými škodami na majetku nebo ublížením na zdraví
osob,
č i dokonce jejich usmrcením.
VAROVÁNÍ
Podle sm ě rnice EN 61010-1 pat ř í výv ě va Turbo-V 3K-G do
druhé elektroinstala č ní (nebo p ř ep ěť ové) t ř ídy. Za ř ízení p ř ipojte
do napájecí sít ě , která spl ň uje uvedenou t ř ídu.
Pro zaru č ení stupn ě ochrany IP-54 použijte protikonektory,
které jsou sou č ástí výbavy.
Výv ě va Turbo-V 3K-G je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
p ř ipojit k externím obvod ů m tak, aby žádná elektrická sou č ást
nebyla p ř ístupná.
Zajist ě te, aby izolace za ř ízení p ř ipojeného k výv ě v ě Turbo-V
3K-G byla p ř im ěř ená i v p ř ípad ě jediné poruchy podle sm ě rnice
EN 61010-1.
Chcete-li informace o dopl ň kovém p ř íslušenství, viz "Technical
Information".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postup
ů .
P ř ed použitím systému prove ď te všechna elektrická a
pneumatická p ř ipojení.
P ř i zah ř ívání vakuové komory teplota p ř ívodní p ř íruby nesmí
p ř ekro č it 80 °C.
Za chodu výv ě vy nesmí teplota rotoru nikdy p ř esáhnout 120 °C.
Uživatel musí zadat podle od č erpávaného plynu p ř íslušný
plynový režim: 1 pro dusík a leh č í plyny, 0 pro argon (výchozí
nastavení) v seriálním povelu 157. Viz podrobné informace v
p
ř íloze "Technical Information".

VÝSTRAHA!
Turbovýv ě vu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní p ř íruba
p ř ipojená k vakuové komo ř e.
B ě hem zah ř ívání se turbovýv ě vy ani jejího p ř íslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota m ů že zp ů sobit popáleniny.
VAROVÁNÍ
B ě hem chodu chra ň te výv ě vu p ř ed nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplyn
ě ní výv ě vy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak p ř i odv ě trávacím otvoru musí
být menší než 1 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro
č erpání plyn ů s obsahem č ástic nebo zne č iš ť ujících látek,
agresivních v ůč i ložisk ů m, jsou tyto výv ě vy vybaveny
speciálním otvorem, který umož ň uje plynulý p ř ítok inertního
plynu (dusík nebo helium) pro ochranu ložisek výv ě vy (viz
p ř ílohu Information").
VAROVÁNÍ
Nikdy nepoužívejte výv ě vu v p ř ítomnosti korozivních plyn ů
nebo výpar ů , které by mohly poškodit materiály použité uvnit ř
výv ě vy.

VÝSTRAHA!
Pokud používáte výv ě vu pro č erpání toxických, ho ř lavých nebo
radioaktivních plyn ů , dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Výv
ě vu nepoužívejte v p ř ítomnosti výbušných plyn ů . Výv ě va je
ur č ena pro vysoce výkonné od č erpávání N
2
, Ar a leh č ího plynu.
Pokud byste pot ř ebovali od č erpávat plyny t ě žší než Ar,
kontaktujte technickou podporu firmy Varian a žádejte
informace.
Používání za ř ízení Turbo-V 3K-G
Jak se za ř ízení uvádí do provozu
P ř ed spušt ě ním za ř ízení zkontrolujte prosím, jestli je rozpojen
konektor I/O. Je-li za ř ízení p ř ipojeno k n ě jakému vzdálenému
modulu I/O, zkontrolujte p ř ívod signálu pro zastavení (viz
odstavec "J1-REMOTE I/O" v p ř íloze "Technical Information").
P ř i spoušt ě ní tohoto za ř ízení postupujte podle t ě chto krok ů :
1. odpojte od za ř ízení p ř ipojený I/O konektor (je-li)
2. zapojte do sí ť ové zásuvky
3. vy č erpejte podtlakovou komoru na 0,1 mbar
4. jedním z následujících zp ů sob ů p ř ive ď te do výv ě vy Turbo-
V 3K-G spoušt ě cí signál:
a. p ř ipojte dodaný odpovídající I/O konektor